半材第4章总结

第一篇：半材第4章总结

第四章、硅中有害杂质

1、概念解释：

①*小平面效应：晶体生长的固液界面，由于受坩埚中熔体等温线的限制，常常是弯曲的。如果在晶体生长时迅速提起晶体，则在<111>锗、硅单晶的固液界面会出现一小片平整的平面，它是(111)原子密排面，称之为小平面。在小平面区杂质浓度与非小平面区有很大差异，这种杂质在小平面区域中分布异常的现象叫小平面效应。

②杂质（生长）条纹：在晶体生长的过程中，由于各种外界因素导致晶体生长速率的的微起伏，造成晶体中杂质浓度的起伏，晶体的电阻率、载流子寿命及其他物理性能在纵、径向出现周期性起伏，在用化学腐蚀时表现出宽窄不一的条纹称为杂质条纹。

③旋转性条纹：在晶体转轴与温场轴不重合时，不同时刻所生长的晶体中杂质浓度是不相同的，这样形成的条纹叫旋转性条纹。④*中子嬗变掺杂：通常是由三种同位素组成。将高纯区熔硅单晶放入原子反应堆中进行中子辐照，使起施主作用进行掺杂，称为中子嬗变掺杂（*NTD）

④漩涡缺陷：无位错单晶在生长方向的横断面经希特尔腐蚀液腐蚀后，所观察到的呈漩涡状分布的宏观缺陷花纹，俗称漩涡缺陷。

⑤热施主效应：在硅单晶中，由于含有氧杂质，在对其进行热处理时，Si与O之间发生一系列反应，在450C°时SiO以最快的速度形成SiO4，SiO4是一个正电中心，可以束缚一个电子，在室温下受热激发而使它电离出来参与导电，SiO4起施主作用，此种效应称为热施主效应。

⑥吸杂工艺：通过机械化学处理方法，在硅片的非电活性区引入缺陷，在热处理时一些重金属杂质会 扩散并淀积在这些缺陷处，从而减少了这些有害杂质对器件工作区的影响，改善了器件的性能，这种工艺叫吸杂工艺。

2、简述CZ法中杂质掺入办法及其选择依据。

答：对于不易挥发的杂质如硼，可采用共熔法掺入，即把掺入元素或母合金与原料一起放在坩埚中熔化；对于易挥发的杂质，如砷、锑等，则放在掺杂勺中，待材料熔化后，在拉晶前再投放到熔体中，并需冲入氩气抑制杂质挥发。（掺入杂质的方法—共熔法和投杂法）

3、讨论CZ法中影响单晶纵向电阻率均匀性的因素及其控制办法。

答：影响直拉单晶电阻率的因素有：杂质的分凝、蒸发、沾污等。对于K<1的杂质，分凝会使单晶尾部电阻率降低；而蒸发正好相反，会使单晶尾部电阻率升高。沾污使N型单晶尾部电阻率增高，P型相反。

*控制方法：①变速拉晶法。出发点是CS=KCL。若在晶体生长初期用较大的拉速，随后随着晶体的生长而不断减小拉速，保持CL与Keff乘积不变，这样拉出来的单晶纵向电阻率就均匀了。②双坩埚法。

4、讨论CZ法中影响单晶径向电阻率均匀性的因素及其控制办法。答：*影响单晶径向电阻率均匀性的主要原因是晶体生长时固液界面的平坦度和*小平面效应的影响（P82）。

控制办法：①调整晶体生长热系统，使热场的径向温度梯度变小。②调节拉晶运行参数，对凸熔体界面，增加拉速。③调整晶体或坩埚的转速。④增大坩埚内径与晶体直径的比值。（对于小平面效应，需将固液界面调平）

书中补充（非答题）：

①在杂质K<1时，凸向熔体的界面会使径向电阻率出现中间高边缘低，凹向熔体的界面则相反，平坦的固液界面其径向电阻率均匀性就比较好。②拉晶时，在固液界面处热交换主要有四种：I、熔硅凝固放出的热；II、熔体的热传导；III、通过晶体向上的热传导；IV、通过晶体向外的辐射热。

③在生长晶体头部时，固液界面距单晶炉水冷籽晶杆较近，晶体内温度梯度较大，使晶体纵向导热大于表面辐射热，所以固液界面凸向熔体，在晶体生长到中部，纵向导热等于表面辐射热，故界面平直。

5、说明不同的固液生长界面形状（凸、凹、平）对电阻率径向分布的影响（K<1杂质）

答：对于K<1的杂质。①当晶体生长过程中，纵向热传导>径向热辐射时，如拉晶初期，固液生长界面凸向熔体，导致在同一高度的平面内中间部分晶体先生长，杂质浓度小，边缘部分后生长，杂质浓度大，造成沿径向电阻率中间高外面低。②当纵向热传导=径向热辐射时，如等径生长部分，固液面平坦，杂质浓度和电阻率沿径向分布均匀。③当纵向热传导<径向热辐射时，如晶体生长后期，晶体固液界面凹向熔体，导致在同一高度平面内中间部分后生长，杂质浓度大，边缘部分先生长，杂质浓度小，径向电阻率中低外高。

6、分析产生杂质条纹的根本*原因并说明对于非平坦界面，由于晶转轴与热转轴不重合带来的杂质条纹的形状（横截面、纵截面、表面）

答：根本原因：晶体中杂质浓度的起伏---由于晶体生长速率的起伏造成的。①由于单晶炉的机械蠕动和机械震动-间歇式条纹；②由于晶体转轴和温场轴不同轴—旋转性条纹；③由于加热器功率或热量损耗的起伏；④由于液流状态不稳定。

对于非平台界面，由于晶转轴与热场轴不重合，使杂质条纹沿晶体横截面呈螺旋状结构，纵截面周期性螺旋结构，表面也呈螺旋结构。

7、解释组分过冷并推导组分过冷产生的条件，讨论出现组分过冷时平坦界面上的干扰如何发展成胞状界面及枝蔓生长。

答：㈠在拉制重掺杂单晶时，对于K<1杂质，由于分凝作用在界面附近形成一个杂质富集层。在富集层内各点的凝固点不同，虽然界面的温度为凝固点，但离开界面 的熔体的实际温度低于凝固点，处于过冷状态。原来固液界面前沿的过热熔体因杂质的聚集产生一过冷区，这种因组分变化而产生的过冷现象称为*组分过冷。（*成因，生成机制）

㈡组分过冷的推导：P90 ㈢出现组分过冷时，平坦界面上晶体生长出现微突起，突起部分深入组分过冷熔体中，导致突起迅速生长，当突起部位之间相距比较近时，突出侧面由于晶体生长释放相变潜热使侧面附近熔体过冷度减小，侧面生长速度低于突起尖端的生长速度，突起越长越长，沿突起横向看过去，截面呈现胞状界面；如果在突起的侧面出现干扰产生新的突起，新的突起向侧面迅速生长，这样生长的突起呈现树枝状结构界面出现枝蔓生长。

㈣在拉直重掺杂单晶时，单晶尾部常过早地出现多晶，而且在晶变前的单晶截面经腐蚀后呈现蛛网状结构或螺旋状结构。

㈤*防止组分过冷条件：凝固点处的曲线斜率dT(Z)/dZ|Z=0<(dT(Z)/dZ)L ㈥*组分过冷的影响：在平坦的界面上因干扰产生突起时，其尖端处于过冷度较大的熔体中，它的生长速率比界面快，凸起不能自动消失，于是平坦的界面稳定性就被破坏了。

8、简述位错对材料性能的影响及无位错单晶工艺的要点。答：对材料性能的影响：

①对载流子浓度的影响：一般影响不大。

②对迁移率的影响：使电子迁移率减小，宏观迁移率降低，平行位错线与垂直位错线方向上迁移率不同。

③对载流子寿命的影响：

④对器件的影响：

无位错单晶工艺的要点：

①正确的选择籽晶晶向和制备籽晶；

（选择的籽晶应是没有系属结构或星形结构的晶体；*为了使位错容易排除体外，必须使生长轴与｛111｝面的最小夹角最大）-拉制无位错单晶。

②采用合适的拉晶工艺：采用缩颈工艺、籽晶预热等。

9、补充：

㈠掺杂量的计算：P73 ㈡掌握（111）小平面、凸向熔体：P82

第二篇：半期总结

2014-2015上学期体育教学半期工作总结

本人热爱祖国，拥护中国共产党。全面贯彻党的教育方针，忠诚党的教育事业。关心国家大事。积极参加学校组织的各项政治活动，认真学习三个代表，并且认真执行学校的各项规章制度。团结同志，做到爱校如家，爱生如子。全心全意搞好教学，管教管导，言传身教，教书育人。

教书育人是塑造灵魂的综合性艺术。看到孩子们一天天成长起来，作为教师的我该有多么欣慰。从关心爱护他们出发，坚持正面教育，耐心引导，肯定他们的成绩，爱护他们的自尊心，鼓励他们继续努力，尽量满足他们的合理要求，帮助他们解决困难。

一、教学工作。

我的体育教学主要从三点来进行总结。首先，我特别重视人体生理机能变化规律在教学过程中的运用。运用这个规律可以减少伤害事故的发生，使学生科学的锻炼身体并健康的成长。在教学过程中培养学生科学锻炼身体的方法。其次，我在教学过程中特别重视人的认知规律的培养。这样，可以使学生尽快的学好技术，形成技能，使体育教师真正实现精讲多练，为体育教学研究科学的教学方法和组织方法奠定基础。最后，我在教学中特别重视学生的思想教育，利用体育教材的特点结合具体内容，向学生进行思想教育。培养学生的自觉性、组织性、纪律性、集体荣誉感、不怕苦、不怕累、勇敢顽强的精神等。这三点的有机结合会使体育教学工作起到事半功倍的作用。

二、课间操工作。我主要是通过以下几点对广播操进行教学的。第一，加强对学生的思想教育，使学生真正认识到做操的重要性和必要性，培养学生重视做操、自觉做操、坚持做操、认真做操的良好习惯。第二，体育教师要正确运用示范。示范是体育教学的主要教学方法之一，通过示范能使学生建立正确的动作表象。因此，要求教师示范要清楚、准确、规范、优美。第三，讲解要少而精。我在广播操教学时的讲解，主要是结合我的示范动作，让学生加深对动作的理解。第四，口令要清楚、洪亮、准确。第五，纠正错误动作要及时。

三、训练工作。

我能够长期带领毕业班学生坚持业余训练，并做到训练有计划、阶段有测验、测验有记录、带领学生科学系统的进行训练。在训练时间上，为不耽误学生的学习，我每天都是等太阳升起时和太阳落山后进行训练。在训练过程中我和班主任努力做好学生和家长的工作，使家长能够让学生训练，使学生能够安心训练。在作学生和家长的工作中，领导和班主任老师也为我作了不少工作，支持了我的训练工作。因此，在今后的工作中更加要加倍努力，争取取得好成绩。

在工作上，我严格要求自己，工作实干，并能完成学校给予的各项任务，为提高自身的素质，积极参加各项培训，平时，经常查阅有关教学资料。同时经常在课外与学生联系，时时关心他们。

当然在教学工作中存在着一些不足的地方，须在以后进一步的努力。

第三篇：半期总结

半期总结

敬爱的物电系党组织：

我已被正式批准为中共预备党员.我加入中共预备党员已快半年了，通过这半年的组织生活，我充分感受到了党和领导对我们的关怀，使我对党和党组织有了更进一步的认识。

在这半年多时间里，我始终把学习和贯彻科学发展观为己任，认真贯彻执行党的每一个方针、政策，在努力提高自己的同时，还向周围同学宣传我们党的思想、方针、政策，带领周围同学积极向党组织靠拢，做好了党的宣传工作。然而，本人也明显地存在着各种各样的不足，如在生活上过于随便，宿舍卫生不好，往往显得还不够成熟。有则改之，无则加勉，我会在今后以这为准则，继续发扬自身优点的同时更会注意改正自己存在的不足

党组织生活充满色彩与温馨，我在这半年的组织生活里觉得十分充实和满足。在这期间我充实地学习，努力工作，不断开拓自己的视野，使自身的各项素质有了进一步的提高，也取得了一定的成绩。在文化课上，我始终以一名学生为己任，把自己的学习放在首位，通过这半年努力，在文化课的成绩上取得了较好的成绩。在工作上，我作为一名班干部，管理着班内的德育工作，我在严格要求自己的同时，积极做好班内的德育宣传工作，带领全班同学努力提高整体的德育水平。学习和工作固然重要，但是要不断使自己能够进步，达到一名中共党员应有的各项素质，就必须不断加强自身的思想政治修养，时刻以一名共产党员的身份要求自己。在这半年时间里，我除了体验党组织生活同时，还经常阅读有关党建党史，及党员先进事迹的书籍和报刊。不断加强对党的路线、方针、政策的认识和理解。通过不断加强思想政治的学习，使我有了一个更加明确的目标和工作学习的动力。

再过半年，我即将离开学校走上社会了。在十二五的浪潮中，我能否分清好坏，正与邪，能否抵制西方资本主义腐朽思想的侵蚀，就要求我不断加强政治修养点击查看本资料原创网站更多文章，时刻牢记自己是一名中国共产党员，以党员的要求时刻要求自己。在新的环境中，在新的挑战面前，时刻具有开拓的精神，发扬一名中共党员应有的精神风貌，处处起到带头模范作用。吃苦在前，享受在后，带领周围群众为建设一个强大的现代化国家而努力。

党的十七大即将召开了，我们党和国家新的领导班子也即将产生。在这关系着我们党和国家未来发展命运的重大政治会议期间，作为中国共产党的一分子，我会积极向周围群众宣传党的每一项方针、政策、宣传党的优良传统作风，做好党的各项宣传工作，在群众中树立党的良好光辉现象，为党的十七大的胜利召开，尽自己一份微薄的力量。

让我们始终坚信党员是一面旗帜，哪里有艰险,哪里就有共产党员。党员是为人民服务的，不是贪图享乐的，永远充分体现了党员的先锋模范作用。要扎扎实实地为群众办好事，办实事，能常走到群众中去，了解群众之所想，急群众之所急。

姓名：

年月日

第四篇：半期总结2012

清源小学半期总结表彰会主持词

尊敬的老师，亲爱的同学们：

下午好！时光飞逝，日月如梭。悄然间，我们已走过半个学期的繁忙而充实的学习生活。下面我宣布清源小学2012--2013第一学期半期总结表彰会正式开始

半期以来，全体老师以饱满的热情教育着我们、赏识着我们、激励着我们。同学们迅速适应了新变化，适应了新老师、新课堂，学习的目标更加明确，学习的习惯逐渐养成。

为了总结经验、表彰先进、找出差距、齐头并进，今天，我们在这里表彰半期以来表现优秀的同学。

1、因为时间关系，在这里，我们只公布优秀学生名单，奖状和奖品在会后发到班上。

首先，我宣读半期考试成绩优异的学生名单。

2、下面，我宣读半期以来优秀的队干部名单。

同学们：江山是打出来的；幸福的生活是辛勤的双手创造出来的；高超的技艺是不厌其烦地练出来的；出色的成绩不是等出来的，而是靠我们奋力拼搏干出来的。让我们做一个勤奋的学子，运用正确的学习方法，力争在下一次考试中取得更大进步，获得优异成绩。小学生活是缤纷的，学习生活是辛苦的，更是快乐的，但如果大家能够明白我们今天的辛苦是为了换来一生的幸福，那么再怎么辛苦都是快乐的、幸福的、值得的。最后祝每一位老师、身体健康、工作愉快，家庭幸福，祝每一位同学快乐成长、学习进步、创造辉煌。

第五篇：半期总结范文

半期总结

一、学情分析

高2016级11班共65人，其中男生29人，女生36人。绝大多数同学来至于农村，多数学生家长长期在外打工，家庭条件一般。就学习习惯和学习态度来看，女生学习习惯好于男生，农村来的同学学习比较刻苦。目前学习氛围基本形成，但很多同学还是缺乏主动性，在学习上经常需要老师督促提醒，在生活上少数同学有点拖拉，学习目标不明确，怕吃苦，成绩一般。现在班上绝大多数同学成绩在年级前1000位，少数能进入年级前300位，个别能进入年级前100。现阶段学生基本能做到进教室自己能找到事情做。

二、成绩分析

语文数学英语物理化学生物总分ABCABCABCABCABCABCABC******406364496464半期考试总分进入A优共49人，总分进入B优共64人。有一人未上优分线。从数据层面分析，我班总分优生人数多于各科优生人数。说明各科进步的空间还很大，也说明班上同学各科发展不均衡，偏科的同学很多，发展潜力很大。

三、后期管理

班级常规管理始终围绕“三个正确”展开，即正确的时间出现在正确的地点做正确的事。一如既往的找好常规，早七点前进教室，晚饭后6点10前进教室。中午12点35前进寝室，晚上10点15前进寝室。培养学生基本的生活学习习惯，进寝室就收拾睡觉，进教室就自己安排作业。学习管理，高一上主要是培养学生良好的学习习惯，让学生学会听课，学会做作业。要求学生做到以下几点：

1、听课前，做好预习

2、听课中，注意理解

3、听课后，及时复习

就我班情况来说，学生要想进一步发展，班级想要进步，必须培养学生的学习习惯，光靠死记硬背和题海战术，很多同学已经很难进步了，所以，这学期班级学习管理的重心就是培养学生的听课能力和吸收能力。同时还要改变师生关系，让学生由原来的跟着老师学习，变为自主学习，只有会自己动脑研究的学生才能走的更远，也才能在高考中取得更好的成绩。

四、班级目标

高二主要是学生学习习惯的养成教育，争取的期末时班上的同学都学会如何听课，如何做作业。成绩方面，争取各科A优人数达到40人以上，B优人数64人以上。总分进A优50人以上，总分进B优64人以上。同时要提高A优和B优生的质量。A优中争取2人进入年级前50,5人进入年级前100,20人进入年级前300。班级总体争取55人进入年级前1000。