三轴加速度传感器的步态识别系统==[五篇材料]

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第一篇:三轴加速度传感器的步态识别系统==

三轴加速度传感器的步态识别系统

近年来随着微机电系统的发展,加速度传感器已经广泛应用于各个领域并拥有良好的发展前景。例如在智能家居、手势识别、步态识别、跌倒检测等领域,都可以通过加速度传感器实时获得行为数据从而判断出用户的行为情况。

目前许多智能手机都内置多种传感器,通过预装软件就能够获得较精确的原始数据。本文提出一种基于三轴加速度传感器,用智能手机采集用户数据,对数据进行处理及特征提取获得特征矩阵并分类识别的方法,有效地识别了站立、走、跑、跳四种动作。

人体动作识别处理过程主要包含数据采集、预处理、特征提取和分类器识别数据采集数据采集和发送模块安装在用户端,另一个数据接收模块接在电脑终端上。

由于我们制作的采集模块很轻、很小,所以方便佩戴。当用户运动时,三轴加速度传感器会将据采集并通过无线方式发送给电脑接收模块,再通过电脑上的软件部分对采集到的数据进行分析处理,将结果输出,显示用户的实时状态。

本文使用的加速度传感器数据来自于共计60个样本。传感器统一佩戴于腰间。本文选取了其中一位采集者的数据用于主要分析研究,其余两位采集者的数据则用于验证由第一位采集者数据研究所得的结论,这样的做法既减小了数据处理的繁杂又能保证最终结果的准确性。预处理应用程序设置的采集时间间隔为0.1s,对每一个动作的采集时间为25s。考虑到用户在采集数据一开始与将要结束时的动作不平稳可能对数据带来较大影响,前2s2s采集的数据将被舍弃不予分析。因原始加速度信号一般都含有噪声,为了提高数据分析结果的准确性,通常在原始加速度信号进行特征提取前对其进行去躁、归一化、加窗等预处理。通过加窗处理,不仅规整了加速度信号的长度,而且方便研究人员按照需要选择适宜的信号长度,这样有利于后续的特征提取。

许多研究人员使所示。研究人员采集的加速度传感器信号由于采集者的动作力度不同造成加速度信号的幅度差异较大,这会对之后的分类识别造成负面影响,归一化技术可以调整加速度信号的幅度,按照一定的归一化算法可以使加速度信号的幅度限定在某一数值范围内,文献[2]在识别跑、站立、跳和走路这四种动作时对四种动作的加速度信号进行了归一化;文献[3]在进行手势识别时对手势动作的加速度信号进行了归一化处理。特征提取特征提取和选择模块的作用在于从加速度信号中提取出那些表征人体行为的特征向量,处于预处理模块和分类器模块之间,是人体行为识别过程中的一个重要环节,直接影响分类识别的效果。特征的提取方法具有多样性,对于不同的识别目的,研究人员会提取不同的特征,例如为了识别分类站立和跑步,研究人员通常会选取方差和标准差这类能够反映加速度信号变化大小的特征,而为了识别分类走路和跑步,研究人员通常会选取能量和均值这类能够反映加速度信号大小的特征。使用不同的特征表征行为会对分类识别效果产生不同的影响,因此寻找更加有效的特征一直是研宄人员关注的一个课题。通过查阅大量的文献,大致可以把加速度信号的特征概括为时域特征、频域特征和时频特征这三类本文选取了加速度的阈值作为识别不同动作的主要特征。每个加速度包含了轴的加速度信号,分别代表了前后、左右、上下这三位的加速度信号。我们都知道,人体日常行为的不同动作的剧烈程度是不相同的,动作的幅度自然不一样。因此本文主要选取加速度的阈值作为识别不同动作的主要特征。种动作数据的其中一个窗格,每个窗格时间跨度为3s。由图个轴的加速度大小都不一样,而每个轴的加速度大小与方向又与加速度传感器佩戴在采集者身上的方向位置有关,因此不容易定性分析。而以合加速度的阈值作为用于主要分析的特征,则不用考虑个轴加速度的分量大小与方向,又可以使各个动作的幅值差异基于三轴加速度传感器的人体动作识别研究(广东第二师范学院物理系,广东广州510303)HumanActivityRecognitionResearchBasedThree-DimensionalAccelerometer

摘要:提出一种基于三轴加速度传感器的人体动作识别方法,通过对采集到的数据进行预处理,提取多种统计特征包括标准差、阈值、偏度、峰度等进行分类识别。能够有效地识别站立、行走、跑、跳这四种人体基本日常行为动作。

关键词:人体动作识别,阈值,加速度传感器,特征提取

Abstract:Inpaper,amethodactivityrecognitionbased3Daccelerationsensorintroduced.Aftersensordatacollected,preprocessing,manystatisticalfeaturesstandarddeviation,threshold,skewnesskurto-sisclassification.Thesystemrecognizefourhumandailyactivities:staying,walking,runningjumping.Keywords:humanactivityrecognize,threshold,accelerometerdata,featureextraction*2015年度国家级大学生创新创业训练计划项目“基于三轴加速度传感器的人体动作识别研究资助(1427815037)加速度信号的加窗31基于三轴加速度传感器的人体动作识别研究(上接第30参考文献〔1〕张铎.自动识别技术应用案例分析〔M〕.武汉:武汉大学出版社,2010:56-67〔2〕范书瑞,李琦,赵燕飞.Cortex-M3嵌入式处理器原理与应用〔M〕.北京:电子工业出版社,2011:34-36〔3〕汪浩.物联网的触点:RFID技术及专利的案例应用〔M〕.北京:科学出版社,2010:33-39〔4〕Wikipedia.GsmStandard:GSM,Shortmessagepeer-peerprotocol,EnhancedDataRatesGSMEvolution,IntelligentNetwork[M].GeneralBooksLLC,2011:121-123〔收稿日期:2015.9.1〕一目了然。合加速度:a=(a识别分类每个合加速度值以1g作归一化处理后,合加速度都是9.8的相对值,没有了量纲。各动作的的阈值设定如图可以清楚地看出,站立动作的阈值都低于1.2,走的动作阈值则介乎1.21.9之间,跑的动作阈值介乎1.92.6之间,跳的阈值则是高于2.6。基于这种动作的阈值差异与设定值,可以设定如图的基本算法。每3s导入一次数据,每次数据的时间跨度设定为一个窗格(即3s)。支持向量机SVM(SupportVectorMachine)是Cortes1995年首先提出的,它在解决小样本、非线性及高维模式识别中表现出许多特有的优势,并能够推广应用到函数拟合等其它机器学习问题中。它是建立在统计学习理论的VC维理论和结构分险最小原理基础上的,根据有限的样本信息在模型的复杂性和学习能力之间寻求最佳折衷,以期获得最好的推广能。支持向量机对于线性不可分的情况,通过使用非线性映射算法,将低维输入空间特性不可分的样本转化为高维特征空间使其线性可分,从而使得高维特征空间采用线性算法对样本的非线性特征进行线性分析成为可能。特别在解决小样本、非线性及高维模式识别中表现出许多特有的优势结束语本文提出了一种基于三轴加速度传感器的人体动作识别研究方法,通过对数据进行归一化、加窗等预处理,提取合加速度的阈值特征,利用支持向量机进行分类识别,有效地识别了站种动作,平均识别率能达到95%,证明了此方法的有效性。本文未来的研究工作还可以对数据的预处理进行优化,引用更多更全面的方法对数据去躁;此外,本文对数据的特征提取仍过于单一,未来可考虑引入四分位差、偏度、峰度等特征,把走再细分为上楼与下楼,设计更严谨的算法,充分考虑算法的实时性与准确性,提高对各种动作的识别分类。参考文献〔1〕YangP.Usingaccelerationmeasure-mentsactivityrecognition:Aneffectivelearningalgorithmconstructingneuralclassifiers[J].Patternrecognitionletters,2008,29(16):642213-2220〔2〕HeActivityrecognitionfromaccelerationdatausingARmodelrepresentationandSVMMachineLearn-ingCybernetics,2008InternationalConferenceIEEE,2008,4:2245-2250〔3〕刘蓉,刘明.基于三轴加速度传感器的手势识别〔J〕.计算机工程,2011,37(24):141-143〔4〕HsuChih-Wei,ChangChih-Chung,LinChih-Jen.practi-calguidesupportvectorclassificationBioinformatics,2010,1(1):1-16〔5〕吴青,赵雄.一类新样条光滑支持向量机〔J〕.西安邮电大学学报,2013,18(6):68-74〔6〕徐川龙,顾勤龙,姚明海.一种基于三维加速度传感器的人体行为识别方法〔J〕.计算机系统应用,2013,22(6):132-135〔7〕衡霞,王忠民.基于手机加速度传感器的人体行为识别〔J〕.西安邮电大学学报,2014.06.015〔收稿日期:2015.8.4〕

第二篇:三轴加速度传感器的技术原理与市场前景分析

三轴加速度传感器的技术原理与市场前景分析

技术分类: 测试与测量| 2008-06-17

意法半导体公司模拟、功率与微机电组件产品市场经理 郁正德: EDN China

目前,随着iPod、iPhone、Sony PS3,以及Wii等游戏和娱乐类系列消费类产品的成功和热销,业界普遍预测微机电系统(MEMS,Micro Electro-Mechanical System)类产品将成为半导体行业的下一个高速增长点。MEMS带来的的操作、功耗,和尺寸上的革命性变革是其成功进入消费类电子市场的关键。其使更具创新性的电子产品设计成为可能,而且能给用户带来全新的使用体验。

以上提到的产品中都应用了加速度传感器作为动作操控和UI操作的接收装置。在Wii和PS3中,加速度传感器可以灵敏地感测游戏者的动作,并将其转换为游戏中的虚拟人物、物品或交通工具的动作和状态等并显示在画面中。iPod和iPhone中的加速度传感器则可以根据用户的动作而相应地对菜单进行操作,例如调整页宽和改变内容显示方向等。

目前3轴加速度传感器的单位售价已降至1.5美元以下,相信在更大的需求量条件下有望突破1美元。较低的成本在以价格为主导的消费电子市场必将成为优势之一。车身安全、控制及导航系统中的应用

加速度传感器在进入消费电子市场之前,实际上已被广泛应用于汽车电子领域,主要集中在车身操控、安全系统和导航,典型的应用如汽车安全气囊(Airbag)、ABS防抱死刹车系统、电子稳定程序(ESP)、电控悬挂系统等。

目前车身安全越来越得到人们的重视,汽车中安全气囊的数量越来越多,相应对传感器的要求也越来越严格。整个气囊控制系统包括车身外的冲击传感器(Satellite Sensor)、安置于车门、车顶,和前后座等位置的加速度传感器(G-Sensor)、电子控制器,以及安全气囊等。电子控制器通常为16位或32位MCU,当车身受到撞击时,冲击传感器会在几微秒内将信号发送至该电子控制器。随后电子控制器会立即根据碰撞的强度、乘客数量及座椅/安全带的位置等参数,配合分布在整个车厢的传感器传回的数据进行计算和做出相应评估,并在最短的时间内通过电爆驱动器(Squib Driver)启动安全气囊保证乘客的生命安全。除了车身安全系统这类重要应用以外,目前加速度传感器在导航系统中的也在扮演重要角色。专家预测便携式导航设备(PND)将成为中国市场的热点,其主要利于GPS卫星信号实现定位。而当PND进入卫星信号接收不良的区域或环境中就会因失去信号而丧失导航功能。基于MEMS技术的3轴加速度传感器配合陀螺仪或电子罗盘等元件一起可创建方位推算系统(DR, Dead Reckoning),对GPS系统实现互补性应用。

硬盘抗冲击防护

目前由于海量数据对存储方面的需求,硬盘和光驱等元器件被广泛应用到笔记本电脑、手机、数码相机/摄相机、便携式DVD机、PMP等设备中。便携式设备由于其应用场合的原因,经常会意外跌落或受到碰撞,而造成对内部元器件的巨大冲击。

为了使设备以及其中数据免受损伤,越来越多的用户对便携式设备的抗冲击能力提出要求。一般便携式产品的跌落高度为1.2~1.3米,其在撞击大理石质地面时会受到约50KG的冲击力。虽然良好的缓冲设计可由设备外壳或PCB板来分解大部分冲击力,但硬盘等高速旋转的器件却在此类冲击下显得十分脆弱。如果在硬盘中内置3轴加速度传感器,当跌落发生时,系统会检测到加速的突然变化,并执行相应的自我保护操作,如关闭抗震性能差的电子或机械器件,从而避免其受损,或发生硬盘磁头损坏或刮伤盘片等可能造成数据永久丢失的情况。

消费产品中的创新应用

3轴加速度传感器为传统消费及手持电子设备实现了革命性的创新空间。其可被安装在游戏机手柄上,作为用户动作采集器来感知其手臂前后、左右,和上下等的移动动作,并在游戏中转化为虚拟的场景动作如挥拳、挥球拍、跳跃、甩鱼竿等,把过去单纯的手指运动变成真正的肢体和身体的运动,实现比以往按键操作所不能实现的临场游戏感和参与感。此外,3轴加速度传感器还可用于电子计步器,为电子罗盘(3D Compass)提供补偿功能,也可用于数码相机的防抖。以上提到的种种创新应用使其成为下一代产品设计中必不可少的元件。

1.姿态与动作识别

3轴加速度传感器的应用范围很广,除了文中提到的游戏动作操控外,还能用于手持设备的姿态识别和UI操作。例如借助3轴加速度传感器,手持设备可实现画面自动转向。iPod Touch就内建了此功能,设备显示的画面和信息会根据用户的动作而自动旋转。其通过内部传感器对重力向量的方向检测来确定设备处于水平或垂直状态,并自动调整显示状态,给用户带来方便。

传感器对震动的感知性能也可将以前传统的按键动作变化为震动,用户可通过单次或多次震动来进行功能的选择,如曲目的选择、音量控制等。此外,该功能还可扩展至对用户界面元素的操控。如屏幕显示内容的上下左右等方向的浏览可通过倾斜手持设备来完成。

2.趣味性扩展功能

3轴加速度传感器对用户操控动作的转变还可转化为许多趣味性的扩展功能上,如虚拟乐器、虚拟骰子游戏,以及“闪讯”(Wave Message)等。虚拟乐器内置的加速度传感器可检测用户对手持设备的挥动来控制乐器的节奏和音量等;骰子游戏也采用类似的原理,通过

对挥动等动作的感知来控制虚拟骰子的旋转速度,并借助内部数学模型抽象的物理定律决定其停止的时间。

“闪讯”是一个更富有想象力的应用,用户可利用此功能在空中进行文字编辑。“闪讯”即让手持设备通过加速度传感器捕捉用户在空中模拟写字的快速动作,主要适合较暗的环境下使用。手持设备上会安装发光的LED,由于人眼视网膜的视觉暂留现象,其在空中挥动的动作会在其眼中留下短暂的连续画面,完成写字的所有动作笔顺。

3.功耗控制

功耗一直是便携设备设计中要考虑的重要因素,内置3轴加速度传感器则使设备可通过检测设备的使用状况来对其用电模式加以控制,从而有效延长电池的使用时间。Thelma制程技术

成熟的制程技术是3轴加速度传感器和其他MEMS产品在消费电子产品市场成功的关键之一。目前,为了达到产量及质量控制的严格要求,充分利用全球半导体产业界的制造和材料资源,以及生产流程控制经验,MEMS类元器件大多采用标准的CMOS半导体制造技术,这样不但能使其生产制造从规模经济中受惠,还能让MEMS元器件随光照制程的微型化先进制程不断演进和发展,产品体积更小。

然而在制程技术上,MEMS类组件的生产与其它一般芯片有所差异。早期的MEMS产品制造中多采用单晶硅为材料,和比较简单且稳定的体型微加工(Bulk Micro-Machining)技术,缺点是制造成本较高。目前的制造技术比较接近集成电路半导体的制程,多采用多晶硅表面微加工(SuRFace Micro-Machining)科技,使成本有效降低,而且加工的精度和分辨率均更加出色。

各厂家的MEMS类元件制程技术虽然在工艺和加工设备上较类似,大都采用文中提到的CMOS制程与表面微加工技术,但为了与自身的生产制造特点相符,制造商往往会根据自己的经验开发出其特有的生产加工平台及相应的流程,以实现缩短生产周期、提高产品质量和降低加工成本的目的。

Thelma制程技术,即厚磊晶层(Thick Epitaxial Layer for Micro-Gyroscopes and Accelerometer)技术,是ST发展出的专有表面为加工制程,主要针对高灵敏度、高探测范围的加速度传感器和陀螺仪等MEMS元器件的生产加工。其通过运用深度蚀刻技术及牺牲层(Sacrificial-Layer)等理论,可在微型装置中加工出能实现各种动作的精密机械机构。Thelma制程技术主要包含六个主要步骤:基底热氧化、水平互连的沉积与表面图样化

(Patterning)、牺牲层的沉积与表面图样化、结构层的磊晶生长、用通道蚀刻将结构层图样化、以及牺牲层的氧化物去除,与接触金属化沉积。

多晶硅材料具有良好的耐疲劳性及抗冲击性,且采用CMOS制程除了能带来较低的成本、更稳定的加工流程,芯片与传感器的功能相独立还保证了设计上的灵活性。独特的Thelma技术还可提供完整的铸模封装,使生产出的元器件具有极可靠的物理性质,能制造出最佳的制止器(Stopper),降低电极之间的静电摩擦等风险。与传统工艺相比较,Thelma技术可以减少芯片面积,因而克服体型微加工过程中常见的设计局限。此外,其会生长出一块厚度约15微米(um)的多晶硅磊晶层。该硅结构在增加厚度的同时也增加了垂直表面积,因而增大平行于基底的静电启动器的总电容值。

加速度传感器技术原理

MEMS换能器(Transducer)可分为传感器(Sensor)和致动器(Actuator)两类。其中传感器会接受外界的传递的物理性输入,通过感测器转换为电子信号,再最终转换为可用的信息,如加速度传感器、陀螺仪、压力传感器等。其主要感应方式是对一些微小的物理量的变化进行测量,如电阻值、电容值、应力、形变、位移等,再通过电压信号来表示这些变化量。致动器则接受来自控制器的电子信号指令,做出其要求的反应动作,如光敏开关、MEMS显示器等。

目前的加速度传感器有多种实现方式,主要可分为压电式、电容式及热感应式三种,这三种技术各有其优缺点。以电容式3轴加速度计的技术原理为例。电容式加速度计能够感测不同方向的加速度或振动等运动状况。其主要为利用硅的机械性质设计出的可移动机构,机构中主要包括两组硅梳齿(Silicon Fingers),一组固定,另一组随即运动物体移动;前者相当于固定的电极,后者的功能则是可移动电极。当可移动的梳齿产生了位移,就会随之产生与位移成比例电容值的改变。

如图结构中,当运动物体出现变速运动而产生加速度时,其内部的电极位置发生变化,就会反映到电容值的变化(ΔC),该电容差值会传送给一颗接口芯片(InteRFace Chip)并由其输出电压值。因此3轴加速度传感器必然包含一个单纯的机械性MEMS传感器和一枚ASIC接口芯片两部分,前者内部有成群移动的电子,主要测量XY及Z轴的区域,后者则将电容值的变化转换为电压输出。

文中所述的传感器和ASIC接口芯片两部分都可以采用CMOS制程来生产,而在目前的实际生产制造中,由于二者实现技术上的差异,这两部分大都会通过不同的加工流程来生产,再最终封装整合到一起成为系统单封装芯片(SiP)。封装形式可采用堆叠(Stacked)或并排(Side-by-Side)。

手持设备设计的关键之一是尺寸的小巧。目前ST采用先进LGA封装的加速度传感器的尺寸仅有3 X 5 X 1mm,十分适合便携式移动设备的应用。但考虑到用户对尺寸可能提出的进一步需求,加速度传感器的设计要实现更小的尺寸、更高的性能和更低的成本;其检测与混合讯号单元也会朝向晶圆级封装(WLP)发展。

下一代产品的设计永远是ST关注的要点。就加速度传感器的发展而言,单芯片结构自然是必然的趋势之一。目前将MEMS传感器与CMOS接口芯片整合的过程是最耗费成本的加工环节,如果能实现单芯片的设计,其优点不言而喻,封装与测试的成本必然会大幅度降低。加速度传感器选用要点

加速度传感器针对不同的应用场景,也在特性上体现为不同的规格。用户需根据自身的具体需要选取最适合的产品。如上文提到的汽车车身冲击传感器或洗衣机等家电的振动传感器等来说,需选用高频(50~100Hz)的加速度传感器;对于硬盘的跌落和振动保护,需要中频(20~50Hz)以上的加速度传感器;而手持设备的姿态识别和动作检测只需低频(0~20Hz)产品即可。

线形加速度传感器的选取还需要考虑满量程(Full Scale,FS)、灵敏度及解析度等元件的特性。满量程表示传感器可测量的最大值和最小值间的范围;灵敏度与ADC等级有关,是产生测量输出值的最小输入值;解析度则表示了输入参数最小增量。

除此之外,加速度传感器按输出的不同还可分为模拟式和数字式两种。其中模拟式加速度传感器输出值为电压,还需要在系统中添加模数转换(ADC);数字式加速度传感器的接口芯片中已经集成了ADC电路,可直接以SPI或I2C等实现数字传输。数字式产品在成本上也有一定优势,因为高质量ADC通常比较昂贵,价格甚至可超过传感器部分的单独售价。结论

Wii凭借加速度传感器为市场带来前所未有的革命性的操控方式。3轴加速度传感器为消费电子类产品,尤其是手持设备的各方面设计都带来更多的创新性,在短期内必然会获得市场的成功。而在未来的电子产品中,多传感器将是一个重要的发展趋势,其会让电子产品在使用上更加人性化;此外,为了缩小产品尺寸和提高产品的应用价值,混合式感测器(Hybrid Sensor),如加速度传感器与陀螺仪的集成,也必然是一个发展方向,多功能混合式传感器必将以其较高的附加价值和用户操控体验占领高端市场;同时随着技术的进步,单一功能结构的传感器也将向低端市场推广和普及。

第三篇:双轴加速度传感器ADXL202及其应用设计

双轴加速度传感器ADXL202及其应用设计

2009年03月29日 15:08 不详 作者:北京交通大学 翟飞 用户评论(0)关键字:

引言

ADXL202是ADI公司出品的一款双轴加速度测量系统,模拟输入,可测量动态加速度和静态加速度,测量范围为±(2~10)g,输出为周期可调的脉宽调制信号,可以直接与单片机或计数器连接。LPC2103为飞利浦公司的一款ARM7系列微控制器,主要用于工业控制、医疗系统、访问控制、POS机、通信网关等领域。本文使用LPC2103实现对ADXL202加速度数据的采集与处理。1 ADXL202加速度传感器

1.1 ADXL202的引脚定义及基本特性

ADXL202为单片集成电路,集成度高、结构简单,内部包含多晶硅表面微处理传感器和信号控制电路,以实现开环加速度测量结构。与其他加速度计相比,ADXL202可在很大程度上提高工作带宽,降低噪声影响,零重力偏差和温度漂移也相对较低。图1所示为ADXL202传感器的引脚定义。

图1 引脚定义

ST: 自检,用于控制芯片自检功能。接VDD时,输出占空比为10%的波形,说明芯片正常工作。

COM: 引脚4、7。使用时需将2个COM端接在一起并接地。

T2: 经电阻RSET接地,调节输出信号周期。输出信号周期T2=RSET/(125 MΩs-1)。

VDD: 电源。工作电压范围为+3.0~+5.25 V,可经过100 Ω的去耦电阻接电源。

XFILT、YFILT: 经电容接地,用于改变带宽、滤除噪声和抑制零点漂移。

Xout、Yout: 输出。

图2为ADXL202传感器的内部结构原理图。ADXL202传感器由振荡器,X、Y方向传感器,相位检波电路以及占空比调制器组成,具有数字输出接口和模拟电压信号输出接口。X、Y方向传感器是2个相互正交的加速度传感器,它们同时工作,可以测量动态变化的加速度和恒定的加速度。传感器之后级连相位检波器,主要是用来修正信号,并对信号的方向做出判断。检波器输出的信号,通过一个32 kΩ 的电阻来驱动占空比调制器,通过在XFILT和YFILT 引脚外接电容CX和CY来改变带宽。

图2 传感器内部结构原理图

1.2 测量数据的计算及处理

(1)信号带宽的计算通

过CX和CY来设定带宽,在XFILT和YFILT引脚接上电容,通过低通滤波器来减少噪声。3 dB带宽的公式为:f=5 μF/C(x,y)(电容最小值为1 000 pF)(2)加速度的计算

输出信号周期T2=RSET /(125 MΩs-1),如图3所示。

图3 占空比信号

信号通过低通滤波器之后,占空比调制器把信号转换为数字信号输出。通过T2引脚的外接电阻可以改变T2的周期(0.5~10 ms),这很适于在精度要求不同的场合下使用。输出的占空比信号通过计数器可以计算出占空比。加速度的计算可以通过下式得到:

a=(T1/T2-0.5)/(12.5%)

例如,当加速度为0g时,信号宽度T1与空闲宽度(T2-T1)相同,输出信号的占空比为50%;当加速度为1g时,信号宽度T1与空闲宽度(T2-T1)的比值为5∶3,输出信号的占空比为62.5%。1.3 ADXL202的典型应用

ADXL202传感器最重要的应用之一是倾斜度的测量。在进行倾斜度测量时,需要让传感器的敏感轴(x轴)与重力方向垂直。如果与重力方向平行,物体倾斜对于加速度数据的影响可以忽略不计。图4所示为加速度测量的原理图。

图4 加速度测量

当ADXL202与重力矢量垂直时,其输出随倾斜度的变化大约为每度17.5 mg,当两者呈45°时,输出变化值仅为每度12.2 mg,分辨率降低。表1为倾斜角度与加速度变化的关系。

表1 倾斜角度与加速度变化的关系 应用电路设计 2.1 硬件接口设计

LPC2103是一个支持实时仿真和跟踪的32位ARM7TDMIS CPU,并带有8 KB片内SRAM和32 KB嵌入的高速片内Flash内存。LPC2103具有LQFP48的较小封装、极低的功耗、多个32位定时器、8路10位ADC、2个外部中断、最多可达32个GPIO。通过可编程的片内PLL(可能的输入频率范围:10~25 MHz)可实现最高70 MHz 的CPU 时钟频率。ADXL202传感器与LPC2103的接口电路如图5所示。

图5 ADXL应用电路图

ADXL202加速度传感器的T2经125 kΩ电阻接地,可以得到信号输出的周期为1 ms。

13、14引脚接+5 V电源,XFILT和YFILT经0.1 μF电容接地,用于设置50 Hz带宽。两路输出分别与LPC2103的P0.0和P0.2引脚相接,作为数据传输线。数据传输有两种方法,分别为普通GPIO口方式和定时器捕获中断方式。

2.2 普通GPIO口方式

由于传感器输出均为DCM信号,无论采用什么方式进行数据接收,都需要定时器/计数器工作,对DCM信号进行计时处理。因此,程序首先要对定时器进行初始化。然后分别对DCM信号的高电平和低电平持续时间进行计时,得到T1、T2的值,再进行加速度计算。由于默认情况下GPIO均为普通I/O方式,所以开始不用设置PINSEL寄存器。普通GPIO口方式程序如下: #define KEY 0x00000001//X轴加速度P0.0,前向加速度 T1PR=0;//预分频为0,使得T1TC即为pclk个数 while((IOPIN&KEY)!=0);//下降沿或低电平跳出 while((IOPIN&KEY)==0);//上升沿或高电平跳出 T1TCR=0x03;//启动并复位T1TC T1TCR=0x01;while((IOPIN&KEY)!=0);//下降沿跳出,等下降沿来临 t1=T1TC;//取此时计数器的值 T1TC=0x00;//复位计数器

while((IOPIN&KEY)==0);//上升沿跳出,等待上升沿的来临 t2=T1TC;T1TCR=0x00;//关闭定时/计数器T1 a1=(((fp32)t1/((fp32)t2+(fp32)t1))-0.5)*8;//计算加速度

普通GPIO口方式的程序比较简单,虽然程序的执行需要时间,但由于LPC2103的主频可以达到40 MHz,执行几条指令只需几微秒,所以产生的误差会很小。但普通GPIO方式程序执行时,CPU一直在等待上升沿或下降沿的到来,大大降低了CPU的使用效率。可以使用图5所示Xout与LPC2103的接口方式。2.3 定时器捕获中断方式

如图5所示,Yout与LPC2103的P0.2引脚相接,利用P0.2的功能复用,可以实现定时器捕获中断方式接收传感器数据。主要程序段如下: #define ya 0x00000004//引脚功能初始化

PINSEL0=0x00000020;//设置引脚连接为定时器0的捕获通道0 PINSEL1=0x00000000;//向量中断设置

VICIntSelect=0x00000000;//设置所有中断为IRQ中断 VICVectCntl0=0x24;//定时器0中断为最高优先级

VICIntEnable=0x0010;//使能定时器0中断定时器0初始化 T0PR=0;//预分频为0,使T0TC即为pclk的个数

T0CCR=0x07;//置TIMER0的CAP0为上升、下降沿捕获,触发中断 T0MR0=0xFFFFFFFF;//设置匹配值 T0TCR=0x03;//启动并复位T0TC T0TCR=0x01;//中断服务程序 void __irq time0(void){ T0IR = 0x10;//复位定时器中断标志 if((IOPIN&ya)==0){ t1=T0CR0;//读取T0TC T0TC=0x00;//复位T0TC } else if((IOPIN&ya)!=0){ t2=TOCR0;//读取TOTC T0TC=0x00;//复位T0TC } VICVectAddr =0x00;//中断处理结束 }

中断处理程序运行之后,得到的信号周期应为T2=t1+t2。故加速度为(((fp32)t1/((fp32)t2+(fp32)t1))-0.5)*8。使用中断服务程序大大提高了CPU的使用效率,但程序较为复杂,并且占用了一个中断向量通道。结语

ADXL202传感器的应用方法经过验证完全可行,并且能够达到较高的测量精度。由于集成度高,由ADXL202和ARM系列微控制器组成的系统完全可以用于汽车、火车等交通工具的安全控制系统。ADXL202在惯性导航、倾斜感应、地震监控及汽车保险等领域都有着广泛的应用,精度高、集成度高、功耗低等特点使之完全可以取代传统的加速度传感器。

参考文献

[1] 周立功.ARM微控制器基础与实战 [M].北京:北京航空航天大学出版社 ,2003.[2] ADI.Low Cost ±2g/10g Dual Axis iMEMS Accelerometers with Digital Output ADXL202/ADXL210 Technical Note,1999.

第四篇:MEMS加速度传感器简介(最终版)

MEMS电容式加速度传感器

学校:哈尔滨工业大学(威海)

学院:信息与电气工程学院

专业:电子科学与技术

作者:胡诣哲090260207

纪鹏飞090260208

本文从MEMS电容式加速度传感器的基本原理切入,主要介绍了该类型传感器的原理和三种主要结构:三明治式、扭摆式、梳齿式及其各自结构方面优点。同时介绍目前应用较为广泛的集成式的基于电容原理的芯片MMA7455,主要分析了该集成传感器的内部结构和应用。

关键字:MEMS,电容式,加速度传感器,MMA7455

Abstract In this paper, we discussed the MEMS capacitive accelerometer from its fundamental principle and its three main structure which are sandwich, twist, and comb.Different structures have their own advantages.We also give the introduction to a popular IC accelerometer MM7455, putting an emphasis on its internal structure and some applications.Key words:MEMS, capacitive, accelerometer, MMA745

5一、引言

1.1 MEMS加速度传感器简介

MEMS(Micro-Machined Electro Mechanical Sensor)是微机电机械传感器的简称,它是一种微米级的类似集成电路的装置和工具。MEMS技术是一项有着广泛应用前景的基础技术。以半导体技术和微机电加工工艺设计、制造的MEMS传感器,集成度高,并可与信号处理电路集成在一起,大大降低了生产成本,已在汽车、消费电子和通信电子领域取得极大发展。

MEMS加速度传感器按敏感原理的不同可以分为压电式、压阻式、电容式、谐振式、热对流式等。本文主要介绍MEMS电容加速度传感器。

二、传感器工作原理与常见结构

2.1 MEMS电容式加速度传感器工作原理

电容式微加速度传感器的基本结构是质量块与固定电极构成的电容。当加速度使质量块产生位移时改变电容的重叠面积或间距。检测到的电容信号经过前置放大、信号调理后,以直流电压方式输出,从而间接实现对加速度的检测。

如图1所示,电容式加速度传感器由两块固定电极夹着一块活动电极。在静止的情况下,活动电极与两块固定电极的距离均为d0形成两个大小为C0的串联的电容。

当加速度传感器检测加速度时,活动电极受加速度力产生位移,两个电容的d发生变化。根据平行板电容的计算公式:

SCr0d

可知两个电容的大小将发生变化。由于此时电容值和极板间隙不是线性关系,常常采用差动电容检测方式以解决线性问题:

C

r0Sd0dr0Sd0d2r0Sd2d0

上式在dd时成立。

图2-1 MEMS电容式加速度传感器工作示意图

2.2 MEMS电容加速度传感器的常见结构

2.2.1三明治式

所谓“三明治”结构,就是指检测质量夹在两块玻璃片之间的结构形式,如图3-1所示。固定电极分布在活动电极两边,敏感质量块的上下两面均作为动极板。当有加速度作用时,敏感质量块发生摆动,一对电容极板间的间距变大,而另一对电容极板闭的问距变小,从而形成差动检测电容。这种结构需要双面光刻,加工工艺设备较多.器件加工制造难度较大:井因为悬臂支撑梁所能承受的应力有限,这种传感器所能测量的最大加速度值较小。

图2-2三明治式电容加速度计结构示意图

2.2.2 扭摆式

扭摆式是基于三明治式,扭摆式微加速度计的两个固定电容极板设计在活动极板的同一侧形成的。由图3—2扭摆式微加速度计的结构可以看出,位于支承弹性粱两边的敏感质量和惯性矩不相等,当有垂直于基片的外界加速度作用时,敏感质量片将围绕支承弹性粱扭转,结构电容大小发生变化,一对结构电容增大,一对结构电容减小.从而形成结构差动电容,测量此差动电容值即可得到外界输入的加速度载荷大小。这种传感器结构比较简单,不需要双面光刻.且能进行较大加速度值的测量。

图2-3 扭摆式电容加速度计结构示意图

图2-4 跷跷板式扭摆式电容加速度计结构示意图

2.2.3疏齿式

梳齿式电容加速度计利用若干对梳齿形状的电极形成检测电容和加力电容,它的一个明显优点就是利用增加电极数的方式来增大检测电容。梳齿有定齿和动齿两种,定齿固定在基片上,动齿则附着在检测质量上。检测质量由弹簧支撑于基片上。当有外部加速度输入时,动齿随同检测质量一起运动,并产生微位移,引起动齿与定齿之间电容的变化,电容的变化量可以通过检测电路检测出来,进而检测出微位移和输入加速度的值。其键台强度高、面积大、难度低,键台接触电阻小、均匀且成品率高,提高了加速度计的分辨率和精度。但是结构相对比较复杂,加工起来难度较大。

图2-5 疏齿式电容加速度计结构示意图

三、MMA7455三轴加速度传感器

3.1 MMA7455内部结构

MEMS加速度传感器主要有两部分:微电子技术加工的电容性机械系统(Micro Electro Mechanical System)和带有闭环反馈的信号转换控制系统ASIC(Application System Integrated Circuit)。MMA7455内部由三轴加速度传感器、多路开关、C—V转换器、放大电路、AD转换、以及控制电路与输出

驱动电路,如图3-1所示。

图3-1 MMA7455内部结构

3.2 MMA7455应用

3.2.1 MMA7455加速度测量

MMA7455可以设置三种模式2g、4g和8g,不同模式下测量精度不同输出也不同。根据三轴检测数据的输出与芯片工作模式可以计算出不同轴方向加速度分量大小,最后求出加速度方向与大小。图3-2为2g模式下芯片不同放置X、Y、Z的输出。

图3-2

由图可以看出芯片纵向为X轴方向,横向为Y轴方向,垂直方向为Z轴。对于传感器模式的选择及g值的选择强调不同的应用环境。一般来说1.5g适合自由落体与精确的倾斜补偿的应用,2g适合手持运动检测与游戏控制器,4g适合低振动监控、运输与处理,8g适合高震动监控与较高震动的读取。合适选取模式可以获得较高的精确度。

3.2.2 MMA7455倾角测量

加速度传感器可以用于多种场合的检测与监控,如倾斜度的侦测、运动检测、定位侦测、震动侦测、振动侦测以及自由落体等。利用三轴加速度传感器计算单轴倾角。图3-3是倾角测量图解。这时加速度输出与倾角的关系

所以γ可以用反正切方程求的

图3-3倾角测量图解

四 总结

本文介绍了电容式微机械加速度传感器工作原理,结构组成以及飞思卡尔半导体公司的MMA7455三轴加速度传感器芯片内部组成、测量应用等。电容式加速度微传感器具有灵敏度高、直流响应和噪声特性好、温漂低、低温灵敏度好、功耗低等优点。

参 考 文 献

[1] 刘晓宁《半导体传感器》 哈尔滨工业大学(威海)2011

[2] 孙以材编著 《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》 冶金工业出版社 2009 [3] Sadra/Smith 《Microelectronics Circuits》电子工业出版社2006

[4] 王巍等 基于微机械传感器的倾角传感器 2010

[5] Freescale Semiconductor, Inc.MMA7455 Device User Guide.

第五篇:三轴实验报告

三轴试验报告 课

高等土力学

授课老师

冷伍明等

指导老师

彭老师

学生姓名

114811134

隧道工程

目录 1、试验目得................................................................1、仪器设备................................................................1、试样制备步骤........................................................1、试样得安装与固结................................................2、数据处理(邓肯 — 张模型 8 大参数得确定)..........2、注意事项................................................................9、总结........................................................................9、试验 目得(1)、三轴压缩试验室测定图得抗剪强度得一种方法,它通过用 3~4 个圆柱形试样,分别在不同得恒定周围压力下,施加轴向压力,进行剪切直至破坏;然后根据摩尔-强度理论,求得土得抗剪强度参数;同时还可求出邓肯-张模型得其它 6 个参数。

(2)、本试验分为不固结不排水剪();固结不排水剪(或)与固结排水剪()等 3种试验类型。本次试验采用得就是固结排水剪()。、仪器设备 本次实验采用全自动应变控制式三轴仪:有反压力控制系统,周围压力控制系统,压力室,孔隙压力测量系统,数据采集系统,试验机等。、试样制备 步骤(1)、本次试验所用土属于粉粘土,采用击实法对扰动土进行试样制备,试样直径 39.1mm,试样高度 80mm.选取一定数量得代表性土样,经碾碎、过筛,测定风干含水率,按要求得含水率算出所需加水量。

(2)、将需加得水量喷洒到土料上拌匀,稍静置后装入塑料袋,然后置于密闭容器内 24 小时,使含水率均匀。取出土料复测其含水率。

(3)、击样筒得内径应与试样直径相同。击锤得直径宜小雨试样直径,也允许采用与试样直径相同得击锤。击样筒在使用前应洗擦干净。

(4)、根据要求得干密度,称取所需土质量。按试样高度分层击实,本次试验为粉粘土,分 5 层击实.各层土料质量相等.每层击实至要求高度后,将表面刨毛,然后再加第 2 层土料。如此继续进行,直至击完最后一层,并将击样筒中得试样取出放入饱与器中。

表 表 1

含水率记录表 盒号 盒重(g)

盒加湿土重(g)

盒加干土重(g)

含水率 含水率均值 6b0084 10、52 23、15 21、45 15、5% 15、75% 6b0503 10、51 23、74 21、91 16、0% 试验要求干密度为 1.7g/cm 3,饱与器容积为 96cm 3,所以所需湿土质量为:(g)分 5 层击实,则每层质量为 37。76g。

(5)、试样饱与:采用抽气饱与,将装有试样得饱与器置于无水得抽气缸内,进行抽气,当真空度接近当地 1 个大气压后,应继续抽气 1 个小时。抽气完成后徐徐注入清水,并保持真空度稳定。待饱与器完全被水淹没即停止抽气,并释放抽

气缸得真空。、试样得安装与固结(1)、开孔隙压力阀及量管阀,使压力室底座充水排气,并关阀。将透水板滑入压力室底座上。然后放上滤纸与试样,试样上端亦放一湿滤纸及透水板,并在试样周围贴上 6 条浸湿得滤纸条,滤纸条上端与透水石相连接.(2)、将橡皮膜套在承膜筒内,两端翻出筒外,从吸气孔吸气,使膜紧贴承膜筒内壁,然后套在试样外,放气翻起橡皮膜得两端,取出承膜筒。用橡皮圈将橡皮膜下端扎紧在压力室底座上。

(3)、用软刷子自下向上轻轻按抚试样,以排除试样与橡皮膜之间得气泡。可开启空隙压力阀及量管阀,使水徐徐流入试样与橡皮膜之间,以排除夹气,然后关闭。

(4)、开排水管阀,使水从试样帽徐徐流出以排除管路中得气泡,并将试样帽置于试样顶端。排除顶端气泡,将橡皮膜扎紧在试样帽上。

(5)、装上压力室罩,开排气孔,向压力水充水,水从排气孔溢出时,立刻停止注水,并关闭排气孔。

(6)、关体变管阀及孔隙压力阀,开周围压力阀,施加所需得周围压力.周围压力大小应与工程实际荷载相适应,并尽可能使最大周围压力与土体得最大实际荷载大致相等。也可按 100、200、300、400kPa 施加。

(7)、打开主机与电脑,通过主机给调压筒与反压力调压筒充水,一般反压力调压筒调到 30000-40000 便可。围压调压筒可注水到 60000。

(8)、在打开土工试验数据采集系统,选择好试验参数,然后点击开始试验,试验则进入饱与度判断状态,当饱与度达 95%以上时自动进入固结状态,当试样固结度达 95%时自动再进入剪切状态。

(9)、剪切出现峰值后,或达到相应得应变,试验便自动结束。卸除压力,在进行下一围压下得试验.5、数据处理(邓肯 — 张 模型 8 大参数得确定)

(1)、切线模量得邓肯-张计算公式:

(1)式中

-—切线弹性模量,kPa;

—-周围压力,kPa;

-—大气压力,kPa;

——破坏比,数值小于 1;

-—土得内摩擦角,(°)

——土得粘聚力,kPa;

——试验常数。

(2)、切线泊松比按下列两式计算:

(2)

(3)

式中

——试验常数.公式(1),(2),(3)中包含 8 个试验常数:、、、、、、、,这就就是邓肯-张模型得 8大参数。

(3)、求得试验常数得得方法。

①、值得求得 绘制出不同围压下得摩尔应力圆,则、值可由图 1 中得截距与斜率求得。

图 图 1

固结排水剪强度包线 由于本次试验采用得就是全自动得土工试验数据采集处理系统,已不需人工读入与处理数据 ,TgWin 系统自动计算出=18、7,=31、9。

②求得:

邓肯—张双曲线模型得本质在于假定土得应力应变之间得关系具有双曲线性质,见图 2。

图 图 2

双曲线应力应变关系 双曲线关系式:

(4)变换纵坐标关系式:

(5)

式中

—-初始切线模量得倒数;

—-主应力差渐近值得倒数。

变换坐标得双曲线见图 3。

图 图 3

变换坐标得双曲线 由与即可求得初始切线模量与主应力差得渐近值。

按下式计算破坏比:

(6)

式中

——主应力差得破坏值,kPa;

-—主应力差得渐近值,kPa。

由 TgWin 系统自动绘制得变换坐标得双曲线见图 4:

图 图 4

变换坐标得双曲线 TgWin 系统自动计 算出=0、755。

③、得求得 初始切线模量与固结压力有以下关系:

(7)式中

——大气压力,kPa。、由曲线确定(见图 5)。

lgEi/Palg

/Pan1lgk3 图 图 5

关系曲线 由 TgWin 系统自动绘制得关系曲线如下:

图 图 6

关系曲线 由上图易知,=202、7,=0、114。

④得求得 假定轴向应变与侧向应变成双曲线关系(见图 7)即:

(8)

变换纵坐标,如图 8:

(9)

式中

——初始切线泊松比;

—-轴向应变渐近值得倒数。

图 图 7

双曲线主应变关系

图 图 8

变换纵坐标得双曲线 从上图中可求得、值。

由 TgWin 系统自动绘制得变换纵坐标得双曲线见图 9:

图 图 9

变换纵坐标得双曲线 TgWin 系统计算得 D=0、000。

⑤、得求得 绘制与关系曲线(见图 10):

(10)

式中

——不同作用下得初始孔隙比;、由关系曲线求得。

图 图 10

关系曲线 而由 TgWin 系统自动绘制得关系曲线见图 11:

图 图 11

关系曲线 TgWin 系统处理得 G=0、500,F=0、000。通过上面得 5 个步骤就可求得邓肯—张模型得 8 大参数。

(4)本次试验所求得得 8 大参数值列表如表 2: 表 表 2

邓肯 — 张模型得 8 大参数18、67kPa 31、95° 0、755 202、7 0、114 0、000 0、500 0、000 6、注意事项(1)为了图样均匀,方便制样,配好了含水率得土一定还要再过一次孔径 2mm得筛,并测含水率;

(2)制样时,每层击实后一定要将表面刨毛,这样有利于土样得整体完整,在试验过程中也可减少出现断样得情况;(3)每个土样制好后一定要脱模,然后装入另一个饱与器;(4)抽气饱与时,时间要足够,且蒸馏水一定要淹没饱与器,否则可能会出现土样达不到饱与度得要求;(5)拆样时,要注意饱与器得三片铁片只能上下移动,不能垂直于土样轴线前后移动;(6)装样时,排气要充分且不能让土样断裂,同时要注意各个阀门得开闭状态就是否正确,否则很可能照成孔隙压力与轴向应变关系曲线不正确.(7)试验完成后,要注意还原实验室得清洁卫生,以方便后面得同学进行试验,完成好后期工作,并整理试验报告.7、总结 在整个实验过程中,彭老师给予我们细致而耐心得指导。每一个实验步骤都详细指导,亲自示范,让每个学生都能够自己动手,非常感谢彭老师!彭老师为人随与热情,治学严谨细心。通过本次试验,我不但熟悉了三轴试验得试验过程,也对邓肯—模型得 8 大参数也有了进一步得认识,相信通过本次试验,对我们今后得学习、工作都会有所帮助。

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