第一篇:浅谈光刻工艺
《浅谈光刻工艺》
匡海军
(湘潭大学材料与光电物理学院 09级测控技术与仪器三班,学号2009700931)
摘要: 光刻技术作为半导体及其相关产业发展和进步的关键技术之一。光刻是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺,在此之后,晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。被除去的部分可能形状是薄膜内的孔或是残留的岛状部分。
关键词:光刻技术原理、光刻工艺过程、光刻三要素、下一代光刻技术
1.光刻工艺技术原理与目的
“光刻”的基本原理是利用光敏的抗蚀涂层发生光化学反应,结合刻蚀方法在各种薄膜上(如Si02等绝缘膜和各种金属膜)生成合乎要求的图形,以实现选择掺杂、形成金属电极和布线或表面钝化的目的。
2.光刻工艺过程
一般的光刻工艺要经历硅片清洁处理(表面清洗烘干)、涂敷光刻胶(涂底、旋涂光刻胶)、前烘、对准曝光、显影、硬烘(坚膜)、腐蚀(刻蚀)、检测等工序。
(a)清洁处理(表面清洗烘干):使Si02层表面清洁干燥,保证光刻胶与Si02表面有很好的粘附。为此目的,有时需要在800℃下烘焙(最好是通氧气)以进行增粘处理。采用涂增粘剂的方法也可达到同样目的。
(b)涂敷光刻胶(涂底、旋涂光刻胶):光刻胶是一种高分子有机化合物,由光敏化合物、树脂和有机溶剂组成。加入有机溶剂是为了使光刻胶有一定的粘度,便于在Si层表面涂敷均匀。受特定波长光线的照射后,光刻胶的化学结构将发生变化。如果光刻胶受光照的区域在显影时容易除去,称之为正性胶;反之如果在显影中曝过光的胶被保留,末曝光的胶被除去,则称之为负性胶。
涂敷时将光刻胶滴在硅片上,然后使硅片高速旋转,在离心力和胶表面张力(与粘度有关)共同作用下,在表面形成一层厚度一定而且均匀的胶层。
(c)前烘:将涂好胶的硅片放于70℃左右温度下供10min,使光刻胶中溶剂缓慢、充分地挥发掉,保持光刻胶干燥。常用红外线加热或热板前烘方法。
(d)对准曝光:将光刻版(又称为掩模)放在光刻胶层上,然后用一定波长的紫外光照射,使光刻胶发生光化学反应。光刻版是一种采用玻璃制作的照相底板,光刻版上的图形就是由设计人员根据集成电路功能和特性要求设计的版图图形。
若不是第一次光刻图形,应保证本次光刻图形与硅片上已有的前几次光刻图形间的套准。
曝光方法:a、接触式曝光、b、接近式曝光、c、投影式曝光三种。
(e)显影:经过曝光后的光刻胶中受到光照的部分因发生光化学反应,大大地改变了这部分光刻胶在显影液中的溶解度。对采用负性胶的情况,未受光照的那部分光刻胶在显影中被溶解掉。
(f)硬烘(坚膜):由于显影时胶膜被泡软,为了去除显影后胶层内残留的溶剂,使显影后的胶膜进一步变硬并使其与Si02层更好地粘附,增强其耐腐蚀性能,要将显影后的硅片放在150—200℃温度下供焙20—40mino(g)腐蚀(刻蚀):对坚好膜的片子进行腐蚀处理。由于在Si02层上方留下的胶膜具有抗腐蚀性能,所以腐蚀时只是将没有胶膜保护的二氧化硅部分腐蚀掉。目前采用的腐蚀方法有湿法腐蚀和干法腐蚀两种。
(h)检测:主要是检查硅片表面的缺陷。通常将一个无缺陷得标准图形存于电脑中,然后用每个芯片的图形与标准相比较,出现多少不同的点,就会在硅片的defect map中显示多少个缺陷。
3.光刻三要素:光刻胶、掩膜板和光刻机
光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理,溶去可溶性部分。光刻胶的分类:光聚合型、光分解型、光交联型。传统光刻胶:正胶和负胶。正胶(聚异戊二烯):分辨率高,在超大规模集成电路工艺中,一般只采用正胶。负 胶(性酚醛树脂的酚醛甲醛):分辨率差,适于加工线宽≥3m的线条。
掩膜板(光掩模板或者光罩),曝光过程中的原始图形的载体,通过曝光过程,这些图形的信息将被传递到芯片上。制造芯片时用的。
光刻机也就是光盘刻录机,简单说就是刻录碟片的电脑硬件
4.下一代光刻技术
1.浸入式光刻技术
由公式R=k*λ/(NA)= =kλ/(n*sinα),空气的折射率为1,水的折射率为1.47(相对于193nm的深紫外光而言);所以,用水来代替空气,可以提高光刻系统的数值 孔径(NA,Numerical Aperture),最终可以提升分辨率。在ITRS2003版本中,增加了浸入式光刻,作为45nm节点的解决方案。近年,浸入式光刻发展非常迅猛,并 获得了产业界持续发展的信心。在ITRS2005版本中,已将浸入式光刻列为32nm甚至22nm节点的可能解决方案
挑战:气泡问题(Water Bubble);温度不均匀(Temperature Effect)。下一步发展中的挑战在于研发高折射率的抗蚀剂、高折射率的液体和高折射率的光学材料。
2.深紫外光刻
通过缩小光源的波长来改善分辨率。F2的准分子激光光源157nm。有望成为50~70nm的解决方案。需要同浸入式结合才有可能存在,而且可能性比较小的选择。
挑战:易被氧气吸收,需要真空环境;光强比较弱,易被透镜吸收,折射透镜系统设计非常复杂;高灵敏度的光刻胶。
3.极紫外光刻
又称作软X射线(Soft X-ray)。极紫外光的波长为11~14nm,可以大幅提升分辨率。由于极紫外光非常容易被吸收,所以光学系统(透镜等)和掩膜板都要采用反射式传递图 形信息。光刻胶为PMMA。在ITRS2005版本中,已将EUV光刻列为32nm、22nm甚至16nm节点的可能解决方案。
挑战:极紫外光容易被吸收,必须真空环境;掩膜板很特殊,制作困难;设备的成本很高。
4.电子束直写光刻
电子束的能量越高,波长越短。一般为0.1nm。利用尺寸非常小的电子束在光刻胶上直写,不需要掩膜板。可以用电磁场聚焦,易于控制。现在用于掩膜板的制作。光刻胶为PMMA。可以作为10nm的潜在解决方案。
挑战:因为会发生电子散射而产生临近效应;常能低,大概1片/小时。 5.电子束投影光刻
采用掩膜板的电子束投影,其产能比较高。波长约0.1nm。(在ITRS2004版本中,已经取消电子束投影光刻技术作为45nm节点以后的可能解决方案)
挑战:电子束的散射引起的临近效应。
6.角度限制投影电子束光刻
掩膜板的基底材料是铍(Be),阻挡层是金(Au)。通过对入射电子的不同散射,使大散射 部分(通过阻挡层的电子),不会使光刻胶曝光。它的掩膜板制作比极紫外光刻容易;具有大的焦深;可以用深紫外光刻胶;100Kev的能量。(在 ITRS2004版本中,已经将PEL光刻技术撤销,因为该技术只是作为地区性的解决方案)
7.离子束投影光刻
与电子束直写光刻技术类似。不需要掩膜板,应用高能粒子束直写。粒子束的散射没有电子束那么强,所以具有更好的分辨率。使用PMMA光刻胶。常用于:掩膜板的修复;监测和修复IC电路。(在ITRS2003版本中,已经将离子束投影光刻技术撤销)
挑战:粒子束的产生没有电子束容易;产能很低。
8.紫外纳米压印光刻
紫外纳米压印技术是一种高产能、低成本、高分辨率的光刻技术。图形的分辨率直接决定于模板的 分辨率。主要工艺过程:模板制作、硅衬底滴胶、压印、曝光、脱模、反映离子刻蚀。图形精度可以达到5nm。ITRS2005中,紫外纳米压印作为 32nm、22nm甚至16nm的潜在解决方案。
9.双重图形光刻
将设计版图分成两块掩膜板以降低光刻图形间距要求的技术。在ITRS2006修正版中,将双重图形光刻作为潜在的45nm光刻解决方案之一。将一套高密度的电路图分解成为两套独立的、密度低一些的图形。它的基本步骤是先印制一半的图形,显影,刻蚀;然后重新旋涂一层光刻胶,再印制另一半的图形,最后利用硬掩膜或者是选择性刻蚀来完成整个光刻过程。如果配合浸入式光刻技术,可能将推至22nm的水平
挑战:两次曝光之间的套刻精度;掩膜板的制作;产能降低。
总之,未来光刻技术的发展将会更快,技术上将会更加集中,一些没有市场前景和应用的技术将会淘汰。
参考文献
1.《微电子学概论》
2.《光刻技术的发展状况》 3.《光刻工艺》 4.《光刻工艺过程》 5.《光刻流程图》 6.《集成电路-光刻工艺》 7.百度*文库《压印光刻》 8.百度*文库《主流光刻技术》 9.百度*文库——《光刻技术新进展》 10.百度*文库《传统光刻技术》
11.百度*百科——《光刻胶》、《光刻机》 12.百度*知道——《掩膜板》
第二篇:武汉圣天激光刻章机使用说明[推荐]
武汉圣天激光刻章机使用说明.txt不相信永远,不拥有期待,不需要诺言当你不能再拥有的时候,唯一可以做的,就是令自己不要忘记。王子之所以能口奂酉星目垂美人是因为王子用心了 我能口奂酉星什么
1、激光刻章机应水平放置在桌面上,不得倾斜
2、激光印章机应防止强烈振动,移动时应先固定好大车和小车,以防振动导致光路偏移或激光器裂缝。
3、排风管应接通至室外无影响处,并保持通风良好,经常擦拭风扇和机器烟管内的灰
4、电脑刻章机内部有高电压,非专业技术人员不得打开机壳进行维修,以防触电。
5、印章激光雕刻机如果是第一次使用或移动位置后,注意检查高压线是否脱落,以防触电。
6、刻章机排风扇、冷却水泵是AC220V/50HZ电源
7、雕刻机地线一定要良好接地(如图)
8、激光雕刻机工作时一定要严防工作人员或其它人员伸手或用眼睛观看,以防激光伤人或伤到眼睛,最好是将盖扣死。
9、请避免设备内部进水或工作环境过于潮湿。应将机器置于干燥通风处。
10、严禁带电拆卸各种接插件。
11、雕刻机内镜片应使用无水乙醇或丙酮及时清洁,并且要轻擦轻放,擦完后要调整好光路。光路调整见下部分说明
12、使用时保证冷却水循环良好,且水质清洁,如有发黄水质脏时,应及时换水,以免造成激光管冷却不好而导致炸裂。
13、注意防止因冷却水结冰,北方天气寒冷应特别注意冬天最好是换成汽车用防冻液,温度过高,水垢或脏物堵塞机械撞击等原因造成激光器破损。
14、注意防止机箱内部零件因烟尘潮气过多等原因引起的腐蚀和损坏。所以在每次工件后要清理机器卫生,保持机器整洁,要做到勤擦拭。
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第三篇:邀请函工艺
1、首先在excel里做出以”购书人姓名、书号、书名、单价、编号”为行标题的工作表,下面输入具体内容(假定5行),保存,关闭。
2、在排版好的word文档里,工具-信函与邮件-选‘邮件合并’和‘显示邮件合并工具栏’-信函-下一步-使用当前模板-下一步选取收件人-浏览-选择刚保存的excel文件-打开-确定-全选-确定。
3、光标插入在“购书人姓名:”右边,点邮件合并工具栏上的‘插入合并域“按钮-插入合并域对话框中的域里选’购书人姓名‘-点插入-关闭,即在此位置插入《购书人姓名》;
4、依3步骤在相应位置依次插入《书号》、《书名》、《单价》、《编号》,点合并工具栏上的查看合并域数据,可查看插入的内容;
邀 请 函
尊敬的 先生/女士:
重庆,历来都未曾脱离世界的关注,在新的战略发展中正凸显出无以伦比的优势,政策层面、产业层面、经济层面、城市发展层面,赋予了重庆腾飞的发展翅膀,正臵身于世界经济演变的潮流浪尖,爆发出巨大的影响力、凝聚力和辐射力,2010年作为国家西部大开发的第十个年头,重庆于此更加富有象征意义,作为内陆城市的发展高地,中西部唯一的直辖市、西部新兴增长极,从寸滩保税港区通过国务院验收,到“两江新区”成立,成为继上海浦东、天津滨海之后的全国第三个、内陆惟一的国家级新区。重庆,正面临一场史无前例的发展机遇,一场有关重庆崛起的梦想于此发轫,这里正在成为未来中国发展的热土,并以此影响世界!根据2010年重庆市经济报告上指出全市生产总值7800亿,其中社会消费零售总额达2850亿,同比09年增长18.5%。
展会期间,将有国家有关部委领导、各省区市领导、国内外文化艺术名家、名流以及收藏界、工艺美术名家莅临重庆;中央、地方及境外的平面媒体、网络媒体、光电媒体将形成无缝传播立体通道,介绍展会盛况。此次综合性的文化艺术盛会,魅力诱人,必将受到社会各界的充分关注。
我们诚邀您共享商机,共谋发展!
【组织机构】
主办单位: 重庆市经济和信息化委员会
支持单位: 中国工艺美术协会
承办单位: 重庆工艺美术行业协会
重庆国际会议展览中心经营管理有限公司展览策划分公司
【展会日程】
布展时间:2011年4月26日——4月27日
开 幕 式:2011年4月28日上午10:00 展览时间:2011年4月28日——5月2日
撤展时间:2011年5月2日17:00——24:00 【展会地点】
地点:重庆国际会展中心一号馆
【展会规模】
本届展会共计规划展览展示面积:1.5万平方米,其中展览面积1.2万平方米,规划标准展位500个;活动面积3000平方米。展会观众预计达8万人次,其中专业观众及媒体预计达1万人次。
【展会主题】
1、展示工艺精品,推动经贸发展
2、弘扬传统技艺,促进文化腾飞 【展会定位】
1、以重庆为主力,全面动员重庆工艺美术企业及大师参与,进行一次全面的成果汇报展。
2、以中国西部为重点,广泛邀请中国西部工艺美术企业及大师参展,推动西部工艺美术事业的产业化发展。
3、面向全国,吸引全国及国外工艺美术产品入渝展示、交流,互相学习,促进共同发展。
【展会优势】
◇ 重庆是中国西部的经济中心,直接联系与辐射西部各省市,是西部的经营集散地; ◇ 重庆水陆空交通便利,四通八达,为货物运输和各种经济活动提供了有利条件; ◇ 重庆是改革开放实验区,政策灵活,政府对工艺美术行业非常重视,具有良好的行业发展环境;
◇重庆已连续举办了三届工艺美术展销会,一届比一届规模大,一届比一届效果好,第三届重庆工艺美术展已有展位200多个,除重庆本地企业外,还有四川、云南、贵州、新疆、广东、上海、天津、安徽、山西、江西、海南等省市及越南、巴基斯坦等国家参展,观展人数多,展会收效好,本届展会效果会更好;
◇ 本届展会启动了广泛的宣传措施,补充了工艺美术生产设备、产品配件等企业参展,邀请了大量买家参会,将会办成一次服务产业、繁荣市场的盛会。
【展示范围】
1、工艺品:艺术陶瓷、艺术玻璃、漆器、抽纱刺绣、木雕、石雕、玉雕、牙雕、根艺、民间工艺品、艺术画类、天然植物编织、人造花卉等;
2、观赏石、宝玉石及小件工艺品类;
3、工艺礼品类:金属工艺品、时尚饰品、珠宝首饰、树脂工艺品、锡制礼品、促销礼品、文具礼品、水晶制品、政务礼品、商务礼品等;
4、旅游品:旅游纪念品、旅游休闲用品、地方特色商品、工艺服装、玩具等;
5、工艺品生产加工设备、工具、配件及材料:包括木艺仿型加工机械、车木加工机械、人造花卉加工设备、激光雕刻设备、电脑喷绘设备、装裱机械、金属装饰配件、木玉石雕工具、画框相架配件、工艺品底座配套件、工艺品包装设计加工等。
6、红木家居、家饰灯饰等。
7、字画、文房四宝、古玩类。
【展览及活动】
☆ 四大主题展览
1、工艺美术品展示交流区
2、石雕玉雕展示交易区
3、工艺大师精品展示区
4、港澳台地区及国外展区
☆ 四大分项活动 2、2011首届中国(重庆)工艺美术发展高峰论坛 3、2011中国(重庆)工艺大师技术交流会
4、幸运大轮盘—工艺美术精品免费拿
【展位价格】
1、展位价格及标准
标准展位配臵:
三面围板、中文统一刻绘楣板、两盏射灯、一个电源插座(限250w用电量)、一张洽谈桌、两把椅子(空地和特装展位不含以上配臵)、会场保安及清洁。
2、现场广告(形式及价格另行公布)
【展会组织与宣传】
1、由组委会和行业协会邀请各省、市、自治区工艺美术行业协会或相关机构组团,积极动员各省市工艺美术企业参展,并于4月20日前将参展商、展品、展位数和代表团团长、联系人等报组委会办公室。
2、组委会将通过各地工艺美术行业协会相关资源渠道,向工艺美术聚集地重点邀请商家参与本届展销会。
4、组委会还将制作大量会刊、光盘、请柬等资料,及时、准确、实时地向展会专业观众传达展会信息,介绍参展商家及其收藏品和产品,并特邀政府官员、行业组织、国内外知名专家和新闻工作者到会指导工作。
5、充分发挥行业展会优势,集中联系展会形成独有的采购商、参观商;直接采用
6、积极为展商提供最新的市场资料和政策方面的指导与咨询,将展览会的贸易活动进一步延伸,引导参展商制定适宜的营销策略;并将利用自身的社会资源和卓越的组织能力,协助参展商组织举办产品推广会,使参展商最大限度地扩大参展的效益。
7、通过在行业网站,专业杂志等专业媒体上刊登展会的新闻和广告,让用户能及时了解展商及展品情况,吸引更多的专业用户到会参观洽谈、采购订货。
【参展细则】
1、各地展商可先电话咨询参展事宜,填写《参展回执表》预定展位。
3、组委会审查表格后,根据参展项目品质、参展商负责人参与度、申请表提交顺序安排展位。
4、申请合同签署的当日,参展商应支付合同总额的30%作为展位定金,在签署合同后的七日内,参展商须支付全额款项,否则不予保留预定展位(参展商开展前须缴齐全部展位费,方可办理入场手续),参展费用请汇至:
收款单位:重庆国际会议展览中心经营管理有限公司展览策划分公司
开户银行:建行上清寺分理处
银行帐号:5000 1013 6000 5020 4008
5、展位按“先申请、先付款、先安排”原则办理,组委会保留根据整体需求对展位进行调整的权力。如遇特殊情况影响开展,甲方除将已收取的展位定金和参展费全额退还外,不承担任何责任。
6、展位确认后,禁止转让、出租等违规行为,否则组委会有权清理出场,展位费不予退还;如需特装、延时布展等要求,请提前通知组委会。
7、展览期间,请参展商妥善保管自身财产及展品安全,如因展商自身原因造成的财产及展品损失或损坏需自行负责。
8、参展单位必须保证所展内容与展览主题相符,如有不符,展会指定管理机构有权对篇三:2012.6烟台工艺品展邀请函 2012中国(烟台)第四届国际礼品、工艺品及家居用品展览会
暨古典家俱、收藏品展览会
主办单位:山东省黄金协会
烟台市人民政府
承办单位:青岛雅雄会展有限公司 国内协办:烟台市黄金管理局
烟台市金银珠宝协会
海外协办:香港显晨国际会展有限公司 市场前景 ◆ 山东----重要的礼品、工艺品集散地:山东省是中国沿海经济大省,经济总量全国排名第二位,是中国制造业第一大省,已成为世界级加工制造业中心;山东半岛则是环渤海湾地区与日本、韩国等发达国家经济交流的桥头堡,也是中国最重要的礼品、工艺品、家居用品的生产基地、消费市场、集散地。◆ 烟台----山东省经济最繁荣活跃的城市之一:烟台市地处黄海之滨,效益稳步提高,市场繁荣活跃,是全国综合实力50强城市,也是环渤海地区6个经济总量超过2000亿元人民币的中心城市之一。其经济增长速度及实力在山东省内发挥着不可低估的作用。人均消费更是在省内占有遥遥领先的地位!赏石正成为政府部门及地产开发商、收藏家、爱好者的求购热点。展示内容 ? 礼品赠品:高档商务礼品、金属类工艺品、赠品、促销品、广告促销品、福利、节庆促销品、品牌电子
产品、纪念收藏品及钱币、邮票、工艺礼品、各类奖品、奖杯、台历挂历、相簿、文具、陶艺、蜡艺、漆器、玻璃品、水晶类、琉璃类礼品、皮具、箱包、钟表、运动用品等。? 工艺品:金属工艺、陶瓷工艺、首饰工艺、雕刻雕塑工艺、丝绸工艺、树脂工艺、民间工艺品、手工艺
品、珠绣工艺、木制工艺品、藤铁制品、人造花卉、精美灯饰、伞扇竹璜等。? 家居用品:
◆装饰用品:家用纺织品、艺术画、古漆器、挂毯、灯饰、雕刻品、绣品、木制装饰品、陶瓷装饰品、玻璃装饰品、水果篮、相框相架、镜框镜架、屏风、桌、椅、野餐用具、园艺用品、香熏系列; ◆清洁用品:浴室清洁用具、厨卫用品,家用清洁用具等; ◆厨房用品:厨房电器、烤盘、茶具、酒具、套装餐具、玻璃器具; ? 古典家具专区:红木古典家具、古董家具、古旧家具、明清式仿古家具、亚洲及欧洲式仿古家具、亚欧
各款古董家具、各款西洋老家具、各种新古典式家具、黄花梨、紫檀、酸枝等名贵硬木家具、古典家具配件、名贵木材;各种古典家具雕刻、加工机械、用具、油漆、打蜡制品;? 收藏品专区:
◆古收藏品展区:古玩、传统书画、油画、艺术品、文房四宝、印章、紫砂收藏、陶瓷、元青花瓷、玉器、奇石、仿古文物、青铜器、竹木牙雕、古董漆器、传统工艺品、拍卖品等。
◆国内外名家书画艺术展区:传统书画、木版年画、农民画、漆画、内画、烙画、卵石画、布糊画、麦
支持单位:烟台电视台 烟台日报集团
烟台晚报 今晨六点
齐鲁晚报
秆画、油画、剪纸等。◆民间陶瓷艺术展区:钧瓷、汝瓷、定瓷、官瓷、各种艺术陶瓷、黑瓷、陶瓷等; ◆文房四宝展区:各类笔墨纸砚。如:端砚、洮砚、歙砚、湖笔、宣纸等。? 宣传推广
1、主办单位函邀山东省十七地市政府收藏爱好者参观、交流、鉴赏、交易。
2、诚邀各地专业市场批发商,工艺礼品城、礼品店主管人士、长期消费群,收藏爱好者和高端消费者。
3、政府出面全面邀请日韩、欧美专业贸易机构、外贸/进出口公司等。
4、将通过数千家专业杂志、报纸、互联网、电视、广告直邮、电子邮件、广告插页、展会专报和电话沟通
等途径,对展会进行全方位宣传推广。
5、将5万份请柬放置高档酒店对入住客人进行派发。
6、通过主办单位和中国驻各国大使馆商务机构邀请境外专业观众特别是日韩收藏品爱好者。
7、组委会将到全国各地168家古玩城、收藏品市场、艺术品市场、奇石市场、礼品城发放10万张入场券
资料。
8、组委会在广泛邀请华东、华中及环渤海经济圈各专业买家的同时,利用独有的地理优势重点邀请日本、韩国、德国等国际采购、参观团。
9、对于有知名度的同类展会,将派专人前往派发“展前快讯”与“展报”、门票等; 会刊其它广告 大会组委会联系方式 :
地址:山东省青岛市四方区台柳路133号 邮编:266000 电话: 0086-532-85616911 0086-532-85615379 传真:0532-85616911 联系人:桑懿 联系电话:***篇四:邀请函样本
邀请函
欢迎参加 flowexpo!flowexpo 是流体(液体及气体)领域的专业盛会,始创于1997年,举办周期为每年一届,每年固定在广州召开。flowexpo邀请的观众及展商来自四十多个国家和地区,观众来自中国、美国、德国、法国、英国、意大利、澳大利亚、加拿大、日本、丹麦、西班牙、挪威、韩国、新加坡、印度、巴基斯坦、伊朗、科威特、伊拉克、越南等国家和地区,包括各大工程项目、工业用户、经销商、代理商、贸易商、生产商、进出口公司、国际贸易公司等买家。flowexpo 以“展会专业、观众对口、效果显著”而著称,得到业内人士的一致推崇。展会同期,主办单位与有关部门及行业协会合作,邀请设计院、工程公司、安装公司、进出口公司、商务机构、协会、学会组团参观、采购、学习、交流。flowexpo将成为您开拓市场及寻找商机的最佳平台!参加flowexpo您将获取如下预期利益:
1、约见老客户,开拓新客户
2、寻找经销商和代理商,建立销售渠道,扩大销售网络
3、开展国际贸易,扩大进出口业务量
4、与用户见面,进行交流
5、与同行见面,开展贴牌代工业务
6、宣传推广品牌,扩大知名度和美誉度
7、获取工程项目的采购信息和投标机会
8、招聘销售、技术、管理专业人才
9、认识新的供应商和合作伙伴
我们相信本届展会的参展商及观众数量将再创新高,参观展会免费,预定展位须提前申请,请尽快与我们联络。
参展费用
室内光地:¥ 900元 /平方米
室内光地36平方米起租,不包括任何设施,由展商自行搭建展位、铺设地毯、租赁电源,并向展馆支付有关费用:
1、展馆向特装企业收取特装展位施工管理费 2 0 元 /平方米 / 展期,按展位净面积计费
2、所有特装企业应在布展前30天向场馆方递交展位图纸供审核
3、展商及施工单位申请 延时加班,须向展馆支付加班费,收费标准见参展商手册
4、展馆收取特装展位电箱费用,收费标准见参展商手册 3米 x 3米 标准展位:¥9500元 3米 x 6米 标准展位:¥19000元
每个9平方米标准展位包括:
1、展出场地(规格3米x3米)2、2.5米高围板(非拐角展位1面开口,拐角展位2面开口)
3、公司名称招牌(22 x 300厘米)4、1张桌子、2张折椅、2支照明光管、1个纸屑篓
5、展位内满铺地毯 6、220v电源插座一个
邀请展出范围
邀请展出范围并不代表实际展出展品,展品以展商实际展出为准
目标观众
1、国内外专业采购商/买家 40多个国家和地区的专业采购商,包括: 1.01 供应商 1.02 贸易商 1.03 经销商 1.04 代理商 1.05 批发商 1.06 分销商 1.07 进口商 1.08 出口商 1.09 贸易组织 1.10 销售代表 1.11 制造商,制造工厂原始品牌制造商(obm)-原始设计制造商(odm)
2、流程工业企业
原材料和产品通常是液体、气体、粉状,以批量或连续方式生产加工的行业 2.01 化学工业:石化、农药、化肥、日用化学品、化妆品、涂料、化工原料、染料、添加剂、合成药品、化工原料、高分子聚合物、涂料、颜料、染料、化学试剂、胶拈剂、添加剂、橡胶、化纤 2.02食品、饮料工业:啤酒、牛奶、奶品、乳制品、咖啡、矿泉水、纯净水、软饮料、碳酸饮料、果菜汁、罐头、发酵制品、氨基酸、味精、柠檬酸、酵母、酶制剂、调味品、酱油、食醋、酒类、酒精、白酒、可乐、汽水、糖、油脂 2.03生物、制药工业:化学药品、合成药品、生物制药、原料药、中间体、中药、基因制药、兽药、保健品 2.04 环境保护工业:污水处理、空气净化、烟尘气处理,电厂脱硫、脱销、除尘 2.05 石油、天然气、能源工业:石油、天然气开采、加工、输送;火力发电;核电
3、流体工程及项目
存在流体(液体与气体)的建设工程与项目的采购部门、设计单位、施工单位、安装单位、招标单位、建设单位,主要包括: 3.1 油气开采 / 炼化 / 输送工程 3.2 建筑工程(给排水、消防、空调、自来水、供热、供气)3.3 城建工程、市政工程、公用工程 3.4 长输管线工程、能源及电力工程 3.5 环保工程(排污、污水处理、脱硫、除尘)3.6 其他工程项目的
4、流体(液体、气体、浆粉)有关的一切行业 4.1 水(污水、工业用水、生活用水等)4.2 蒸汽与热水 4.3 空气、压缩空气、烟尘气 4.4 气体与有毒、易燃、易爆气体 4.5 油品、成品油、原油 4.6 化学品及化学危险品
4.7 食品及饮料、药品与生物制品 4.8 粉体、颗粒、烟尘、矿渣、煤灰,工业粉状原料、半成品、成品 4.9 浆体、浆液、纸浆、矿浆、粘稠状物质、粒状物料、水固混合物、气固混合物
5、其他有关单位 5.1 冶金、采矿、制浆、造纸、轻工、印染、制革、建材、造船、电镀、电子、机械制造、国防工业、汽车制造、飞机制造等行业 5.2 供应商、合作单位、传播媒体、商务部门、服务提供商 5.3 零部件、原材料、生产设备的供应商 5.4 生产协作、产品配套等合作单位 5.5 报刊、杂志、电视、网站等传播媒体
5.6 政府有关部门、行业协会及学会、商会及贸易促进机构、外国驻华使馆 5.7 有关服务提供商
6、参展商邀请的观众,参展商委托主办单位邀请的观众;参观团体邀请在 flowexpo 见面的供应商和客户
参展申请前必读
根据《 展会知识产权保护办法》,参展方不得侵犯他人知识产权;公司名称必须与营业执照相同,用于制作展位的招牌,不可以更改,展位不能转让,非经书面许可严禁派发企业名录,否则一律取消参展资格并列入黑名单。
展位顺序分配原则: “ 先申请,先付款,先安排,大展位优先,老客户优先 ”,参展单位 在申请得到确认后,根据签定的协议按时将参展费用全款(或 50% 预付款)转帐至广州流体展览有限公司,余款在展览会 2011 年 3 月 18 日前 交清 ;参展商在汇出各项费用后,将银行汇款单传真至 020-62614523 财务部,主办单位在收到参展费后开具发票。参展单位没有按时支付参展费用或拒绝支付余款,主办单位有权更改展位或取消参展资格,所交定金不退。参展单位提出参展申请,即表明接受大会官方网站公布的《参展规则》,《参展手册》包括了有关参展事项的部分重要内容,是组委会指导展商参加本展会的说明性文件,以上资料于展会开幕前 2 个月在大会官方网站公布,不另行通知。
主办单位的建议
参展前通过信函和电话、传真、电子邮件同以前的采购商、供应商、客户或目标客户取得联系,专门邀请他们参加flowexpo,与客户约定好在展览会期间进行业务洽谈,并安排一些旅游、接待活动,并为他们准备完备的资料和讲解,或者提供人性化的赠品以及互动活动,为展出锦上添花。flowexpo协助参展商通知客户参观展览会,如有需要,请与我们联络。篇五:2013年 第四届武汉12月份工艺品邀请函 2013中国(武汉)工艺品、收藏品及古典家具展览会 时间:2013年12月30日—2014年1月2日(星期一~星期四)地点:武汉国际会展中心(解放大道696号)
主办单位: 济南海名纵横会展有限公司 中国国际贸易促进联合会 协办单位:
亚洲经贸发展促进中心 山东省红木家具专业委员会 承办单位: 济南市民俗旅游文化产业协会 青岛海瀚会展有限公司 济南市民俗艺术馆 2013年工艺品紫砂收藏品巡展武汉展将是厂商构建通达中国内地市场的重要渠道,毫无疑问也将为中国的奢侈品文化写下闪亮的一笔。而对于已经逐步感受到经济和天气双重回暖的中国消费者来说,不出国门就能品鉴到来自世界各地的奢侈品及红木家具,显然也是不可错过的一场盛会。国际化程度的提高必将促进中国企业与国际相关企业的学习与交流,促进我国奢侈品及红木文化的发展。总之,本届展会展品精品荟萃、琳琅满目,许多创新展品将令你难以忘怀,是一场名副其实的奢侈品及红木盛宴。集聚一体高端展会,奢华展品首选场地
武汉国际会展中心位于武汉市汉口解放大道696号,与中山公署绿化广场融为一体,形成武汉最大的城市中心市场。武汉国际会展中心广场,场地开阔,环境优美,3.8万平方米的广场营业面积,是举办各类广场音乐会、演唱会、时装表演会、新产品推介会等各类活动的最佳场所。
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展品范围
工艺品:传统书画、版画、艺术品、家饰品、瓷器、紫砂、端砚、首饰、钟表、玉器、古漆器、挂毯、油画、灯饰、雕刻品、绣品等
木雕、根雕、铜雕:木雕艺术品、木雕装饰品、木雕家具、木雕宗教用品如佛像、根艺、根雕、竹雕、工艺品、木餐具等.古典家具:古典家具、红木家具、各时期古董家具、明清式仿古家具、亚洲及欧洲式仿古家具、西洋老家具、新古典家具,黄花梨、紫檀、酸枝等名贵硬木家具、名贵木材。收藏精品:名家紫砂壶、紫砂工艺品;美术作品:国画、油画、书法、文房四宝;历代名家字画、古钱币、碑帖、仿古文物、古玩、古玉、玉器等。
第四篇:污水处理工艺
河南清波水处理
常用污水处理厂工艺流程,污水处理厂工艺流程,污水处理厂工艺,污水处理厂流程
污水处理厂工艺流程 污水加药中和调节PH值进入调节池,污水处理厂工艺流程加助浊剂,污水处理厂工艺流程进入沉淀池加助凝剂,再入沉淀池进入砂过滤,污水处理厂工艺流程最后进EO膜过滤排放或回收再用。
污水处理厂工艺流程常用污水处理厂工艺流程
污水处理厂定义:从污染源排出的污(废)水,因含污染物总量或浓度较高,达不到排放标准要求或不适应环境容量要求,从而降低水环境质量和功能目标时,必需经过人工强化处理的场所,这个场所就是污水处理厂,又称污水处理站
常用污水处理厂工艺流程,污水处理厂工艺流程,污水处理厂工艺,污水处理厂流程 几种常见污水处理厂工艺流程
一.日化,一般日化化工厂COD含量较高污水
二.城市污水.高浓度有机废水生物转盘法处理工艺 工艺1
工艺2
三.重金属含量较高污水处理工艺
电镀废水处理工艺
电镀废水处理设备由调节池、加药箱、还原池、中和反应池、pH调节池、絮凝池、斜管沉淀池、厢式压滤机、清水池、气浮反应,活性炭过滤器等组成
电镀和金属加工业废水中锌的主要来源是电镀或酸洗的拖带液。污染物经金属漂洗过程又转移到漂洗水中。酸洗工序包括将金属(锌或铜)先浸在强酸中以去除表面的氧化物,随后再浸入含强铬酸的光亮剂中进行增光处理。该废水中含有大量的盐酸和锌、铜等重金属离子及有机光亮剂等,毒性较大,有些还含致癌、致畸、致突变的剧毒物质,对人类危害极大。因此,对电镀废水必须认真进行回收处理,做到消除或减少其对环境的污染
典型电镀废水处理工艺流程图
电镀废水处理工艺流程说明:钝化浓缩液用提升泵将浓缩液输入到还原池内,通过计量泵将硫酸液加入还原池内,使还原池pH值达到2-3,然后通过计量泵将还原剂亚硫酸加入还原池内,将六价铬还原为三价铬。经过还原处理的钝化液和前处理,镀锌、镀镍水洗水进入大调节池中,各种废水在调节池中经过充分的均化后经提升泵提升至反应池1中,通过计量泵进入CaCl2,以破坏Zn2+的络合物,在反应池2中通过计量泵进入NaOH,调节pH值在9-11范围内,然后废水流入反应池3中,通过计量泵进入助凝剂PAM后进入斜板沉淀池中,金属氢氧化物形成污泥沉入污泥斗中,上清液自流进入中和池进行酸碱调节,调回pH值在6-9范围内,然后排放。斜板沉淀池中污泥定期排放至污泥池,用厢式压滤机处理成泥饼后外运深埋,污泥水返回调节池。
印染废水处理工艺
纺织印染行业是工业废水排放大户。废水含有多种染料、浆料、表面活性剂等助剂。废水特点是有机物浓度高、成分复杂、可生化性较差、色度高且多变、水质水量变化大,属于较难处理的工业废水。
印染废水处理常用的工艺主要分为两大类:(1)物化法:利用加入絮凝剂、助凝剂在特定的构筑物内进行沉淀或气浮,去除污水中的污染物的一种化学物理处理方法。但该类方法由于加药费用高、去除污染物不彻底、污泥量大并且难以进一步处理,会产生一定的“二次污染”,一般不单独使用,仅作为生化处理的辅助工艺;(2)生化法:利用微生物的作用,使污水中有机物降解、被吸附而去除的一种处理方法。由于其降解污染物彻底,运行费用相对低,基本不产生“二次污染”等特点,被广泛应用于印染污水处理中。
1.物化工艺简介常用的主要有:絮凝沉淀、气浮、吸附、过滤。
1.1絮凝沉淀通过加入絮凝剂、助凝剂,使胶体在一定的外力扰动下相互碰撞、聚集、形成较大絮状颗粒,从而使污染物被吸附去除。常用的处理设施有:竖流沉淀池、斜管沉淀池、辐流沉淀池、平流沉淀池等。絮凝沉淀在印染废水处理中常用,一般可去除40~50%的CODcr、60~80%的色度。
1.2气浮气浮是以微小气泡作为载体,粘附水中的杂质颗粒,使其密度小于水,然后颗粒被气泡携带浮升至水面与水分离去除的方法。主要设施有:传统溶气气浮、CAF涡凹气浮、超浅层气浮等。气浮在印染废水处理中常用,一般可去除40~50%的CODcr、60~80%的色度。
1.3吸附利用固体表面的分子或原子因受力不均匀而具有多余的能量,当污染物碰撞到固体表面时,受到吸引而停留在固体表面的过程。常用的有:活性炭、硅藻土、树脂吸附剂等。吸附在印染废水处理中不常用。
1.4过滤去除化学沉淀和生物过程未能去除的微细颗粒和胶体物质。主要有:各类滤池、各种膜材过滤器等。过滤在印染废水处理中不常用,除非回用水的深度处理或针对某些难降解化合物的处理。
2.生化处理技术介绍主要分为厌氧和好氧。厌氧包括:水解酸化、UASB等;好氧主要包括:生物膜法、活性污泥法等。
2.1厌氧技术在无氧的条件下,由兼性菌及专性厌氧菌降解有机污染物,最终产物是二氧化碳和甲烷。厌氧生物反应通常被划分成两个阶段过程:第一阶段是水解酸化阶段,第二阶段是甲烷发酵阶段。在印染废水处理中常将厌氧控制在水解酸化阶段,来降解废水中部分污染物,同时提高废水的可生化性。即印染废水中常用的水解酸化工艺,一般CODcr去除率为20~40%,色度去除率可达40~70%。
2.2好氧技术由好氧微生物降解污水中有机污染物,最终产物为水和二氧化碳。在印染废水中常用的主要有:活性污泥法、接触氧化法,一般CODcr去除率为55~88%。
3.印染废水常用的生化处理工艺组合根据我公司多年处理印染废水经验,总结出:“水解酸化+接触氧化”或“水解酸化+活性污泥”是比较经济适用的印染废水处理技术,单独使用厌氧或纯粹只用好氧都不是很好的处理方法。尤其对高难度、中难度处理印染废水,如没有水解酸化段将很难处理达标。即使较易处理的牛仔洗漂废水,采用厌氧不仅降低处理成本,同时也减少投资,方便运行。4.随着人们对环境质量要求越来越高,印染废水排放标准也越来越严,对于高、中难度处理印染废水,单独的生化或物化处理都难以达到排放要求根据国家印染行业废水污染防治技术政策,印染废水治理宜采用生物处理技术和物理化学处理技术相结合的综合治理路线,不宜采用单一的物理化学处理单元作为稳定达标排放治理流程。这样既保留了物化除色、前处理去除部分污染物降低生化负荷、去除生化剩余污染物的特点,又充分发挥生化处理技术可降解大量有机污染物和一定除色功效的特点。我公司结合多年治理印染废水的工程经验,提出并总结了一些有针对性的印染废水处理工艺组合。4.1具体的各种废水对应处理工艺
4.1.1梭织布的退煮漂废水、牛仔浆纱废水一般采用:“物化沉淀+厌氧+好氧+物化沉淀”的组合工艺。
4.1.2丝绸印染、印花废水一般采用:“物化沉淀+厌氧+好氧+物化沉淀”的工艺组合。4.1.3缝纫线、拉链布废水一般采用:“物化沉淀+厌氧+好氧+物化沉淀”的工艺组合。4.1.4毛线、毛绒废水,一般采用:“厌氧+好氧+物理沉淀”的工艺组合。
4.1.5牛仔洗漂废水,一般采用“厌氧+好氧+物理沉淀”的组合处理工艺。
4.1.6印花废水是一种很难处理的印染废水,特别是糊料印花工艺,因废水中含有大量的PVA,常规的工艺组合处理很难达标
工业废水处理工艺
工业废水处理工艺
一般工艺是整体工艺不是哪方面的.你说的是其中生物处理的一部分.还有物理处理,物化处理,以及化学处理
甚至还有中水工程生物的大多数是A/O工艺以及分化出来的相关工艺,SBR工艺,CASS工艺,氧化沟工艺,生物塘工艺,生物炭塔,生物滤塔等等
1.针对含无毒物质的有机和无机废水污染领域。
有些污染物质本身虽无毒性,但由于量大或浓度高而对水体有害。当无毒的有机物超过允许量时,水体会出现厌氧腐败现象;当无毒的无机物如无机盐流入时,会使水体内盐类浓度增高,造成渗透压改变,对水生生物造成不良影响。例如,针对乳品废水,乳品本身无毒性,但由于其表现出很高的COD和BOD值而成为重点处理对象之一,以保证其排水不影响水体。
2、针对含有毒物质的有机和无机废水污染领域。
含酚、氰等急性有毒物质、重金属等慢性有毒物质及致癌物质的废水,如制药废水,其普遍具有浓度高、色度深、可生化性较差等特点。又如农药废水,其污染物浓度高、毒性大、有恶臭,且水量不稳定。我公司针对此类废水一般通过调节、絮凝沉淀、水解酸化或气浮等处理步骤之后,后续适当的好氧处理使其达标排放。
3、针对含油废水污染领域。
油漂浮在水面会散发出令人厌恶的气味,燃点低的油还会引起火灾。动植物油脂具有腐败性,消耗水体中的溶解氧。如近几年为提高石油产量而不惜在回注水中投加采油药剂而产生的石油采出水,因其中含有石油类物质和高分子药剂,成分复杂,采用普通的生化法很难达标,同时一些地区的此类废水还含有很高的矿化度。我公司通过反复研究、摸索开发出一套处理该废水的有效工艺流程和专用微生物,可使出水达标排放。
4、针对高浊度和高色度废水污染领域。
水体含有大量带颜色物质,或含有大量的遮光的颗粒性物质,使得透光量不足,会影响生物的生长繁殖。此类废水除了在源头上减小排放量的同时,也要求探寻有效的处理工艺。如印染废水具有水量大、有机污染物浓度高、色度深、碱性大、水质变化大、成分复杂等特点,我公司根据企业产品特点进行细化工作,通过煤、炉渣吸附,混凝沉淀等物理、化学作用进行预处理,随后进行好氧处理,活性炭吸附等深度处理来使出水达标排放。
5、针对含致病菌多的废水污染领域。屠宰废水含有大量的血污、油脂、毛、内脏杂物、未消化的食物及粪便等污染物,并带有令人不适的血红色及血腥味,而且还含有大肠菌、粪便链球菌等危害人体健康的致病菌。另外,医院废水来源及成分复杂,含有病原性微生物、有毒、有害的物理化学污染物和放射性污染等,具有空间污染、急性传染和潜伏性传染等特征。这些废水污染物浓度变化大,有机物含量高,我公司通过在预处理阶段去除较大颗粒物之后,采用厌氧处理提高可生化性后,进行好氧处理此种废水,使其达标排放。
6、针对含有氮、磷等废水污染领域。对于特殊的工业以及小型的企业废水,如化肥工厂排水等,其因含有较丰富的氮、磷成分,很容易对湖泊等封闭性水域的水体产生富营养化现象。因此简单、经济而有效的去除氮磷是十分必要的。通过必要的预处理之后,采用我公司的专利CSBR工艺可以有效地降低氮、磷的含量。
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造纸厂污水处理工艺
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造纸厂污水成分: 成分多了
造纸厂污水成分主要有:废水主要成分有:纤维、纤维素分解生成的糖类、醇类、有机酸、木质素及其衍生物,少量的树脂酸、脂肪酸素纤维活性剂漂白剂 等!等。造纸污水工艺流程产水环节有
煮浆水(分机械制浆、化学制浆、机械化学制浆,机械制浆不产生废水,化学制浆产生的废水分红液、黑液,国内一般都是碱煮黑液COD高达十几、几十万)
洗浆、选浆的中段水,COD大约几千左右,生化性不高
造纸厂污水处理工艺设计
1、格栅井 布置机械格栅一台,型号:LXG-800-2500 电机功率:1.5kw 格栅间隙:5mm 整体不锈钢材料制造。
2、集水池
有效容积300立方米。钢筋混凝土地下水池,有顶盖。造纸厂污水处理工艺设计
3、集水池废水提升泵
选用*台废水提升泵,型号:ISG200-200(I)流量:400m3/h 扬程:12.5m 电机功率:22kw 一用一备 造纸厂污水处理工艺
配套引水桶*只
4、微孔水力格栅
选用微孔水力格栅,格栅间隙根据回收纤维要求,选用间隙为2mm。
型号:LS-7 单台过滤水量:50~100m3/h 数量:共*台 制造材料:整体不锈钢
5、废水调节池
有效容积1352立方米。钢筋混凝土地下水池,有顶盖。池上安装机械设备
6、废水调节池提升泵
选用*台废水提升泵,型号:ISG200-200(I)流量:400m3/h 扬程:12.5m 电机功率:22kw 一用一备
配套引水桶*只
造纸厂污水处理工艺
7、一级混凝气浮装置
选用占地面积小,处理效率高的LQF系列浅层气浮装置。
型号:LQF-400 钢结构
废水处理量:350~400m3/h 电机总功率:51.2kw 数量:*台
造纸厂污水处理工艺
8、中间废水回用水池
有效容积1352立方米。钢筋混凝土地下水池,有顶盖。池上安装机械设备
9、污水处理设备废水回用水泵
选用二台提升泵,型号:ISG150-160 流量:160m3/h 扬程:32m 电机功率:22kw 一用一备
配套引水桶*只
10、生化处理池
共有四只645 m3水池组成,废水总停留时间为12.4h,内部安装组合填料约1720 m3,安装美国进口EDI曝气管400套气水比约为1:22
11、二级混凝气浮装置
选用占地面积小,处理效率高的LQF系列浅层气浮装置。
型号:LQF-250 钢结构
废水处理量:200~250m3/h 电机总功率:26.8kw 数量:一台 造纸厂污水处理工艺
12、曝气鼓风机
选用低噪声三叶罗茨鼓风机,台湾生产。
型号:MIT200 风量:38.31m3/min,风压6000mmH2O,功率:55kw 数量:三台(2用1备)
13、清水回用水池
有效容积1352立方米。钢筋混凝土地下水池,有顶盖。池上安装机械设备
14、清水回用水泵
选用二台提升泵,型号:ISG150-160 流量:160m3/h 扬程:32m 电机功率:22kw 一用一备
配套引水桶二只
15、带式污泥脱水机
选用带式污泥脱水机,带宽1000mm,脱水后污泥含水率75~80%
型号:LHDY-100 变频调速传动 含污泥调质反应槽
数量:二台
16、溶药投药装置 一、二级混凝气浮装置投药及污泥脱水装置投药。
有溶药槽、搅拌机、投药槽、计量泵组成数量:共三套
17、流量计
对废水进行计量,选用电磁流量计及明渠流量计
电磁流量计:LDG-DN150 2台 LDG-DN200 1台
明渠流量计:超声波流量计 1台(出水口,一般有环保部门安装)
18、钢结构厂房
为确保设备使用寿命及操作安全,在主要设备上安装钢结构轻型厂房。
以上造纸厂污水处理工艺由河南清波环境工程公司提供,造纸厂污水处理工艺,造纸厂废水处理工艺,造纸厂污水处理,污水处理厂工艺流程,具体污水处理工艺流程详情咨询 河南污水处理公司电话:0371-68746335
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第五篇:污水处理工艺
污水处理工艺
普通]制浆造纸废水生物技术处理及其研究进展
(时间:2008-5-8 9:15:37 共有 人次浏览)
制浆造纸产生的废水若不经处理直接排放,将会造成严重的水体污染事件。实践表明,仅仅 依靠单段或单级处理不能达标排放,如单级混凝工艺只能去除45%-55%的CODcr,在此基础上,利用生物技术处理废水的特点在混凝处理后再增加生物处理的工艺也就应运而生。
文章主要介绍了生物技术在制浆造纸废水处理中的应用,希望能够引起造纸行业及其他相关行业对生物技术关注和重视,使造纸工业能够在防治水污染的同时,走可持续发展道路。1好氧生物处理法
好氧生物处理法是在氧参与的条件下,利用好氧微生物降解污染物质的方法。对于污染物浓度较低的废水一般采用好氧生物处理。1.1活性污泥法
活性污泥法自20世纪初开始应用以来,已成为世界各国应用最为广泛的一种二级生物处理工艺。活性污泥法净化废水主要是依靠好氧的能形成絮凝物的菌胶团属为主,在有氧条件下有效地把有机化合物氧化,生成CO2、H2O和细胞物质,这些细胞物质再用沉淀的方法从悬浮液中分离出来,一部分回用,剩余部分则加以处理。最早使用的活性污泥法称作普通曝气池法,亦称传统法。随着现代造纸工业的迅速发展,废水中难降解有机物的种类和数量不断增加,如存在耐水量和水质变化的冲击力小,运行不够稳定;曝气池中生物浓度低,曝气时间长,氧气利用率不高;构筑物占地面积大,基建费用高;易产生污泥膨胀,且污泥产量大等问题。为适应废水处理发展的要求,许多研究工作者对传统活性污泥法进行了大量的改进和强化,高效内循环生物反应器就是其中的一种,在造纸废水处理方面效果明显。此反应器将活性污泥法和硫化床结合起来,运用了高速射流曝气、物相强化传递、素流剪切等技术。因此其空气氧的转化率高,反应器的容积负荷大,水力停留时间短。
FB硫化床是从流动床和改进的活性污泥工艺演变而来的,是一种改良的活性污泥工艺,有研究表明采用FB硫化床对原有的污水处理厂进行改造后,排放负荷CODcr降到4kg/t成品浆。
陕西科技大学杨卿等人研究了HCR处理碱法麦草浆中段废水,结果表明,在水里停留时间为55min时,CODcr去除率达到85%,BOD5去除率达到80%。在试验过程中当进水BOD5在3 10-360mg/L的范围内波动时,去除率稳定在75%-85%。某纸厂废水采用HCR艺处理,其中BOD5和CODcr的去除率均在80%以上,悬浮物去除率和脱色率均在95%以上,与传统活性污泥法相比,HCR工艺在充氧速率、容积负荷、污泥负荷、沉淀池表面负荷、剩余污泥产率、水力停留时间等方面具有明显优势。
加拿大的几个工厂成功运用SBR艺处理制浆造纸废水,运行数据表明,所有系统BOD5去除率都能达90%以上,所有系统都能满足TSS的排放要求。有研究者采用混凝-SBR-吸附法处理制浆造纸废水,结果表明,采用-SBR-艺处理混凝后的制浆造纸废水,在生物处理时间为10h的情况下,可使CODcr总去除率达到94%以上。C.Q.Yang等人根据SBR技术特点,结合传统活性污泥法技术,研究开发了一种更为理想的污水处理技术--MSBR法。MSBR采用单池多格式化,既不需要初沉池和二沉地,又能在反应器全充满并在恒定液位下连续进水运行,通过生产应用证明MSBR法是一种经济有效、运行可靠。易于实现计算机控制的污水处理工艺。广西钦州竹国有限公司采用氧化沟结合水解工艺处理造纸废水,实践表明,该工艺处理效果良好,CODcr去除率达95%以上。1、2生物膜法
与活性污泥法不同,生物膜法的微生物处于固着生长状态,是利用附着于填料表面上的生物粘膜氧化分解废水中的有机污染物质,从而使废水得到净化。生物膜法具有泥龄长、硝化效果好、管理简单、无污泥膨胀、剩余污泥量少、耐冲击负荷和耐毒性等优点,因此得到越来越广泛应用。近年来,序批式生物膜反应器(SBBR)在污水和工业废水处理中的应用,引起了国内外广大学者、专家的研究兴趣,并取得了不少成果。汕头职业技术学院的陈壁波等人采用SBBR处理制浆中段废水,研究结果表明,中段废水经SBBR生化处理后,CODcr、BOD5去除率均达到75%以上,AOX去除率也达到55%以上。制浆中段废水经生化-混凝处理后,CODcr、BOD5、色度、TSS和AOX去除率均达到90%左右,可达标排放。四川理工学院的李文俊等采用混凝—MBBR法对某厂造纸中段废水进行了处理,结果表明,在水里停留时间8 h,曝气气水比为4:l,CODcr容积负荷为2.7kg/(m3·d)时,经强化混凝—MBBR法处理的废水CODcr和SS的去除率分别可达92.l%和93.3%。目前,许多地方环保部门对造纸企业制定了更严格的废水排放标准,其CODcr要求在100mg/L以下,实践证明仅通过物化处理的废水往往达不到排放标准,其主要原因是废水中存在可溶性的COD,而生化处理可有效去除可溶性的CODcr。华南理工大学万金泉等人研制开发了一体化废水处理技术,其技术主要是采用混凝沉淀与吸附过滤相结合的方法,在特效废水处理器中对废水进行处理,再经接触氧化二级处理,在6h的曝气时间下最终COD cr。可以达到50mg/L。用该一体化反应器处理硫酸盐浆含氯漂白废水,当水里停留时间15h时,CODcr、BOD5、AOX、有毒物质去除率分别为88.l%、81.0%、98.4%、92.0%。2厌氧生物处理法
厌氧生物处理法是在没有氧参与的条件下,通过厌氧生物对有机物进行酸性发酵和碱性发酵两个阶段的厌氧分解,完成代谢过程。随着各种高效新型厌氧处理装置的发展,厌氧生物处理法不仅可以用于高浓和中浓有机废水的处理,而且也适用于低浓有机废水的处理。其与好氧生物法相比,不需曝气,只需少量或不需补充营养物;产生的污泥量少,污泥稳定,易于脱水;反应器负荷高,体积小,占地少;规模灵活,操作方便。对于操作控制较为复杂且安全措施要求严格的废水处理,厌氧法常作为好氧处理前的处理,以达到更好的处理效果。
清华大学徐华等人通过对草浆中段废水混凝沉淀—厌氧—好氧生物处理组合工艺的试验研究得出,当FeSO4和PAM投加量分别为30mg/L和10mg/L时,COD和SS去除率分别为40%和95%;垂直折流板式厌氧污泥床在负荷为3.1-4.3kgCOD-(m3·d)时,COD去除率约为55%;接触氧化池负荷为l.5-2kgCOD(m3·d)时,COD去除率为50%,可以使出水达到国家排放标准。以UASB(上流式厌氧污泥床)为代表的新一代高负荷厌氧处理技术已广泛应用于各国制浆造纸废水处理工艺中。荷兰Papierfabried Roermond造纸厂,是以废纸为原料生产挂面纸板和瓦楞原纸的工厂,该厂对废水采用厌氧—好氧处理,在进水CODcr为3g/L时,通过UASB处理后,CODcr去除率为75%,为后续好氧处理的效果和稳定性奠定了基础。
20世纪90年代由荷兰帕克公司开发的专利技术内循环厌氧反应器(IC反应器),成为厌氧新技术的佼佼者。IC反应器的负荷相当于UASB的2-3倍,反应器高度是UASB的3倍多,因此具有占地少、体积小、效率高的特点,因而在废水处理中可取代UASB作为厌氧处理系统的关键设备。福建南纸股份有限公司引进荷兰帕克公司先进的厌氧技术进行厌氧—好氧处理高浓制浆混合废水,结果表明,该生产线具有自动化程度高、人员少、占地面积小、电耗低、处理效果好、处理成本低、工艺运行稳定等特点。Youngseob Yu等人实验表明,在高温制浆废水中,加人葡萄糖强化酸化水解木素的嗜温菌和嗜高温菌是可行的可提高厌氧处理的效率。3利用特种微生物处理法
利用特种微生物对制浆造纸废液进行净化处理是一个颇具前途的研究方向。已有研究表明,白腐菌是现阶段对木素及其衍生物降解最具潜力的菌株。王宏勋等人报道了产酸白腐菌的产酸性能与降解作用同时存在,去除黑液COD的能力与其自身的产酸效能紧密相连,因此产酸白腐菌在碱性黑液中可以发挥产酸与降解双重功能,可用于造纸黑液的生物处理。R.Nagarathna等利用Ceriporiopsis subvermispora CZ--3对牛皮纸浆废水进行脱氯研究,发现添加1g的葡糖糖,在温度30℃-35℃及PH值4.0~4.5,48h,降低45%的COD,降解木素62%,分解32%的AOX及36%的EOX。Messner将白腐菌P.chrysosporium BKM-1767固定在滴滤器的多孔泡沫载体上(MY-COPOR工艺),停留时间6~12h,其AOX去除率、COD去除率及脱色率分别达到80%、40%及87%。4人工湿地处理技术
所谓人工湿地(constructed wetland)是指通过模拟天然湿地的结构与功能,选择一定的地理位置与地形,根据人们的需要人为设计与建造的湿地。其处理造纸废水机理为,利用基质一微生物一植物这个复合生态系统的物理、化学和生物的三重协调作用,通过共沉、过滤、吸附、离子交换、植物吸收和微生物分解来实现对造纸废水的高效净化,同时通过营养物质和水分的生物地球化学循环,促进绿色植物生长并使其增产,实现废水资源化和无害化。
江苏射阳双灯造纸厂建造的人工湿地是以芦苇湿地植物和射阳丰富的滩涂资源为主体建造起来的。该厂废水经厂内生化预处理后,流入滩涂湿地生态处理场,对芦苇田进行灌溉,并充分利用芦苇湿地植物的生命活动代谢作用、地表系统自然净化功能、土地吸收和吸附作用,对厂内生化预处理后的废水进行深度处理,使之达到造纸废水排放标准,同时芦苇又可作为造纸原料,从而实现了污染物在系统内净化。5结语
为了我国国民经济可持续发展,防治水污染作为全国性重点,相应的环保法规将更细,要求更严。为此,制浆造纸废水的处理技术正不断改进和完善。造纸厂应本着清洁生产和零排放的目的,立足于本厂的具体废水特征及其实际条件,选择经济可行见效果好的处理工艺。