二硫磺清洗总结

第一篇：二硫磺清洗总结

二硫磺装置FeS钝化清洗

工作总结

淄博吉泰工贸有限公司 二○一○年三月

二硫磺装置FeS钝化清洗工作总结

一、炼油装置进行FeS 钝化清洗的目的

炼油厂在炼制含硫原油时，常减压蒸馏装置、催化裂化装置、重油加工装置、加氢装置、气体分离、脱硫等装置会产生大量的FeS，FeS吸附在炼油厂的设备和管道上，装置正常操作时不会带来大的问题，但在停工打开设备时，FeS与空气中的氧接触能发生强氧化还原反应并放出大量的热,热量积累后引发自燃，造成火灾和爆炸事故，大多数炼油厂都有过地表设备或内部设备发生FeS 自燃的经历。在含有残留油气和空气的条件下,塔、管线、储罐和换热器的内部发生自燃或爆炸事故的后果是极具破坏性的。此外,设备与管道内的H2S 很容易对检修人员造成人身伤害和环境污染,因此,需要在检修前对设备与管道进行FeS的钝化清洗，防止设备在打开人孔时自燃，消除H2S、RSH等异味；清除FeS、H2S，达到进人条件。

2010年3月6日，按厂部要求，淄博吉泰工贸有限公司对二硫磺装置的急冷塔C201、吸收塔C202、再生塔C203, D101A酸气罐、D202酸气罐以及以上设备的附带设备等进行FeS钝化清洗。

二、药剂及使用方法

l、JT-1型多功能FeS钝化剂：由淄博吉泰工贸有限公司生产，该剂可高效快速地除去设备上的FeS、Fe203等无机垢，同时吸收设备内的H2S、RSH，消除异味，清洗残液对环保无不利影响。

其主要物化指标为： 项 目 密度/g.cm-3，20℃

外观

技术指标 ≥1.05 浅黄色

试验方法 GB/T 1884 目测

配量：BY-1—1多功能FeS钝化剂与水按1～10比例配制使用。

2、药剂用量：急冷塔C201系统计划用剂3吨，吸收塔C202、再生塔C203系统计划用剂5吨, D101A酸气罐计划用剂1吨，合计约9吨。

三、FeS钝化清洗方案

准备工作

停工过程中，对设备须进行退胺液、水洗及高温蒸汽吹扫，除去内部集结的油垢、污垢；

清洗方案确定后，在交付淄博吉泰工贸公司前按清洗方案所确定的流程改通，各设备内提前注入一定的水量，注意设备内的注水量一定要控制在安全线以下，防止水溢流或窜入其它部位。

多年未进行清洗的设备，车间在停工过程中应彻底吹扫、水洗、蒸汽汽提干净，除去内部集结的残留物等，保证下一步清洗工作的顺利进行；

凡清洗设备富含脱硫胺液MDEA的，要将设备内残存的胺液彻底放空排尽，并按停工程序彻底吹扫、水洗、蒸汽汽提干净；

对内部积累的硫化物可能较多的设备，现场一定要有安全监护人员和措施，否则不准施工。

注水及添加药剂流程需要取得车间及有关部门的同意方可进行操作； 清洗过程中请车间派1～2名工艺或当班人员给予协助。保证清洗过程中水、电、汽的正常供给；

设备清洗前、中、后，确认与设清洗备相连部位隔离情况： 注剂及钝化清洗方案

（一）二硫磺胺液吸收塔C202与再生塔203系统（含D202）

1.配管

拆塔C203底放空线（DN80）阀门下法兰，接临时接线至注剂泵和药剂槽；

2.加水

清洗前请车间将清洗设备与不参与清洗的设备隔离，将新鲜水通过回流泵P204注入C203，保证C203底部液位达80%。水循环时如水量不足需及时向系统内补水；

3.加剂流程

从临时接线处注剂进入C203系统，用剂4.4吨；

D202罐及P204A、B出口线采用浸泡方式，从D202罐底放空阀处注剂注水，用剂0.6吨。

4.清洗循环流程

塔C203底注剂完成后，由二硫磺车间按生产流程进行循环清洗。

5.排放流程 从C203底部放空处、临时施工三通跨线处放空；

（二）二硫磺急冷塔C201 1．配管

拆P201/B泵入口线上DN40弯头连接管，接临时泵;2．加水流程

清洗前请车间将该系统隔离，由P-201入口新鲜水线向C201注水至80%液位。建立水循环，如水量不足需向C201内补水；

3.加剂流程

从临时接线处注剂进入C201底； 4.清洗循环流程

P201入口→P201出口→A204/1、2、3→E201→ C201顶→C201底，→P201入口,进行循环；

5.排放流程

从C201底部放空处放空。

（三）二硫磺D101罐

配管

接带三通的15米临时管线至D101顶部放空线(DN40)； 接消防水向罐D101内注水、药剂，浸泡； 四.监测项目

钝化液循环或浸泡6～8小时后，钝化液循环结束，钝化工作结束，停泵。报安环部，由安环部安排采样检测清洗液的COD、氨氮、硫化物等指标，符合要求方可排放。五.质量要求

化学处理完毕，设备在检修过程中不发生FeS钝的自燃问题；清洗后设备达到进人条件。六.清洗

2010年3月6日10：00至7日6：00，二硫磺装置陆续将D-101，C-201系统，C-202、C-203系统等交付钝化，施工人员按预定计划分别对交付的设备进行管线连接，然后分别按清洗方案进行清洗钝化，各塔器、罐、管线、冷换设备清洗钝化完毕后，车间采样送环保检测分析COD、硫化物，氨氮，符合排放要求。8日人孔打开后进行检查，清洗效果良好，塔及容器内的FeS钝化的比较彻底，H2S、小分子RSH等吸附较好，部分清洗部位系统检查照片如下：

二硫磺的照片都用

七.结语

1、本次检修由淄博吉泰工贸有限公司对二硫磺装置的急冷塔C201、吸收塔C202、再生塔C203, D101A酸气罐、D202酸气罐以及以上设备的附带设备等进行FeS钝化清洗。期间得到了车间、厂设备部、安环部、生产技术部等单位的大力支持褐帮助，使我们圆满完成了钝化工作，在此表示衷心的谢意。

2、二硫磺装置所有清洗钝化部位的人孔打开后，会同车间有关人员对清洗 情况进行了检查，塔壁、人孔壁、容器等部位清洗的都比较干净，塔内未发现有积存油泥，未出现着火情况，达到了FeS钝化清洗的目的。

第二篇：10万吨硫磺检修总结

10万吨硫磺检修总结

二部四工区王一鸣

金陵石化二部四工区硫磺装置Ⅲ硫磺在2014年2月28日到3月27日进行装置检修，经过4年的装置运行，装置存在着一些问题都将在这次检修中进行整改，并对期间的一些合理化建议与碧水蓝天进行实施。

2月28日装置停工，在之后7天内对装置进行停工扫线、退溶剂。由于硫磺装置的特殊性，管线中、设备中的硫化氢含量较高，所以停工之后扫线任务就特别重要。

首先是对装置反应器上催化剂上的S进行去除。在正常操作时，硫被吸附到克劳斯催化剂孔隙中。在计划停工前，需要除去催化剂上的硫，以防硫在催化剂上固化，或防止催化剂在高温下暴露在空气中时催化剂上的硫开始燃烧。在过量空气引入之前，装置应用由燃料气在主燃烧器中进行亚化学计量燃烧生成热惰性烟道气吹扫约12～24小时，克劳斯催化剂床层应冷却到150～200℃。在12～24小时后，逐渐引入过量空气，以除去最后微量的硫和在设备正常操作时氧化生成自燃的FeS。而加氢反应器的处理，是使加氢催化剂恢复氧化态。否则，催化剂暴露在空气中会很快导致能损坏催化剂的高温，在某些情况下，还会损坏反应器本身的一些部分。高温能引起催化剂烧结，使催化剂表面积减小，催化剂活性降低。RAR尾气处理部分的气体用循环气鼓风机驱动，以最大速率循环，以除去反应热。用循环气加热器和电加热炉使气流温度升高到要求的反应器入口温度。急冷塔保持运行，以冷却流出气体。在此阶段应通过关闭HV-9005隔离H2S吸收塔。在经过几天的处理，一反，二反，及加氢反应器的几个床层都相应的出现过几次温度波峰，包含了所有的床层，在随后的打开人孔检查也发现催化剂中硫磺烧的干净，说明这次对反应的处理进行的比较彻底。

接着是退溶剂，装置中的溶剂中也含有较多的硫化氢，应该对溶剂系统进行循环，除去这些硫化氢，接着将系统中的所有溶剂退走，并将泵、管线以及塔设备中残余的溶剂退至TK902。在这次的停工退溶剂中，我们将管线，泵，换热器逐一清扫，并用蒸汽赶尽，在之后的检查中，所有低点导淋均未见到溶剂。之后为了充分防止硫化氢自然，又对溶剂进行了8个小时的钝化处理。

在这次检修过程中，由于E908的管束的更新，为清除中压蒸汽管线、设备内的各种机械杂质，保护蒸汽轮机等用汽设备的安全运行，在中压蒸汽管线投运前，需对装置及系统的中压蒸汽管线、中压饱和蒸汽管线进行吹扫与打靶验收。1）3.5MPa蒸汽引汽暖管，蒸汽管线的吹扫方法用暖管--吹扫--降温--暖管--吹扫--降温的方式重复进行。直至吹扫合格。使管线冷热变形后管内壁的铁锈等附着物脱落。蒸汽吹扫必须先充分暖管，并注意疏水，防止发生水击（水锤）现象。在吹扫的第一周期引蒸汽暖管时，应特别注意检查管线的热膨胀，管道的滑动，弹簧支吊架等的变形情况是否正常。暖管应缓慢进行。即先向管道内缓慢地送入少量蒸汽，对管道进行预热，当吹扫管段首端和末端温度相近时，方可逐渐增大蒸汽流量至需要值进行吹扫。引蒸汽暖管时，其第一次暖管时间要适当长一些，大约每小时升温100℃左右，第二轮以后的暖管时间可短一些，大约每小时升温200℃左右。每次的吹扫时间大约为20-30min，因为降温是自然冷却，故降温时间决定于气温，一般使管线冷至100℃以下即可。2）3.5MPa蒸汽给汽吹扫给汽。自界区引3.5MPa蒸汽，疏水完成后充分暖管，逐渐慢开边界阀阀1，向3#硫磺装置内给汽。倒引中压蒸汽吹扫E908管束及入口管线，调节阀TIC9033A走副线，TIC9033B调节阀拆接临时线至消音器。吹扫时，必须保证相连未完工管线有效隔断。按照依次分支的原则，逐条管线进行吹扫，一条一条吹扫、贯通。连续三次更换靶板检查，如靶板上肉眼观察靶片上冲击斑痕粒度小于1mm，且肉眼可见斑痕不多于10点，并经相关部门鉴定合格后，吹扫即告结束。

此次停工过程中，在克劳斯单元切换燃料气吹扫操作时，发现燃料气烧嘴腐蚀严重，燃料气喷嘴堵塞不畅，总共13个燃料气喷嘴口，仅上部3个喷嘴口通畅，其余10个全部堵塞。由于燃料气烧嘴堵塞，在停工燃料气吹扫操作时，热反应炉H801燃料气流量在150~200kg/h，燃烧气相热负荷量偏低，烟气吹扫克劳斯系统存在局部的死角，一定程度上影响系统吹扫除硫效果及时间。

针对上述燃料气烧嘴堵塞不畅问题，进行原因分析，判断为腐蚀介质及辐射热共同导致，总结预防措施如下：（1）正常生产情况下，燃料气烧嘴保护氮气阀门全开，阀门上铅封管理；此处建议增设保护氮气流量指示引进DCS，进行监控。（2）开停工进行燃料气操作前，对烧嘴前燃料气管线氮气吹扫置换，避免管线内存水存油等带入火嘴堵塞燃料气喷嘴口，使用过程中，加强燃料气分液罐V803切液，控制V803液位在5~10%；（3）合理分配热反应炉H80

1一、二区循环酸气控制，降低炉膛温度控制不大于1450℃。

在开工过程中遇到CLAUS反应器入口预热温度难以提高的问题。10万吨/年硫磺回收装置采用中压蒸汽预热的方式对一级、二级CLAUS反应器R801、R802的入口过程气进行加热，由于CLAUS反应预热器E805、E806浮头处都存在不同程度的泄露，虽经多次注胶补焊，效果仍不理想，正常运行状态下两个CLAUS反应器床层温度都难以达到工艺指标。同样在停工过程中，二级CLAUS反应器的入口过程气温度也无法满足工艺要求，工艺操作上二级硫冷凝器E803出口过程气的温度控制在160℃左右，与约4.0MPa的饱和水蒸汽（温度约为250.3℃）在一级反应预热器E-805内换热，加热蒸汽流控阀和副线全开的状态下，换热后的过程气温度只有210℃不到，210℃的温度低于硫的自燃点232℃，因此导致进入二级CLAUS反应器R802的过程气温度偏低，不利于除催化剂烧硫。在此次开停工过程中，CLAUS反应入口预热器E805、E806引尾炉蒸汽过热器E908后过热蒸汽（温度约为400~460℃）进行加热，加热效果有所上升，反应器入口温度提高至220~230℃。开工后正常运行时，在加热蒸汽流控阀有截流及副线未开的状态下，两个CLAUS反应器床层温度也能满足工艺指标要求。

在这次检修过程中，我也参与了其中许多项目，由于我在硫磺学习期间不长，对装置了解不多，正好经由这次的检修，让我学到了许多东西，对装置了解更加充分，对以后学习进步有着很大的帮助。

第三篇：一硫磺项目质量总结

一硫磺项目质量总结

质量管理包括制定质量方针和质量目标，以及质量策划、质量控制、质量保证和质量改进等。一硫磺项目的质量管理工作在明确合同要求和法律法规要求的前提下，建立项目质量管理体系和质量保证体系，依据设计文件、规程规范、现场条件进行项目的质量策划，正确配置施工生产要素和采用科学的管理方法，使工程项目实现预期的使用功能和质量标准。

工程开工前，项目部对项目工程质量的主要影响因素进行了分析，总结为人员、机具、设备材料、施工方法、施工环境5个方面。在项目实施前及项目实施过程中以这5个方面为主线做了以下工作：

1．项目部审核了施工单位项目经理及主要项目管理人员的执业资格证、工作经验等，审核了工程施工人员的特种作业证、操作经验并组织了焊工考试进行技能考核确认，特别是特种作业领域做到考试合格持证上岗。施工过程中随时抽查人员的持证和工艺纪律情况；施工前组织业务培训和分项工程技术交底，明确技术质量要求；对人员的质量意识、错误行为等进行监督评价，实施质量奖罚制度。

2．项目部对于现场的检验测量设备和施工机具进行了全面检查，做到每块表、每台特种机械都具备国家监检部门及计量部门的检定证明文件并在使用有效期内，还要求施工单位对所有的检测设备设立台账控制，并进行定期保养和维护，保证施工机具的正常使用。施工过程中对进场施工设备、器具的性能、完好情况进行验收；监督机具设备的完好状况，及时要求施工单位进行保养和维修；对检测设备、仪器使用部位进行把关，保证满足所需的精度要求；安排施工单位制定设备操作规程，并监督正确使用。

3．项目部对工程中设备材料的使用进行了严格的审查和检验，工程中的主要设备余热锅炉等还专门派设计人员进行了驻厂设备监造，加大了设备出厂前的质量保证措施，设备材料到货做到每台设备每件管材、管件、阀门等都进行进场验收工作，不合格产品直接进行退货处理，让不合格产品远离工程。施工过程中项目部主要审核施工单位材料计划，明确产品的特殊要求；对工程设备及材料进行报验、试验和复验；对材料进行标识及可追溯性控制，对不合格材料、不适用设备进行处置。

4．项目部编制了一硫磺项目质量计划、施工质量计划、质量考核规定、单位工程划分和质量控制点划分等文件，明确了施工质量控制、质量控制点、隐蔽工程控制、关键工程特殊过程控制、不合格品控制、纠正预防措施控制、质量验收控制等标准要求。在施工过程中要求施工单位严格按照规范及标准要求，编制施工组织设计，各专业工程编制施工方案，危险性较大的工程编制专项施工方案。施工开始前进行设计交底及技术交底并形成文字记录，培训到每一位施工人员。施工过程中项目部确定检验批、分项、分部、单位工程划分的准确性，实施质量验收，控制工序质量，针对影响因素，制定预控方案；对隐蔽工程制定停检点进行验收。

5．项目部审核了施工单位的质量保证体系、组织机构、岗位设置、质量管理制度等，严格要求将组织机构中质量管理人员配备到位，将质量管理制度对施工人员进行培训宣传，保证施工人员做到施工质量心中有数。项目部与施工单位共同进行了全场施工平面布置、施工工作面安排和施工顺序规划等工作。

施工质量控制点是施工过程中需要进行重点控制的对象或实体。它对施工期间需要重点控制的质量特性、关键部位、薄弱环节，以及主导因素等采取特殊的管理措施和方法，实行强化管理，使工序处于良好控制状态，确保达到规定的质量要求。施工质量控制点设置在安装重要设备，施工技术难度大，施工条件困难，施工质量精度要求高等环节或施工项目。在施工质量控制点实施过程中，项目部严格要求施工单位对施工班组每位成员进行交底，使施工人员了解操作要点；要求施工单位质量管理人员在现场进行检查、指导和验收；检查施工人员是否严格按照作业指导书进行操作，确保每个环节的施工质量；检查并保存施工记录，确保施工质量都有迹可循。

项目施工质量目标中明确要求了项目工程焊接一次合格率97%以上，作为石油化工工程安装工程质量的保证，焊接工程质量是安装工程中最为关键的一项要求。项目部对焊接质量影响因素进行分析并制定预控措施，制定预防措施严格把关焊接方案的实施。一硫磺项目现场最终拍片8321张，合格8206张，一次合格率98.6%，达到了项目施工质量目标的要求，保证了装置的安装焊接质量。在施工过程中项目部要求施工单位对焊条的采购、烘烤、发放、使用等环节严格把关，项目现场几家劳务分包单位的焊条管理统一由胜越公司管理；工程中珞钼钢管道严格按照规范要求进行焊前预热工作；需要焊后热处理的管道严格按照设计要求执行；施焊过程严格按照工艺卡要求；控制清根质量；风速大时采取防风措施；配备焊条保温桶，保证焊条温度；雨雪天禁止施焊；现场检查管口对口错边量。一系列措施的有效实施保证了一硫磺项目的焊接工程质量。

最终一硫磺项目在齐鲁石化质监站、工程处、炼油厂、监理单位的共同参与下验收合格，达到了令业主满意的工程，也实现了公司为项目部制定的项目质量目标。

1．工程项目最终产品和服务100％符合法律法规、标准规范以及合同规定的要求； 2．工程项目合同履约率100％； 3．工程项目满足一次开车成功的要求且达到长周期稳定运行；

4．设计内容和深度100％符合SHSG-033-2003《石油化工装置详细工程设计内容规定》的要求，设计最终产品合格品率100％，确保获得省、部级以上优秀工程设计奖；

5．采购设备材料合格率100％，满足合同、设计、制造标准及相应规范的要求； 6．单位工程施工质量合格率100%； 7．无伤亡和环境污染事故。

刘莹 2015-6-19

第四篇：前后清洗总结

前后清洗总结

前清洗【清洗制绒】

一、制绒流程

单晶：预处理——制绒（NaOH）——酸洗（HF，HCL）——热水慢提拉——热水烘干 多晶：制绒——漂洗——碱洗——漂洗——酸洗——漂洗——烘干

二、原理

单晶：利用碱（NaOH)、异丙醇（IPA）与睡的混合液对单晶硅片的各项异性腐蚀，在表面形成类似“金字塔”状的绒面，有效增加硅片对入射太阳光的吸收，从而提高光生电流密度。多晶：由于多晶晶体排列杂乱，无法利用碱液对硅晶体的各项异性腐蚀进行制绒，所以要用酸溶液对硅晶体进行各项同性腐蚀。即通过硝酸与氢氟酸的混合溶液对硅片表面腐蚀进行制绒。

三、影响制绒面质量的关键因素

单晶：碱的浓度、反应温度、添加剂浓度、IPA浓度、NaSiO3浓度、体系流动性、硅片表面原始状态。

多晶：HF浓度、制绒温度、腐蚀时间、制绒液寿命、反应连续性、HNO3浓度、溶液流动性、原硅片表面损伤层状态。

四、监控手段

单晶：减薄量、反射率、绒面尺寸、颜色一致性、扩散后外观 多晶：减薄量、反射率、网纹等级、扩散后外观

五、用到的化学品

单晶：NaOH、HF，HCL（酸洗）、IPA（异丙醇）

多晶：NaOH（碱洗）、HCL+HF（酸洗）、HNO3（硝酸）

六、硅片表面处理的目的

1、去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤）

2、清楚表面油污和金属杂质

3、形成起伏不平的绒面，增加对太阳光的吸收，增加PN结面积，提高短路电流（ISC),最终提高电池转换效率。

七、预处理

目的：去除硅片表面的机械损伤层，油污等，减少白斑、白点的产生，为制绒创造一个良好的反应环境。

漂洗：利用去离子水将硅片表面的残留化学品漂洗干净。

八、单晶碱制绒会出现哪些不良及相应处理

色差：由于反应速率不一致引起的绒面大小不一。

发白：表面清洗剂残留阻碍反应，而发白部分绒面极小。划痕：切片损伤

指纹印：主要为操作问题及所使用的手套问题。雨点：反应较快，产生的氢气泡不能及时排出。

九、前后清洗有哪些槽 制绒槽、碱洗槽、酸洗槽。

十、影响腐蚀量的因素

溶液温度、反应时间、溶液浓度。后清洗【刻蚀】

一、刻蚀目的

去除扩散后硅片四周的N型硅，防止漏电。

二、原理：SiO2+6HF→H2[SiF6]+2H2O

在扩散工艺中，在硅片表面形成一种含有磷元素的二氧化硅——磷硅玻璃，利用HF能够溶解二氧化硅的特性，溶解表面的二氧化硅和磷的混合物，使得硅片表面上下绝缘，防止漏电。

三、工艺流程

上料—刻蚀—水洗—碱洗—水洗—酸洗—水洗—风干—下料

四、刻蚀所用的化学品

硝酸（HNO3）、氢氟酸（HF）、硫酸（H2SO4）、氢氧化钠（NaOH）

五、各槽的作用

①刻蚀槽：硝酸将硅氧化生成二氧化硅，氢氟酸与二氧化硅的反应生成物进入溶液，硫酸不参加反应，增大溶液的粘度，增大溶液与PSG薄层间的张力和溶液的密度。②碱槽：中和硅片残留的酸液，去除多孔硅。

③HF槽：去磷硅玻璃、中和硅片表面残留的碱液。④水洗槽：洗去硅片表明残留液。

六、去磷硅玻璃（P、P2O5、SiO2）

目的：①磷硅玻璃的存在使得硅片在空气中表面容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减。②：死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低，进而降低了VOC和ISC。

③磷硅玻璃的存在使得PECVD后产生色差。

七、质量控制点

1、减薄量（一天测一次）a、前清洗（制绒前-制绒后）单：0.45~0.78g 多：0.36~0.42g b、后清洗（刻蚀前-刻蚀后）单：0.05~0.07g 多：0.06~0.08g

2、反射率（一天测多次）

单：10.35~11.65（一天测三次，一次拿三片）（4、5、7、8、10）多：24.5~26.5（一天测五次，一次拿五片）

3、边阻（一次）＞1.5KΩ 正常

0.8KΩ~1.5KΩ调整

＜0.8KΩ停产 注：前清洗要测减薄和反射率

后清洗要测减薄和边阻值扩散学习报告

一、扩散的目的：形成PN结

PN结的制造：①不是两块P型和N型的半导体接触

②必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域，一部分是N型区域

③在晶体内部实现P型和N型半导体的接触

二、影响扩散的因素

(1)POCl3浓度

（2）扩散温度

（3）扩散时间

N型区域磷浓度和扩散结深共同决定着方块电阻的大小

方块电阻：表面为正方形的半导体薄层在电流方向所呈现的电阻。

—即是反映扩散层质量是否符合设计要求的重要工艺指标之一。

—标志扩散到半导体中的杂质总量的一个重要指数。

三、扩散的原理（三氯氧磷在600℃高温下分解生成五氯化磷和五氧化二磷）

化学反应：POCl3在高温下（＞600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5)

四、扩散的操作流程

上料→插片→进舟→扩散→推舟→在线测方块电阻→卸片。

注：测试如有偏差，按工艺规定在四探针测试仪上进行离线测试，如离线测试确认偏差应及时反馈技术进行调整。

五、测量方块电阻方法：①在线测试仪器—Semilab

②离线测试仪器—四探针测试仪

如果发现方阻不正常的片子该怎么做？

超OOC（控制限）反馈技术调整

超OOS(规范限）反馈技术

六、扩散的工艺

多晶UNIF—90A中心值90±5

警戒线80和100 单晶MONO—70B中心值80±5

警戒线70和90 超OOC，反馈技术调整，并跟踪调整的结果。

超OOS，反馈技术若需换源手动则可流入下道工序，若其他原因则返工。

七、单多晶扩散返工挑选标准

单晶：方阻异常和严重烧焦、石英舟舟印、卡齿印 多晶：方阻超范围、扩散不完全或烧焦。注：常用的扩散方法有三种

我公司采用三氯氧磷（P0Cl3）液态源扩散方式。

巡检在扩散过程中抽测时应注意单晶和多晶、一二线、三四线、五六线的抽片顺序。

PECVD学习报告

一、PECVD：全称为“Plasma Enhanced Chemical Vapor Depositien”即等离子增强型化学气相沉积。解释：PECVD是借助微波反射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

二、目的：

（一）镀减反射薄膜→可以有效降低光的反射率。

（二）表面钝化作用→增加少子寿命，进而增加3ISC和VOC。

↓

即在表面形成一道膜，有助于在烧结中保护PN结。

三、原理：3SiH4+4HN3→Si3N4+12H2↑

沉积工艺中产生的H和氢离子使得晶片的氢钝化性良好，根据改变硅烷（SiH4）对氨的比率，来得到不同的折射指标。

四、工艺及折射率

单晶L3、L4

SN—2

2.07±0.04/0.05 多晶L1、L2、L5、L6

N6

2.23±0.04/0.05

五、PECVD异常案例分析

1、镀膜后整舟色差片

原因：舟使用次数超过工艺规定的使用次数

措施：按工艺要求舟使用的次数或镀膜出现差片时进行清洗 巡检：①关注舟使用次数，镀膜后是否出现批量色差片

②查看舟使用记录，填写是否规范

③查看洗舟房《石墨舟清洗记录表》记录是否完善，清洗烘干时间是否按照工艺要求执行，清洗吹干后是否进行拆洗。

2、镀膜出现整舟金黄片

原因：返工片重新镀膜，工艺时间输入出错，造成二次镀膜。措施：由于技术员输入返工片的镀膜时间

巡检：巡查时关注返工片的类型和数量，是否有批量同类返工片。是否有批量黄金片，及时反馈技术确认原因。

六、PE需要点检的项目

（1）返工片情况

色差

红片

白片

白斑白点

过刻

脏污

花片（2）石墨舟使用情况①使用100次成出现批量色差片，记录表单

②石墨舟破损→统计播报（3）设备维修挂牌，运行状况（4）测试折射率

七、PE改数据

第五篇：硫磺学习重点

硫磺装置学习重点 脱硫系统:

1、详细流程

2、工艺指标

3、C-101102发泡原因及处理

4、SR-105操作

5、C-101102、V-102撇油操作

6、S-100、SR-101103反吹扫操作

7、一、二催化干气憋压原因及处理

8、酸性气泄漏处理

9、减温减压器投用操作

10、瓦斯泄漏处理

11、开、停工操作

12、冬季防冻操作

13、冷却器投用操作

14、C-102温度不稳定原因、处理

15、P-101抽空原因及处理

16、V-102压力高原因及处理

17、P-104抽空原因及处理

18、四停处理

19、DCS死机处理

20、脱硫岗位日常巡检内容

21、管线、液面计冻凝处理

制硫系统

1、详细流程

2、工艺指标

3、制硫、加氢系统的开、停工操作

4、冬季防冻操作

5、F-201配风原理、操作

6、F-203操作调节

7、F-301熄火原因及处理

8、F-301炉温波动大原因及处理

9、E-302操作注意事项

10、E-302烧坏原因及预防措施

11、制硫系统各压力的作用？

12、自保系统原理及自保后制硫岗位的操作

13、F-202开工线的作用？

14、加氢催化剂的预硫化、钝化原理及操作

15、C-301堵塞原因、现象、处理

16、F-301超温原因及处理

17、C-302满塔原因及处理

18、硫化氢泄漏处理

19、硫封的建立操作 20、瓦斯吹硫操作、注意事项

21、J-201/B的操作

22、自保流程、酸性气安全线流程

23、酸性气阻火器反吹扫操作

24、F-202、E-201202203干锅处理

25、硫冷器补液面操作注意事项

26、硫磺着火处理

27、制硫岗位日常巡检内容

28、DCS死机、四停处理

29、夹套伴热线流程 30、管线、液面计冻凝处理 一火炬岗位

1、流程、工艺指标

2、冬季防冻操作

3、火炬大火时的操作

4、R-3/1带液态烃处理

5、R-3/1带凝缩油处理

6、R-4带液态烃处理

7、电打火工作原理

8、点长明灯操作

9、焚烧炉开停操作

10、伴热线流程

11、酸性气改去火炬操作

12、电磁阀不严现象及处理