第一篇:烧结炉培训材料
烧结炉培训材料
一、功能及用途
此烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有质成分、完成铝背场及珊线烧结。硅片在炉中,上、下两面能同时烧结,烧结过程如下: 对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干; 去除浆料中的有质粘结剂; 铝背场及珊线烧结
二、烧结炉结构
炉体分为三个部分:
烘干区
烘干区包括四个加热区:ZONE
1、ZONE
2、ZONE
3、ZONE 4,其中ZONE 4 为对流加热区,位于其它三个温区上部,每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝,加热温度可设置到500摄氏度,但过程温度不应超过300摄氏度。
烧结区
烧结区包括六个加热区:ZONE
1、ZONE
2、ZONE
3、ZONE
4、ZONE
5、ZONE 6,ZONE 1~4 为预烧结区,ZONE 5 和 ZONE 6 为主烧结区,加热元件为近红外线加热管,其中1~4区加热管功率为1600W,5、6区加热管功率为2700W,每个温区温度单独可调,1~4温区温度可设置到700摄氏度,5、6温区可设置到摄氏1050度。
冷却区
冷却区采用水冷,给水温度大约在20~25摄氏度范围内。
烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛,通过风帘隔离,隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。
除了上述三个主要部分外,在炉体头部有上料区,在尾部有下料区,外加一个单独的冷凝器,冷凝媒介为冷却水。
三、CAN控制系统构成
传动电机调速系统
传动电机采用三相异步电机,速度调节是采用闭环变频调速,控制框图如下:
温度控系统
温度控制采用PID控制,系统构成控制框图如下:
冷却系统 排风系统
冷却系统和排风系统很简单,都采用开环系统。
四、操作
开机步骤 i.慢速开启冷却水主给水阀,给烧结炉供水。通常各管道给水阀和流量已设定好,勿需调节。
ii.慢速开启压缩空气主阀,炉子提供过程气体,同时给各气缸提供压缩空。
通常各管道流量已设定好,勿需调节。iii.将主电源开关拨到“1”,开启主电源。iv.启动PC,等待机器完成自检和监控程序装入。v.将“Drive On”拨到“1”,“Drive PC/Manual”拨到“0”,将“Heating FF”拨到“ON”,将“HEATING HTO”拨到“ON”。
vi.vii.viii.点击启屏幕上“Drive on/off” 收音开关,并按确认收音键,启动传送带。
如果有设置好的升温程序,顺序装入,使炉子逐步升温到过程温度。如果没有,则手动设置,每200度为一阶,逐步升温到过程温度。第一次装入后,需点击加热收音开关,开始加热。
根据工艺要求调整工艺参数,只需调整各温区温度和带速设定值。当过程值达到设定值后,机便处于就绪状态。
关机步骤
关机步骤则与关机步骤相反,需注意:当炉温降到100度左右时,方可将传送带停下。
五、预防性保养
定期清洗主给水过滤器。 定期吹洗HTO空气过滤器。 定期清洗传送带。 定期清洗气体流量计。
定期检查并调整传送带长度。 定期检查并清洗文丘利喷嘴。
六、故障诊断与修复
监控程序几乎可以定位所有故障,当故障发生时,报警系统会发出声光报警,并可能停炉。可打开“Alarm” 标签,察看报警信息,判断故障位置,分析故障原因,并排除故障。
常见的故障报警及处理:
空气流量过小或过大,空气压力不稳。提请设施部作解决。
压缩空气中有大量水份和油份,加大流量,排除积累在流量计中的水份,同时提请设施部设法滤去压缩空气中的水份和油份。
冷凝器排风量过小,开大风门,同时提请设施部加大抽风量。 冷却水温度过高,提请设施降低水温。 HTO过滤器堵塞,用风枪吹洗过滤器。 传送带过长,调整链带长度。
温度超出设定充许范围,检查设定值是否合适,并件适当调整。 加热管烧断,更换加热管。 固态继电器,更换继电器。
第二篇:烧结炉简介机器日常维修保养
烧结炉简介机器日常维修保养(2)
前言:集成电路所使用的管壳封装制作过程中有一道关键工艺是玻璃绝缘子的烧结。当未烧的绝缘子要进入960℃左右的高温烧结炉烧结成形,为防止合金管壳在炉内的 氧化,必须通入可控气氛进行保护。这一工序过去是由充满高纯度(99.999%)氮气的密封石英管式烧结炉来完成,这种方式不适于批量生产,我们应信息产 业部电子第40所的要求,1998年4月为其研制了一台氮氢链式烧结炉。2设备主要性能HNL-120氮氢链式烧结炉主要用于烧结集成电路封装管壳,贱金 属厚膜电路,金属退火材料等,其主要技术参数如下:最高炉温/℃1050工作温度/℃960炉温均匀度/℃≤±3空炉升温时间/h≤1.5额定功率 /kW50传送带宽/mm120传送带速/m·h-10.8~5氮气耗量/m3·h-1max6氢气耗量/m3·h-1max0.6冷却水用量 /m3·h-12(约0.2~0.3MPa)3结构特点要实现金属的无氧化烧结,炉膛内氧含量要达到10×10-6,所用保护气氛氮气源浓度最高只有 99.995%~99.999%,加上工件入炉时网带带入的氧,所以即使炉两端进出口采取气幕隔离方法,单纯的氮基中性加热气氛
也达不到管壳的无氧化烧结
1.4一般维修 1.4.1灯变更程序
当加热元件需要改变,必须遵守下列程序。此过程可以防止过早元素的失败和漏气。图1.4.1.1灯示意图显示Kaowool 1.4.1.1请确定所有的电源是完全从系统中删除,所有指示灯熄灭。
删除所有侧盖,室门和元素端盖完全公开所有发热元件终端。为防止放电冲击,仔细短的帧,分别向码头灯区,以消除任何电容充电。
1.4.1.2使用两个3 / 8英寸扳手,扳手同一个元素下面的螺母,同时消除导线与其他扳手顶螺母。做一个元素只有结束这个。
1.4.1.3使用欧姆表,并确认灯丝是开放的。
如果元素是坏的,螺母和垫圈取下。请注意,一个不能确定,在一般情况下,如果一个元素是通过视觉检查坏外加电源元素或由欧姆表内电路检查。
1.4.1.4删除在两个陶瓷完元素和旧包装材料。Kaowool 2.3“
陶瓷密封腔室灯 加热元件0.6“
它是绝对必要的,两个新的绝缘1.4.1.5在试图安装一个新的元素,材料可使用作品的包装在灯泡两端的材料。
注意:如果不这样做会造成严重的空气泄漏,造成个人资料的恶化。
1.4.1.6在安装灯,确认陶瓷)是完整的,红色硅酮密封胶是抱着陶瓷。G.E.广播电视大学,106型是用在这里。这也是必要的,以防止漏气。
从纸盒中取出的元素,1.4.1.7 1.3.1.5和1.3.1.6项目后得到满足,小心不要用裸露的手指触摸石英。
盐在身体上的油会导致多样化和石英热违规行为,并最终提前灯泡故障。如果石英意外感动,清理了与异丙醇或丙酮清洗之前安装。
1.4.1.8照亮炉端插入对面的一面。
前灯是通过推,认真整顿所要推动通过领先。瞄准下管,推动通过对面的元素。当铅出现,用它轻轻工作灯通过。在紧张的情况下,一个木钉或坚硬的钢丝都可以使用。引线是贴在木钉(或硬线)。当通过插入到对岸,灯可以轻轻穿过由木钉(或硬线)。
1.4.1.9包装材料和陶瓷之间的灯对灯两端。
小心不要让包装材料的金属片覆盖,否则会导致标签过热(650华氏度最大。)。另外,不要让包装材料推入腔室的包装内将包括灯泡和灯管几乎立即引起倦怠材料。
1.4.1.10确认灯居中0.03英寸,不要继续,直到它。灯,可能会导致早产,如果这是没有得到遵守。
1.4.1.11仔细包装上在同一方向旋转端子引线将螺母拧紧。
请确保有一个平垫圈首先,一个外星垫圈秒,最后螺母。1.4.1.12留出足够的松弛,防止其成为紧铅,使铅0.75英寸,约2厘米超过所需的时间。
1.4.1.13陶瓷僵局安装螺栓连接是有意松动。不要拧紧它,它就会断裂。
同样,使用两个扳手,一个以下及以上的领导之一,并拧紧。
1.4.1.14切掉多余的元素引线。
1.4.1.15复检,可以肯定,绝缘不覆盖或终端。这是至关重要的。1.4.2运输网带更换
当更换运输带,这将是有帮助的一个助手提供。
1.4.2.1放置在炉和东方高考结束带卷起来,如图所示
下文。
图1.4.2.1带定位
1.4.2.2延长棒长棒或通过炉腔,小心不要损坏灯或保温。
如果可能,使用旧的网带借鉴,通过搬迁期间的会议厅一拉电线。牢固地附着在带前缘的棒。小心地将通过从出口端炉带,而一个助理将展开,引导入炉带。
删除通过滚筒和滚筒驱动,如下图所示,1.4.2.3当带已通过炉膛拉,杆和线一拉电线。导线连接到带领先优势,通过拉带。图1.4.2.2网带安装
然后用手,直到带1.4.2.4继续通过拉电线系统驱动器使用的网带,路径是否完整。1.4.2.5接合带,如下所示。
图1.4.2.3插入带接头
1.5单元测试程序
这个程序是用来测试开放加热元件。
1.5.1所需设备
1连续性测试仪(欧姆表首选)23 / 8“框或开口扳手 3控制与元线路图
1.5.2测试程序
注意:这将是有帮助的助理执行这些测试时可用。
1.5.2.1过程
从炉中取出所有的力量,如果一个UPS或EPS为安装,找到并关闭本机。删除所有侧盖,完全暴露所有灯接头。作为一种参考电路图,找到连接母线在每个区域中的元素。母线是由铝,并连接到灯端子螺钉。开始在炉前,删除只带一母线(顶部和底部),注意到其中有码头的母线连接。用万用表在欧姆规模,并任技术员边炉,检查通过测量灯的每盏灯的终端电阻。如果电阻小于10欧姆,该元素是好的。
如果电阻较大,更换后,在本手册第3.3程序元素。接着,以同样的方式检查该区域的下半部分。经核实的顶部和底部灯,更换正确的端子母线,并拧紧所有的硬件。按照同一程序,请检查其他区域,一次一个,在整个炉。一旦单元已经被完全测试,更换的顶部和底部的炉盖子。打开了EPS / UPS的(如果是这样配备)和权力火候。使炉加热到所需温度,而且,接下来,运行配置文件核实无泄漏周围被替换的灯泡发生。该过程现在已完成。
第三篇:真空烧结炉操作考试题目
烧结操作考试题目
一)、备料(30分)
1.操作人员必须穿戴好相关的劳保用品;(2分)
2.备料之前必须检查石墨底板是否完好、无裂纹;同时必须清理干净底板,不能有石墨夹渣或碳黑灰尘等;(2分)
3.备料之前必须认真检查卡片上所标识的型号、牌号、数量与实际是否相符,备料时不同牌号,相同或相近型号的产品备炉时用空舟严格区分开或者分开备料。(3分)
4.备料时必须检查舟皿放产品一面是否已刷涂料;(2分)
5.操作人员必须严格按照工艺要求和工艺员的要求进行备料;(2分)
6.备料时严格按照规定在卡片左上角编号(炉次号、进炉日期、炉内位置);(2分)
7.备料时发现产品有裂纹、分层以及其它缺陷时应停止备料,并上报班组或工艺员;(3分)
8.备料产生的废刀板必须在相应的卡片上减去相应的重量(数量),并将其放在指定的料桶内,保证料块干净;(3分)
9.备完料后及时做好装炉原始记录及产量表;(2分)
10.有试压、试烧产品或试样条的优先备炉,并按要求放在指定位置;(2分)
11.一张指令卡没有备完时,应填写一张临时卡片,内容与原指令卡
一致;(2分)
12.备料垛高度不得超过炉子有效工作区高度;(3分)
13.将料舟平稳端起放在石墨板上,舟皿边不要超过石墨板,料舟由
下往上堆放,注意舟与舟之间衔接必须良好;(2分)
二)、开炉前检查(25分)
1.检查炉门密封胶条是否完好,炉膛、炉门、内胆、保温筒是否已清理干净;(3分)
2.检查水、电、气是否满足使用要求;(3分)
3.检查通往使用炉体各部位冷却水是否已全部打开,炉体是否有报警存在;(3分)
4.检查各管道的阀门处及焊接头处是否有泄露;(3分)
5.检查捕蜡器、接蜡盘是否已清理;(3分)
6.检查检查泵组油位是否达到使用要求,水汽是否已放干净;(3分)
7.切换使用炉体,检查加热刀闸的接触是否良好;(3分)
8.开炉人员必须根据工艺指令单认真检查工艺曲线的输入是否正确(温度、压力、时间)且已下载好;(4分)
三)、看炉(15分)
1.程序运行后,开始抽真空时,按对角原则把炉门拧紧(必须直到拧不动为止,防止正压脱蜡炉门和捕蜡器漏气)(3分)
2.氢气置换氩气,若三十分钟未点燃,应先暂停程序,检查点火线圈、进排气是否有故障,及时处理并做好记录并上报班组;(3分)
2.看炉人员必须按规定如实做好升温记录;(3分)
3.在设备整个运行过程中,操作人员必须经常巡查设备状况,并做好相关记录;(3分)
4.程序运行过程中如遇突然停电,操作者必须根据车间停电处理方案进行相应处理并上报班组做好记录;(3分)
5.当炉温降到800度时(设定值)进入快冷,开始充氩气接近常压,同时风机启动,不同设备根据要求打开相应手动阀;(3分)
四)、卸炉(10分)
1.当炉温达到设定的出炉后,配电柜面板上的程序运行指示灯自动熄灭,程序运行结束;(3分)
2.程序运行结束后,先打开前后炉门卡栓,然后打开炉体充气阀,直到炉内处于常压状态时方可打开炉门进行卸料;(2分)
3.出完炉后必须及时清理炉膛、炉门石蜡残留物并用吸尘器将料盒内及保温层内杂物吸净;炉门打开状态不得超过30分钟;(3分)
4.卸料时根据卡片编号与料舟相对应的原则进行卸料;(2分)
五)、简述题(笔试题)
简述压力烧结炉停电后的紧急处理方法?(20分)
1.脱蜡阶段:
(1)在氢气脱蜡过程中突然停电时,系统将自动关闭各阀门,炉膛此时处于密闭状态,为防止炉膛内压力恢复到常压,应立即打开气体汇流排上的V318手动输入阀,向炉内送入Ar气,同时用“一字
螺丝刀”手动打开V308扑蜡器输入气动阀,调节Ar气流量至1000L/h,当炉膛压力表显示压力到0.1MPa时,立即关闭V318阀和V308阀停止充入Ar气;来电后系统将按停电前的程序段继续运行。(10分)
(2)在压差脱蜡过程中突然停电时,因无法观察炉内真空度变化情况,如停电时间较长,则程序复位,手动充入Ar气至0.1Mpa,以保护炉内产品。(5分)
2.预烧和烧结阶段:
发生停电时,如时间较长,同样为防止炉膛内进入空气,程序复位,手动向炉内充Ar气。(5分)
第四篇:科晶KSL1600X-A3箱式高温烧结炉操作说明
科晶KSL1600X-A3箱式高温烧结炉操作说明
1、合上配电箱中的WP25,此时圆形绿色Power指示灯亮;顺时针旋开控制电源开关Lock,此时仪表盘灯亮;
2、输入控温程序曲线;
① 在基本状态下按 < 键1秒进入控温程序设置状态。仪表显示的是当前运行段起始给定值(C01),可按 < ∧ ∨ 三键进行数据设定;
② 按滚动键(带顺时针箭头的未闭合圆圈)依次显示下一个要设置的程序值,每段控温按C-t的方式依次排列,即该段的起始温度(C01)→该段运行时间(t01)→该段目标值(C02,也是下一段的起始温度)。按 < ∧ ∨ 三键进行数据设定; ③ 按 < 键2秒,可返回设置上一数据;
-III-
第五篇:培训
仲夏北戴河
吴忠市地税局税管员培训班学习体会随笔—拜丹
松软的沙滩、俏皮的海浪、悠然的笑容、禅禅的知了,仲夏的北戴河分外的浪漫、迷人。吴忠市地税局组织的为期十天的税管员培训班在久负盛名的北戴河开班已有一个星期了,我们在徐徐的海风中接受着知识的熏陶与滋润,感受着大海的拥抱与抚慰。
这里的环境十分的优美、海风、绿树、细浪、细沙,让我们的心情不由得要飞了起来。这里的老师非常的敬业,为我们认真讲授了当前税收工作中的热点与难点问题,《纳税评估实物与操作》、《土地增值税政策解析》、《房地产税收管理》等专业知识,我们获取了新的知识,对平时工作中感到疑惑的地方茅塞顿开,同学们都把这次培训当成一次难得的 充电机会,在课余时间,积极向老师请教问题,老师们总是不厌其烦的答疑解惑,同学们在获取新知识的同时,与老师建立了深厚的友谊。为了放松身心,培训班特意安排了一堂《心理压力调试》,老师理论结合实际,深入浅出的讲解,诙谐幽默的授课风格,仿佛与同学们共同进行了一次心灵洗涮的快乐旅程。我们在课堂上闭上眼睛,舒缓的音乐慢慢飘来,意念在身体里传输,仿佛听到了海浪拍岸的声音,感觉到了海风扑面而来惬意,愉悦的感觉传便了身体每一个细
胞,工作的压力与生活的琐碎在那一刻消失的无影无踪。
天色暗下来的时候,暂时放下一天紧张的学习,与些许的同学好友来到海边,闭上眼睛,感受大海从容恬淡的气息,睁开眼睛,折服于大海一望无际的宽广与包容,我在想,大海是积极的、淡然的、微笑的,它在告诉我们,积极的面对未来,淡然的接受现在,微笑着回忆过去,那一刻,幸福与我相伴。