砂轮划片机划切技术研究-主轴-45所

第一篇：砂轮划片机划切技术研究-主轴-45所

砂轮划片机划切技术研究（1）-主轴

砂轮划片机采用超薄金刚石刀作为划切加工刃具，主轴带动刀片高速旋转通过强力磨削对集成电路基片以及各种硬脆材料进行高精度开槽和分割。除了设备本身的精度和功能外，划切技术的研究与应用是一个必不可少的环节，直接影响着划切质量和效率。通过优化主轴、刀片、冷却、被划材料、吸盘及基片固定、划切速度和入刀速度、切的深度等技术及参数来保证。下面分别对这些参数的选取和利弊进行分析研究。1.主轴

砂轮划片机主轴采用空气静压支承的电主轴，有交流和直流：交流轴转速为3000~40000r/min，直流轴转速为3000~60000r/min。一般分2″和4″主轴，2″轴装φ50~φ76.2mm刀片，4″轴装φ100~φ127.0mm刀片。主轴的精度、转速、功率、刚性等指标十分重要，转速的选择由用户根据划切的材料和所使用的刀片来确定，选择的好坏直接影响主轴的负载、划切质量和刀片的寿命。

对φ50mm的镍基刀划切硅片的主轴速度建议28000~32000r/min； 对φ50~76.2mm的树脂刀主轴转速最大为30000r/min； 对φ100mm的镍基刀主轴转速最大为30000r/min；

对φ100mm的树脂刀主轴最大转速的选择与刀的厚度有关： ≤0.375mm厚

主轴最大转速16000r/min 0.375~0.525mm厚 主轴最大转速 14000r/min 0.525~0.785mm厚 主轴最大转速 12000r/min 0.785mm厚

主轴最大转速 10000r/min 注意用树脂刀时，主轴转速千万别超过指定的最大转速，否则刀片会自动解体。另外，在确定主轴转速时，也要考虑划切材料的硬度，划切软材料主轴转速比划切硬材料低，同一种材料，划切厚的主轴转速比划薄的高，同时划切厚硬材料时要考虑选用大功率的主轴。