第一篇：车辆涡轮增压机的优缺点
车辆涡轮增压机的优缺点
与非增压情况相比，增压发动机的优点主要是同等功率下减少了发动机的质量和外形尺寸、并降低单位功率从造价；能提高热效率、降低燃油消耗率；减少排气污染和噪声；对补偿高原功率损失十分有利。但增压发动机也有不少的应用难点需要值得注意，例如增压发动机的机械负荷和热负荷都较高，对发动机的寿命和可靠性提出了更苛刻的要求；增压发动机对扭矩的适应性和瞬变工况的反应要比非增压的差一些；与大型的增压器相比，小型的涡流增压器效率偏低，功率提升不明显，等等。
“增压发动机对扭矩的适应性和瞬变工况的反应要比非增压的差一些”。这是为什么呢？因为涡轮是被发动机排除的废气驱动，且进气系统增加了中冷器系统等，都会对发动机的进气产生延迟和滞后作用，也就是说它对油门的相应时间要比非增压的发动机的相应时间长，也就是我们说的“肉”。（增压发动机的优缺点固然存在，但是否真的能减少交通事故，笔者持谨慎态度）。
第二篇：涡轮分子泵的优缺点概要
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涡轮分子泵的优缺点
1、优点
由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下，多选用涡轮分子泵。它的优点有：(1)清洁，无油蒸汽返流
涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵（如图4）。极限压力为2 10-7 Pa 图4 涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图
图4 表明涡轮分子泵系统中不含有碳氢化合物，曲线上17 和18 为OH+ 和H2O+。(2)使用方便
在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任
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意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作）。这个特点，可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用
一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空一般可达到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵，用金属密封并除气良好的泵，一般其极限压力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之间。而且不像低温泵或离子泵那样，涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性（测不到碳氢化合物），显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪，分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。
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(5)高压力下性能良好
有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之间运行。在这个压力范围内，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。(6)循环的时间短
多数涡轮分子泵，尤其小一些的，要达到正常的运行速度的时间，一般需要1～3 min。对于不同品种和型号的泵有所不同。并且能立即关闭，并可暴露大气。这种快速循环特性在样品输入系统中很有用，尤其对手提式氦检漏仪有用。(7)正常使用时间长
在某些应用中，涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下，会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复，而涡轮分子泵使用还能消除因泵油对真空室的污染。
2、缺点
任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。(1)设备费用高
在抽速大于1000 L/s 的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型
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扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。
(2)对颗粒物或沉积物敏感
若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。(3)噪音与振动
从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动如图5 所示。对涡轮分子泵（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。振动速度V 的单位为 m/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 为振幅 m，f 为频率Hz，产生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,莱宝真空泵
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对某些特殊应用也是问题。
图5 涡轮分子泵的振动速度与频率的关系(4)破碎问题
有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或轴承磨损而出现破碎的。通常要有保护措施，如在入口处加过滤网，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大气易引起事故
任何高真空泵在运转期间都会碰到这种事故。如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。最好的办法是厂家通过试验得出结果。扩散泵和低温泵在工作中遇到这种突然事故也比较麻烦，比涡轮分子泵的抵抗能力差，如扩散泵油被氧化会迅速污染真空室，低温泵要求再生等。
要想涡轮分子泵有较长的工作寿命和最佳的运转性能，用户一定要按操作规程和使用步骤进行，将在下面将详细讨论这些问题。
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如何选择和使用涡轮分子泵 结构型式与工作原理
涡轮分子泵的优缺点
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涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题
1、優點
由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流
渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖
圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便
在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系
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統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強
大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用
一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設
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備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好
有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短
多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長
在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。
2、缺點
任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高
在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使
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用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。
(2)對顆粒物或沉積物敏感
若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動
從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005
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m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。
圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題
有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大氣易引起事故
任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。
要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。
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渦輪分子泵的優缺點
渦輪分子泵運轉時值得註意的幾個問題
1、优点
由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下，多选用涡轮分子泵。它的优点有：(1)清洁，无油蒸汽返流
涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵（如图4）。极限压力为2 10-7 Pa 图4 涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图
图4 表明涡轮分子泵系统中不含有碳氢化合物，曲线上17 和18 为OH+ 和H2O+。(2)使用方便
在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空
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元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作）。这个特点，可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用
一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空一般可达到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵，用金属密封并除气良好的泵，一般其极限压力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之间。而且不像低温泵或离子泵那样，涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性（测不到碳氢化合物），莱宝真空泵
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显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪，分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。(5)高压力下性能良好
有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之间运行。在这个压力范围内，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。(6)循环的时间短
多数涡轮分子泵，尤其小一些的，要达到正常的运行速度的时间，一般需要1～3 min。对于不同品种和型号的泵有所不同。并且能立即关闭，并可暴露大气。这种快速循环特性在样品输入系统中很有用，尤其对手提式氦检漏仪有用。(7)正常使用时间长
在某些应用中，涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下，会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复，而涡轮分子泵使用还能消除因泵油对真空室的污染。
2、缺点
任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。(1)设备费用高
在抽速大于1000 L/s 的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设
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备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。
(2)对颗粒物或沉积物敏感
若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。(3)噪音与振动
从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动如图5 所示。对涡轮分子泵（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。振动速度V 的单位为 m/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：
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d=V/2 f，式中d 为振幅 m，f 为频率Hz，产生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,对某些特殊应用也是问题。
图5 涡轮分子泵的振动速度与频率的关系(4)破碎问题
有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或轴承磨损而出现破碎的。通常要有保护措施，如在入口处加过滤网，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大气易引起事故
任何高真空泵在运转期间都会碰到这种事故。如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。最好的办法是厂家通过试验得出结果。扩散泵和低温泵在工作中遇到这种突然事故也比较麻烦，比涡轮分子泵的抵抗能力差，如扩散泵油被氧化会迅速污染真空室，低温泵要求再生等。
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涡轮分子泵的优缺点
涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题
1、優點
由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流
渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖
圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便
在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作
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速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強
大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用
一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速
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有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短
多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長
在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。
2、缺點
任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高
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在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。
(2)對顆粒物或沉積物敏感
若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動
從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動
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速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。
圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題
有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大氣易引起事故
任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。
要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。
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如何選擇和使用渦輪分子泵 結構型式與工作原理
渦輪分子泵的優缺點
渦輪分子泵運轉時值得註意的幾個問題
1、优点
由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下，多选用涡轮分子泵。它的优点有：(1)清洁，无油蒸汽返流
涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵（如图4）。极限压力为2 10-7 Pa 图4 涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图
图4 表明涡轮分子泵系统中不含有碳氢化合物，曲线上17 和18 为OH+ 和H2O+。(2)使用方便
在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压
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力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作）。这个特点，可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用
一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空一般可达到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵，用金属密封并除气良好的泵，一般其极限压力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之间。而且不
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像低温泵或离子泵那样，涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性（测不到碳氢化合物），显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪，分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。(5)高压力下性能良好
有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之间运行。在这个压力范围内，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。(6)循环的时间短
多数涡轮分子泵，尤其小一些的，要达到正常的运行速度的时间，一般需要1～3 min。对于不同品种和型号的泵有所不同。并且能立即关闭，并可暴露大气。这种快速循环特性在样品输入系统中很有用，尤其对手提式氦检漏仪有用。(7)正常使用时间长
在某些应用中，涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下，会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复，而涡轮分子泵使用还能消除因泵油对真空室的污染。
2、缺点
任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。
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(1)设备费用高
在抽速大于1000 L/s 的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。
(2)对颗粒物或沉积物敏感
若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。(3)噪音与振动
从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动如图5 所示。对涡轮分子泵
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（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。振动速度V 的单位为 m/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 为振幅 m，f 为频率Hz，产生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,对某些特殊应用也是问题。
图5 涡轮分子泵的振动速度与频率的关系(4)破碎问题
有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或轴承磨损而出现破碎的。通常要有保护措施，如在入口处加过滤网，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大气易引起事故
任何高真空泵在运转期间都会碰到这种事故。如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。最好的办法是厂家通过试验得出结果。扩散泵和低温泵在工作中遇到这种突然事故也比较麻烦，比涡轮分子泵的抵抗能力差，如扩散泵油被氧化会迅速污染真空室，低温泵要求再生等。
要想涡轮分子泵有较长的工作寿命和最佳的运转性能，用户一定要按操作规程和使用步骤进行，将在下面将详细讨论这些问
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题。
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如何选择和使用涡轮分子泵 结构型式与工作原理
涡轮分子泵的优缺点
涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题
1、優點
由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流
渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖
圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便
在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻
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是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強
大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用
一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力
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在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好
有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短
多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長
在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。
2、缺點
任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它
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存在的一些缺點。(1)設備費用高
在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。
(2)對顆粒物或沉積物敏感
若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動
從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上
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得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。
圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題
有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大氣易引起事故
任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。
要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一
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渦輪分子泵的優缺點
渦輪分子泵運轉時值得註意的幾個問題
1、优点
由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下，多选用涡轮分子泵。它的优点有：(1)清洁，无油蒸汽返流
涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵（如图4）。极限压力为2 10-7 Pa 图4 涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图
图4 表明涡轮分子泵系统中不含有碳氢化合物，曲线上17 和18 为OH+ 和H2O+。(2)使用方便
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在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作）。这个特点，可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用
一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空一般可达到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之间。若一台涡轮分子泵再串
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有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之间运行。在这个压力范围内，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。(6)循环的时间短
多数涡轮分子泵，尤其小一些的，要达到正常的运行速度的时间，一般需要1～3 min。对于不同品种和型号的泵有所不同。并且能立即关闭，并可暴露大气。这种快速循环特性在样品输入系统中很有用，尤其对手提式氦检漏仪有用。(7)正常使用时间长
在某些应用中，涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下，会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复，而涡轮分子泵使用还能消除因泵油对真空室的污染。
2、缺点
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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。(1)设备费用高
在抽速大于1000 L/s 的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。
(2)对颗粒物或沉积物敏感
若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。(3)噪音与振动
从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，莱宝真空泵
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最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动如图5 所示。对涡轮分子泵（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。振动速度V 的单位为 m/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 为振幅 m，f 为频率Hz，产生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,对某些特殊应用也是问题。
图5 涡轮分子泵的振动速度与频率的关系(4)破碎问题
有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或轴承磨损而出现破碎的。通常要有保护措施，如在入口处加过滤网，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大气易引起事故
任何高真空泵在运转期间都会碰到这种事故。如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。最好的办法是厂家通过试验得出结果。扩散泵和低温泵在工作中遇到这种突然事故也比较麻烦，比涡轮分子泵的抵抗能力差，如扩散泵油被氧化会迅速污染真空室，低温泵要求再生等。
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涡轮分子泵的优缺点
涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题
1、優點
由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流
渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖
圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。
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大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用
一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～
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10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好
有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短
多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長
在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。
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2、缺點
任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高
在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。
(2)對顆粒物或沉積物敏感
若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動
從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞
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和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。
圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題
有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大氣易引起事故
任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要
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求再生等。
要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。
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渦輪分子泵的優缺點
渦輪分子泵運轉時值得註意的幾個問題
1、优点
由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下，多选用涡轮分子泵。它的优点有：(1)清洁，无油蒸汽返流
涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵（如图4）。极限压力为2 10-7 Pa 图4 涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图
图4 表明涡轮分子泵系统中不含有碳氢化合物，曲线上17 和
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zxcv 为OH+ 和H2O+。(2)使用方便
在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作）。这个特点，可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用
一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片
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泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空一般可达到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵，用金属密封并除气良好的泵，一般其极限压力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之间。而且不像低温泵或离子泵那样，涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性（测不到碳氢化合物），显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪，分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。(5)高压力下性能良好
有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之间运行。在这个压力范围内，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。(6)循环的时间短
多数涡轮分子泵，尤其小一些的，要达到正常的运行速度的时间，一般需要1～3 min。对于不同品种和型号的泵有所不同。并且能立即关闭，并可暴露大气。这种快速循环特性在样品输入系统中很有用，尤其对手提式氦检漏仪有用。(7)正常使用时间长
在某些应用中，涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下，会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复，而涡轮分子泵使用还能消除因泵油
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对真空室的污染。
2、缺点
任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。(1)设备费用高
在抽速大于1000 L/s 的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。
(2)对颗粒物或沉积物敏感
若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。(3)噪音与振动
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从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动如图5 所示。对涡轮分子泵（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。振动速度V 的单位为 m/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 为振幅 m，f 为频率Hz，产生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,对某些特殊应用也是问题。
图5 涡轮分子泵的振动速度与频率的关系(4)破碎问题
有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或轴承磨损而出现破碎的。通常要有保护措施，如在入口处加过滤网，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大气易引起事故
任何高真空泵在运转期间都会碰到这种事故。如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。最好的办法是厂家通过试验得出结果。扩散泵和低温泵在工作中遇到这种突然事故也比较麻烦，比涡轮分子泵
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zxcv 的抵抗能力差，如扩散泵油被氧化会迅速污染真空室，低温泵要求再生等。
要想涡轮分子泵有较长的工作寿命和最佳的运转性能，用户一定要按操作规程和使用步骤进行，将在下面将详细讨论这些问题。
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如何选择和使用涡轮分子泵 结构型式与工作原理
涡轮分子泵的优缺点
涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题
1、優點
由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流
渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖
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圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便
在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強
大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用
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一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好
有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短
多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長
在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定
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時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。
2、缺點
任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高
在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。
(2)對顆粒物或沉積物敏感
若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。
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(3)噪音與振動
從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。
圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題
有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。
(5)暴露大氣易引起事故
任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵
第三篇：液力传动在车辆上应用的优缺点
液力传动在车辆上应用的优缺点
液力传动之所以在车辆上能得到广泛应用，是因为它的应用使车辆获得了一些新的优异性能：①使传动系统获得自动地无级变速和变矩能力，使车辆具有自动适应能力。
②在困难和复杂路面行驶时，可以防止发动机过载或突然熄火。
③液力传动元件以液体为工作介质，具有减振作用，可以衰减发动机曲轴的转矩振动，可以大大降低行走部分传来的或传动系统中产生的动负荷。因此，可以提高发动机和传动部件的使用寿命，有试验表明通过液力变矩器传动后，扭转振动的振幅可降低到50%以下。曾在重型载重汽车上做过应用液力传动和机械传动的对比试验，前者比后者的最大负荷降低18.5%，发动机使用寿命延长47%，齿轮变速器寿命延长400%，差速器寿命延长93%，足可见液力传动在车辆上应用的技术经济效益是何等优越。
④液力传动的主要构件，工作轮之间无直接机械连接，没有界限摩擦损失，使用可靠、寿命长、保养简单。
⑤液力传动使车辆具有良好的稳定的低速性能，可以提高车辆在软路面如泥泞、沙地、雪地和其他非硬土壤路面的通过性。曾用汽车做过对比试验，在阮路面上起步和形式时，采用液力传动较用机械传动的车轮下限量约少25%，滑转小，附着储备大2~3倍，提高了汽车的通过性。
⑥由于液力传动具有良好的自动适应性，故运输车辆应用液力传动后，可使车辆起步平稳、加速迅速、均匀、乘员舒适，可以简化操作，减速换挡或不换挡，提高车辆的平均行驶速度，减轻驾驶员的疲劳，提高安全行驶能力。
⑦液力制动器在重载汽车上应用，使车辆在长大坡度公路上行驶时，能得到柔性制动的性能，提高车辆行驶安全性。
⑧减速对空气的污染，由于手动变速器在换挡过程中常伴有供油量的急剧变化，发动机的转速变化较大，导致燃烧过程恶化，使废气中有害成分增加，当用液力自动变速器时，由于液力传动和自动换挡技术，能把发动机限制在污染较小的转速范围工作，从而可减少发动机排气中有害物质的含量。
车辆采用液力传动与机械传动相比，也有一些缺点：①液力传动的效率比机械传动低，经济性要差些，如带有液力变矩器的自动挡汽车就比手动挡汽车费油。②需要增加一些为液力传动所必需的附加设备，如供油系统、冷却系统等，因而体积和重量比机械传动略大，结构较复杂，造价略高。③由于液力元件的输入与输出构件无直接机械连接，所以不能利用发动机的惯性来制动，也不能用牵引的办法起动发动机。如要获得此方面的性能，则需要添加附加装置。
尽管液力传动有一定的缺点，但优点是突出的，所以在车辆上的应用越来越广泛，液力传动工业的最大支撑点是汽车工业。
文章来源：广州液力传动设备有限公司
第四篇：【问答】营改增后,车辆停放服务按照什么税目征税
【问答】营改增后，车辆停放服务按照什么税目征税
营改增后，车辆停放服务按照什么税目征税? 答：根据《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》(财税〔2016〕36号)规定,车辆停放服务、道路通行服务(包括过路费、过桥费、过闸费等)等按照不动产经营租赁服务缴纳增值税。
建筑业、房地产业开始营改增的时间？
答：《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》（财税〔2016〕36号）规定：“经国务院批准，自2016年5月1日起，在全国范围内全面推开营业税改征增值税试点，建筑业、房地产业、金融业、生活服务业等全部营业税纳税人，纳入试点范围，由缴纳营业税改为缴纳增值税。” 此次营改增涉及的行业有哪些？ 答：根据《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》（财税〔2016〕36号）规定，自2016年5月1日起，在全国范围内全面推开营改增试点，建筑业、房地产业、金融业、生活服务业等全部营业税纳税人，纳入试点范围，由缴纳营业税改为缴纳增值税。我公司出租土地使用权，能否按照不动产租赁服务缴纳增值税？ 答：根据《财政部国家税务总局 关于进一步明确全面推开营改增试点有关劳务派遣服务、收费公路通行费抵扣等政策的通知》（财税2016年第47号)第三条第二款规定，纳税人以经营租赁方式将土地出租给他人使用，按照不动产经营租赁服务缴纳增值税。因此，您公司可以按照不动产经营租赁服务缴纳增值税。企业代扣代缴个人所得税取得的2%手续费返还是否缴纳增值税？ 答：按照目前营改增政策相关规定，纳税人代扣代缴个人所得税取得的手续费收入应属于增值税征税范围，应缴纳增值税。出租车公司向使用本公司自有出租车的出租车司机收取的管理费用按照什么税目缴纳增值税？ 答：根据《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》（财税〔2016〕36号）文件附《销售服务、无形资产、不动产注释》规定，出租车公司向使用本公司自有出租车的出租车司机收取的管理费用按照陆路运输服务缴纳增值税。固定电话、有线电视、宽带、水、电、燃气、暖气等经营者向用户收取的安装费、初装费、开户费、扩容费按何税目缴纳增值税？ 答：根据《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》（财税〔2016〕36号）文件附《销售服务、无形资产、不动产注释》规定，固定电话、有线电视、宽带、水、电、燃气、暖气等经营者向用户收取的安装费、初装费、开户费、扩容费以及类似收费，按照安装服务缴纳增值税。境外单位在境内发生应税行为，在境内未设有经营机构的，境外单位需要直接缴纳增值税吗？ 答：根据《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》（财税〔2016〕36号）附件1《营业税改征增值税试点实施办法》第六条规定，中华人民共和国境外（以下称境外）单位或者个人在境内发生应税行为，在境内未设有经营机构的，以购买方为增值税扣缴义务人。财政部和国家税务总局另有规定的除外。增值税一般纳税人资格登记生效时间是如何规定的？ 答：根据《国家税务总局关于调整增值税一般纳税人管理有关事项的公告》（国家税务总局公告2015年第18号）规定：“
五、除财政部、国家税务总局另有规定外，纳税人自其选择的一般纳税人资格生效之日起，按照增值税一般计税方法计算应纳税额，并按照规定领用增值税专用发票。”（政策解读：
三、(五)公告附件1《增值税一般纳税人资格登记表》中“一般纳税人资格生效之日”项目，由纳税人在填表时自行勾选“当月1日”或“次月1日”。）
“三证合一”后，一般纳税人税务登记证件上还需要加盖“一般纳税人”戳记吗? 答：根据《国家税务总局关于“三证合一”登记制度改革涉及增值税一般纳税人管理有关事项的公告》（国家税务总局公告2015年第74号）第一条规定：“主管税务机关在为纳税人办理增值税一般纳税人登记时，纳税人税务登记证件上不再加盖‘一般纳税人’戳记。经主管税务机关核对后退还纳税人留存的《增值税一般纳税人资格登记表》，可以作为证明纳税人具备增值税一般纳税人资格的凭据。” 纳税人自办理税务登记至认定或登记为一般纳税人期间，取得的增值税扣税凭证，在什么情况下可以抵扣进项税额？ 答：根据《国家税务总局关于纳税人认定或登记为一般纳税人前进项税额抵扣问题的公告》(国家税务总局公告2015年第59号)规定：“现将纳税人认定或登记为一般纳税人前进项税额抵扣问题公告如下：
一、纳税人自办理税务登记至认定或登记为一般纳税人期间，未取得生产经营收入，未按照销售额和征收率简易计算应纳税额申报缴纳增值税的，其在此期间取得的增值税扣税凭证，可以在认定或登记为一般纳税人后抵扣进项税额。……
三、本公告自发布之日起施行。此前未处理的事项，按照本公告规定执行。……” 营改增纳税人一经登记为一般纳税人，还能转为小规模纳税人吗？ 答：根据《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》（财税〔2016〕36号）中《营业税改征增值税试点实施办法》第五条规定，除国家税务总局另有规定外，一经登记为一般纳税人后，不得转为小规模纳税人。本次营改增涉及的行业税率分别是多少？ 答：根据《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》（财税〔2016〕36号）第十五条规定，增值税税率：
（一）纳税人发生应税行为，除本条第（二）项、第（三）项、第（四）项规定外，税率为6％。
（二）提供交通运输、邮政、基础电信、建筑、不动产租赁服务，销售不动产，转让土地使用权，税率为11%。
（三）提供有形动产租赁服务，税率为17%。
（四）境内单位和个人发生的跨境应税行为，税率为零。具体范围由财政部和国家税务总局另行规定。一般纳税人销售货物本期进项税额大于销项税额，应如何处理？ 答：根据《中华人民共和国增值税暂行条例》（中华人民共和国国务院第538号令）第四条规定，除本条例第十一条规定外，纳税人销售货物或者提供应税劳务(以下简称销售货物或者应税劳务), 应纳税额为当期销项税额抵扣当期进项税额后的余额。应纳税额计算公式： 应纳税额=当期销项税额一当期进项税额当期销项税额小于当期进项税额不足抵扣时，其不足部分可以结转下期继续抵扣。单位买一批货物但在运输途中发生交通意外，货物全部毁损。请问这批货物的进项税额需要转出吗？ 答：《增值税暂行条例》第十条第二项规定，非正常损失的购进货物及相关的应税劳务的进项税额不得从销项税额中抵扣，而依据《增值税暂行条例实施细则》第二十四条规定，非正常损失是指因管理不善造成被盗、丢失、霉烂变质的损失。因此，交通意外导致的损失不属于非正常损失，不需要进行进项税额转出。5月1日后一般纳税人购进的旅客运输服务、贷款服务可以抵扣进项吗？ 答：根据《财政部国家税务总局关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》(财税〔2016〕36号)附件1第二十七条规定，下列项目的进项税额不得从销项税额中抵扣：......（六）购进的旅客运输服务、贷款服务、餐饮服务、居民日常服务和娱乐服务。（国税总局）关于税闻
第五篇：关于开展2012年人工增雨设备及车辆和人影安全管理年检的通知
关于开展2012年人工增雨设备及车辆和人
影安全管理年检的通知
各县区局防火办、各县区局人工增雨办公室、大杨树农工商人工降雨防雹办公室：
春防将至，为充分发挥人工增雨作业在森林防火工作中的作用，进一步加强人工增雨作业安全管理工作，地区人影办于3月5--12日，对人工增雨火箭设备及车辆和人影安全管理进行年检，行程是呼玛-塔河-漠河-新林-呼中-松岭。防雹高炮在5月末至6月初进点之前进行年检。
1、严格三证管理（许可证、资质证和上岗证），禁止无证作业,作业人员必须办理人身保险。
2、按照中国气象局、黑龙江省政府降雨办的要求，做好今年的人工增雨准备工作，并提前进行作业前的公示公告制度，以保证作业地域各个方面的安全。
3、抓紧作业点基础设施建设，各级弹药库应设立安全保障设施（防盗门窗和监控报警装置）。
4、所有作业点应绘制规范的安全射界图。
5、弹药必须由专用车辆进行运输，出入库手续必须健全，由专人管理进行登记，地局将重点进行检查各地弹药库的管理情况。
6、对过期、破损和哑弹等废旧炮弹、火箭弹，各地应就地封存及时上报省人影办，由省人影办统一组织销毁。
7、按照要求及时、规范、准确的上报电子版省办人影作业
日报表、地防指日报表及各项统计报表，报表模板一定用统一格式上报，做好作业记录。按照省降雨办和地防指的要求,作业后24小时内必须上报，地防指报表纸制版必须由当地主管防火指挥签字盖章后邮到地区人影办，地区人影办每月集中上报地防指。
8、各个部门对增雨车辆及设备进行一次全面的自查自检，该维修的维修，该保养的保养，防火部门的增雨车辆专车专用，配备好专门的作业人员与司机，确保春防期间能够“拉得出、打得响、效果好”。各县区局人工增雨办公室提前通知当地防火办及时到当地气象部门进行年检。
9、为保证春防期间和春播期间的我区人工增雨工作，各个有关单位一定按照上级文件的有关要求，在地委行署管局和省局省政府降雨办统一协调指挥下，精心准备，周密部署。
大兴安岭地区防火办
大兴安岭地区人影办
二0一二年二月二十二日
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