半导体厂设备工程师人员安全注意事项

第一篇：半导体厂设备工程师人员安全注意事项

半导体厂设备工程师人员安全注意事项

半导体厂设备工程师人员安全注意事项

林义凯 工程师

台湾集成电路制造股份有限公司三厂 工安环保部

摘要

半导体业对台湾整体市场影响力非常大，集成电路制造过程使用非常多化学 品及有害气体，主要设备单位包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、Dry Etch、Wet Etch、Photo。为了让工安人员、设备人员能够充分的了解在FAB 内所处之 工作环境及在工作时需特别注意之安全事项，兹将设备人员所负责之机台及该注 意之安全事项，加以汇整说明，以确实加强改善半导体厂设备工程师人员之安 全，避免人员意外事件发生。

一、工作安全之基本观念

一般工作现场中主要安全基本观念包括以下数点：

（一）安全是工作的一部份，我们有义务要把安全做好。

（二）依据国际安全评分系统(ISRS)所统计之意外事故比率：

每６００件虚惊事故，就会伴随３０件财物损失之事故，并产生１０件轻 微伤害事故，最后可能产生１件严重伤害事故。

（三）任何意外事故发生，均是由日常工作中不安全的行为或不安全的环境所造 成。

（四）落实安全管理是主管的必修课程，不是在事后补救；预防胜于治疗。

（五）只要是涉及安全，你唯一能相信的是你自己，你必须有百分之百的把握，你所做的任何行为或动作没有任何安全顾虑。所有工作人员，都必须有预 知危险之危机意识。

（六）从事任何工作，你首先要考虑的是你自己本身的安全，再来是周遭的人身 安全，其次才是机台与产品的安全。

（七）担任维修及保养工作时，若你发现你不够清楚，请立即停止进行中的工作。

（八）凡事务必遵守标准程序(SOP、PM Procedure、Trouble Shooting Guide)。从事特定维修工作，请确实按照规定穿着标准防护用具。

二、设备人员维修/保养工作通则

半导体厂中设备人员维修、保养时易造成人员安全疑虑，因此凡于无尘室内 从事PM 及维修工作时，均应遵守下列规定事项，以确保安全且整齐之高质量工 作环境。

(一)安全事项：

1、任何操作均以安全为第一考虑。

2、设备维修时，必须挂上维修中警示牌，以防止他人误动作。

3、PM 维修中，如需占用走道或掀开高架地板，工作人员必须将施工区域用围 栏区隔，以防止危险发生；掀开高架地板作业完毕，地板盖回后，必须确认 地板间是否平整，以维持无尘室内作业安全。

4、PM 维修时，若有接触化学品或有害气体之虞时，必须依照标准Procedure

做好安全防护措施，以保护本身及他人之安全。

5、PM 维修中如需要使用附属设备，如工作台车、House Vacuum 时必须摆放适 当之安全位置，以防止人员绊倒产生危险。

6、使用IPA、H2O2、DIW 须用小瓶罐装，人员离开时须放回钢瓶座内。

7、执行维修保养工作时，务必特别注意机台零件及工具锐角对人身可能造成之 伤害。

(二)操作整齐注意事项：

1、任何操作均应随时保持高质量之工作环境。

2、PM 维修拆下之零件，不可放置机台或地面上，必须放置维修台车上或指定 收纳置物箱内，螺丝须放入螺丝盒内，如Parts 体积庞大须暂放地面，应放 置安全，不得妨碍他人之作业安全。

3、PM 维修使用之工具须摆放整齐，人员离开时必须放在工作台车上或放回工 具箱内。

4、PM 维修使用完之无尘布、棉花棒等，必须立即丢入垃圾筒及垃圾袋内，以 保持工作环境之整洁。

5、搬运物品时必须轻提轻放，不可用拖拉方式移动物品。

6、PM 维修时，禁止使用货架台车暂放零件或运送零件，以维护货架台车之清 洁，PM 工作台车使用完毕，必须保持干净清洁，放置于规定地方。

7、House Vacuum 使用完毕后，须check house outlet 之铜盖是否盖上及密合，使用电源插座完毕后，须check 电源座是否推回地板面，盖子是否盖上。

8、工作中或暂时休息，皆不可坐于桌面及地板或脚踏板上。

9、工作完成后，请检视周遭环境确保整齐清洁。

三、设备人员单位简介及安全概述

半导体厂设备单位一般包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、Dry Etch、Wet Etch、Photo，各单位之主要性质介绍如下：

（一）Diff 扩散设备单位（包括KE、TEL、DNS、Applied 等）

主要用到有毒、无毒之Process Gas、water、高电压、高电流、废气，Clean 机台则使用强酸碱化学液、而有废酸液之生成。

（二）Thin-film 薄膜设备单位（包括Applied、Novellus 等）

主要用到有毒、无毒之Process Gas、water、高电压、高电流、高频、废

气。

（三）CMP 研磨设备单位（包括Applied、DNS 等）

主要用到强碱slurry 化学液、water、而有废碱液之生成。

（四）Vacuum 真空设备单位（包括Applied、AG、Varian 等）

主要用到有毒、无毒之Process Gas、water、高电压、高电流、高频、废

气；喷砂机台作为维修之用。

（五）Etch 干蚀刻设备单位（包括Lam、TEL、Applied、PSC、Mattson 机台）干蚀刻机台之制程主要用到有毒特殊气体(Cl2,Hbr,氟化物…)、无毒之气体

(N2,Ar….)、water(冷却循环水,去离子水….)、高电压、高频、高电流在真 空中反应，且在生产过程会有废气、辐射、废水之生成物。

（六）Etch 湿蚀刻设备单位（包括Kaijo 机台）

湿蚀刻机台之制程主要用化学药品，如强酸

(HF ,BOE ,H3PO4 ,H2SO4 ,HNO3…)，强碱(ACT-690…)及DIW ,Cooling

water 等，在生产过程中会有废酸液、废水及反应生成物之产生。

（七）Photo 黄光设备单位（包括ASM stepper、TEL track、AGV 及其他相关量 测或检视机台）

主要用到紫外线光源HMDS、thinner、光阻等有机溶剂，且有高电流、高

电压、紫外线之应用，生产过程会有废气、废液之生成。

综合一般无尘室内常见之工业安全伤害，可分为化学性、物理性之伤害，而伤害也分布身体之各部位。以下就将各单位较易发生及机台维修之安全事项说 明如下：

(一)Diff 扩散设备单位

1、Furnace tools and CVD tools

（1）机械方面：robot 之夹伤、撞伤、chamber 毒气外泄、plasma 辐射伤害、gate door 之夹伤，高温烫伤。

（2）电力方面：高压电流触及。

（3）维修方面：身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer 之割伤。

（4）保养方面：高温炉管之烫伤、parts 之割伤、化学溶剂吸入性及喷溅之伤害。

2、Wet bench 安全注意事项

（1）机械方面：robot 之夹伤、撞伤、挫伤。

（2）化学药剂方面：强酸／强碱之灼烫伤、化学品之触及、吸入性伤害。

（3）电力方面：漏电触及。

（4）维修方面：撞伤、wafer 割伤、强酸／强碱之波及。

3、Inter-bay transfer system

（1）机械方面：R/M 之夹伤、撞伤、挫伤。

（2）维修方面：高架作业之安全。

(二)Thin-film 薄膜设备单位

（1）机械方面：避免撞伤、高温烫伤、废液桶压伤、robot 夹伤、slit valve 夹伤、肌肉拉伤。

（2）电力方面：避免高压电流触及身体。

（3）维修保养方面：高温烫伤、粉尘吸入、重物压伤、强酸／强碱之灼伤、身 体之擦伤、撞伤、夹伤、挫伤、parts 割伤、powder 避免吸入体内。

（4）化学溶剂方面：强酸／强碱之波及和吸入。

（5）特殊气体方面：防止毒气外泄之吸入。

(三)CMP 研磨设备单位

（1）机械方面：motor gear 转动时夹伤、DNS gate door 夹伤。

（2）电力方面：高压电流触及。

（3）维修方面：

a.Mirra Cross 转动时须先确定无人。

b.robot 移动时，须把door 关起来，避免撞人员。

c.Wafer 破片之割伤。

（4）保养方面：换Pad 时须使用适当工具，避免拔Pad 时工具撞到脸部。

（5）化学药剂方面：

a.维修或养DNS TBC chamber 时要先flush，并带口罩及防酸手套，防止 HF 腐蚀。

b.处理W slueey 时，须带手套。

(四)Vacuum 真空设备单位

（1）机械方面：robot 之夹伤、撞伤、chamber 毒气外泄、plasma 辐射伤害、slit valve 之夹伤，肌肉拉伤，高温烫伤。

（2）电力方面：高压电流触及、X ray 辐射、强磁场。

（3）维修方面：身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer 之割伤。

（4）保养方面：高温烫伤、parts 之割伤、化学溶剂吸入性及喷溅之伤害。

（5）特殊气体方面：防止毒气外泄之吸入。

(五)Etch 干蚀刻设备单位

（1）机械方面：机械手臂之夹伤、撞伤、chamber 毒气外泄吸入性之伤害、plasma 辐射污染伤害、gate door 之夹伤，高温烫伤。

（2）电力方面：高电压、高电流之电击伤害。

（3）维修方面：身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer 之割伤。

（4）保养方面：parts 之割伤、化学溶剂吸入性之伤害。

(六)湿蚀刻设备单位

（1）机械方面：机械手臂之夹伤、撞伤、挫伤。

（2）化学药剂方面：强酸／强碱之灼烫伤、化学品之触及、吸入性伤害。

（3）电力方面：高电压、电流之电击伤害。

（4）维修方面：撞伤、wafer 割伤、强酸／强碱之波及。

(七)Photo 黄光设备单位

（1）机械方面：robot、mail arm、AGV 之撞伤，KrF、化学品外泄、indexer 之 夹伤，高温烫伤。

（2）电力方面：高压电流电击。

（3）维修方面：身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、lamp、wafer 之割伤、高速旋 转物飞出、液体溅出。

（4）保养方面：紫外线、laser 曝露、有机溶剂吸入、皮肤接触。

第二篇：“校中厂”人员与设备管理办法

“校中厂”人员与设备管理办法

第一类校办工厂(简称高校工厂)第一章 总

则

第一条 为全面贯彻国家的教育方针，适应改革的要求，充分发挥高等学校的校办工厂(简称高校工厂)在建设具有中国特色的社会主义大学中的作用，特制定本规定。

第二条 高校工厂是学校教学、科研、生产三结合的基地，是学校工作的重要组成部分。其根本任务是为培养社会主义现代化建设需要的高级专门人才和发展科学技术文化服务，同时通过生产活动增加收入，为学校发展积累资金。第三条 高校工厂必须坚持四项基本原则，坚持改革、开放、搞活的方针，坚持为教育事业服务的方向。高校工厂应发挥学校科学技术优势，面向教育、面向经济建设，积极开展实践教学、科学研究、中间试验，逐步办成技术密集、效益较高的工厂。

第四条 高校工厂是事业单位，内部实行企业化管理，独立核算。工厂必须建立和健全各项规章制度以及各级岗位责任制，逐步采用现代化管理手段进行科学管理。第五条高校工厂的主要任务有：

(一)根据教育计划和教学要求，安排教学实习和其他实践教育活动，不断提高教育质量。

(二)承担校内教学、科研和其他方面的研制、加工、试验和维修任务。(三)引进先进技术，运用科研成果进行新技术、新材料、新工艺、新产品的研究、中间试验和生产。

(四)在完成教学、科研任务的前提下，根据社会需要，进行各类产品的研制和生产，不断提高社会效益和经济效益，为学校创收，以改善办学条件。不同学校工厂的任务，可因学校的类型、层次、规模和实践教学的要求而有所不同。

第六条 高校工厂的基本建设(包括自筹基金)要纳入学校的总体规划和计划，由学校统一报上级主管部门审批。第二章 管理体制 第七条 高校工厂由校(院)长领导。根据学校的特点和实际情况，可设立主管工厂的管理机构，实行业务归口管理，协助主管校(院)长对工厂进行具体指导，协调工厂与其他部门的关系，解决工厂发展中的问题。仅为一个系的教学、科研加工服务的工厂，也可由系领导。

第八条 高校工厂厂长由学校任命或聘任。工厂可参照《全民所有制工厂企业厂长工作条例》，结合实际情况，实行厂长负责制和任期目标责任制。规模较大的工厂可根据其条件和实际需要，逐步实现一长三师(厂长、总经济师、总工程师、总会计师)的管理体制。

第九条 高校工厂参照《全民所有制工业企业职工代表大会条例》，实行职工代表大会制度。职工代表大会既要积极支持厂长行使工厂管理决策和统一指挥生产活动的职权，又要积极发挥审计工厂重大决策、监督行政领导，维护职工合法权益的作用。

第十条 高校工厂参照《中国共产党全民所有制工业企业基层组织工作条例》，结合学校的实际，设立党的组织，对工厂实行思想政治教育，充分发挥保证监督作用。

第十一条 高校工厂应参照《中华人民共和国所有制工业企业法》，深化管理改革，根据教学、科研和生产任务的需要，结合学校的具体情况，内部可实行多种形式的承包责任制。

第十二条 高校工厂的建立和撤销，应报上级主管部门审批。第三章 教育管理

第十三条 高校工厂是学校开展实践教学的重要基地之一，要把培养人放在首位。除接纳学生教学实习、劳动之外，有条件的还要接纳学生专业实习、毕业实习、科研活动等多层次的实践教学和勤工俭学活动。

第十四条 实践教学环节要尽可能结合生产实际、产品开发和技术改造进行。通过实践教学，对学生进行基本知识教育和基本技能训练，加强学生的思想政治工作和组织管理工作，对学生进行劳动观点、群众观点、实践观点、经济观点的教育和安全纪律教育。

第十五条 高校工厂实践教学指导人员必须由思想好、作风正派，既有一定的理论知识又有较熟练的操作技能，具备一定的教学经验和组织能力的人员组成。要配备一定数量和相对稳定的实践教育指导人员。对于实践教学指导人员的考核，应以教学水平、技术水平和组织管理能力为主要内容。

第十六条 实践教学训练所用机床及其他设备的数量、质量要符合教学要求，要逐步完善实践教学的教材。第四章 科技管理

第十七条 高校工厂要运用生产技术条件，根据学校科研需要，积极承接科研试制和设备加工任务，为学校科研基本建设和多出成果服务。

第十八条 高校工厂应充分发挥高校学科齐全、技术密集的优势，制定长远的发展规划和新产品开发计划，有计划地引进、消化国外先进技术，努力开发技术密集的产品，使工厂逐步向科技开发型发展，成为学校科研、新产品研制的主要基地之一。新产品开发计划应报送上级主管部门审批。

第十九条 高校工厂应采取多种形式加强与校内系、研究所的协作，共同开展科学研究和新产品的开发工作，并参与成果权益的分享。有条件的工厂可建立自身的科研机构(研究所或研究室)，增强工厂科学研究和学校各种研究成果转化为生产力的能力。

第二十条 高校工厂要根据《技术市场管理暂行办法》，鼓励校内的科研成果优先向本校工厂转让；充分发挥技术优势，加强横向联合，积极开展对外技术咨询、技术转让、技术服务等多层次科技合作活动。第五章 生产管理

第二十一条 高校工厂必须根据学校教学、科研任务和市场预测，结合工厂长远发展规划，认真编制生产、技术、财务计划。计划报送上级主管部门审批。高校工厂的生产计划和物资供应纳入国家各地方，产品按行业实行归口管理。

第二十二条 高校工厂要面向全社会、重视信息，搞好市场的调查和预测，进行科学的经营决策，开展经营活动。

第二十三条 高校工厂应根据生产特点，建立以厂长为中心的强有力的生产指挥系统，负责执行计划，对生产过程进行组织、协调、控制，加强安全生产和文明生产，不断提高劳动生产率。第二十四条 高校工厂要贯彻《工业产品质量管理的条例》，坚持“质量第一”的方针，推行全面质量管理，加强计量管理及产品检测，做好质量跟踪和售前、售后服务工作，逐步做到产品的标准化、系列化、通用化。

第二十五条 高校工厂应加强管理基础工作，采用先进技术标准，加强定额、统计和设备管理，不断提高管理水平。第六章 劳动人事管理

第二十六条 高校工厂必须建立一支素质好、结构合理、相对稳定的职工队伍。职工编制(不包括印刷厂)，理(包括综合大学和师范院校等的理科)、工科全国重点高等学校，按该院校在校学生人数的3 ～5%的幅度核编；其他院校可按在校学生人数的1～3%进行核编。高校工厂职工的编制，由学校报上级主管部门审定。定编内职工的工资及福利费用由学校在核定的教育事业费预算内支付。工厂根据工作需求，经上级主管部门批准，可以增加职工，但超过编制标准的职工的工资及福利费用由工厂自己支付。

第二十七条 高校工厂要配合专职的工程技术人员，其占工厂职工总数的比例一般可按15～30%配备。为充分发挥工程技术人员的特长和工作积极性，应在工作、学习、生活等方面尽可能创造条件，使他们为工厂的发展作出更大的贡献。第二十八条 高校工厂要做好全员培训工作，不断提高职工队伍的思想政治、文化、技术和管理素质。建立职工技术培训和考核升级的制度。做好特种工艺的老技术工人带徒传艺的工作。工厂职工享受当地同类国营企业同工种的劳保用品、保健津贴等。

第二十九条 高校工厂要贯彻执行专业技术职工聘任或任命制。高、中、初级技术职务要有合理的结构比例。

高校工厂要贯彻执行工厂技师聘任制。第七章 财务管理

第三十条 高校工厂必须贯彻勤俭办厂的方针，加强财务管理，提高经济效益。工厂独立设置财务机构，其财务活动接受学校财务、审计部门的指导和监督。第三十一条 高校工厂财务应遵循《中华人民共和国会计法》以及政府有关政策规定，根据教学、科研、生产计划，编制和执行工厂的财务计划，进行会计核算，定期向学校财务部门编制会计报表，提出工厂财务和经济活动分析报告，为经营管理和决策提供依据。

第三十二条 高校工厂应建立严格的成本核算制度，其成本开支范围应执 行国务院颁布的成本管理条例和财政部颁发的有关实施细则，努力降低成本，提高经济效益。

第三十三条 高校工厂承担校内教学实习、科研和行政加工及修配任务，应按成本(不包括职工工资)收取费用。

第三十四条 高校工厂生产的产品(包括加工、修配)，用于本校教学、科研方面的，免征产品税、增值税、营业税；对外销售和按受校外加工、修配业务所有的收入，应按照国家规定缴纳产品税、增值税、营业税；对其所得免征所得税。第三十五条 高校工厂奖金发放和免税额度按照国家有关规定办理。第三十六条 高校工厂在实行定编定员的基础上，可试行工资总额包干，增人不增工资总额，减人不减工资总额。

第三十七条 高校工厂的产品或劳务出口所得外汇，大部分返回学校，由学校统筹安排使用。高校工厂的利润全额上交学校，纳入学校基金。各院校可根据工厂的实际需要，将上交给学校利润的一定比例返还给工厂，作为生产发展基金、新产品研制基金、后备基金、集体福利基金和奖励基金。第八章 奖惩办法

第三十八条 有条件的学校，要逐步实行工厂用人制度和工资制度的改革，贯彻“各尽所能，按劳分配”的原则，把精神鼓励和物质鼓励结合起来，做到奖惩分明，鼓励先进、充分调动和保护职工的积极性。

第三十九条 实行厂长负责制和任期目标责任制的高校工厂，根据责权利 统一的原则，对完成和超额完成承包指标的，要给予奖励；对完不成承包指标的，要给予处罚。

第四十条 高校工厂按照国家有关规定，对在创造发明、科研试制、技术革新、技术竞赛、能源及原材料节约、安全生产等方面取得优异成绩的，可按国家有关规定给予奖励。

第四十一条 对由于渎职、失职，造成国家财产重大损失或人身伤亡事故者，要给予行政处分，直至追究法律责任。第九章 附 则

第四十二条 高校工厂与外资合办的企业，按国家有关规定管理。

第四十三条 各高等学校应根据本规定，制定具体的办法，报上级主管部门备案。

第四十四条 本规定由国家教育委员会负责解释。

第四十五条 本规定自发布之日起施行。教育部(80)教供字028号和财政 部(80)财事字193号联合印发的《教育部部属高等学校校办工厂暂行管理办法(试行)同时废止。

第二类校办工厂(租借场地给外来企业)外来企业支付场地和设备、设施租金给学校，由为学生的实习提供便利，由企业独立经营，设备和人员由外来企业自行管理。

第三篇：人员入厂安全承诺书

人員入廠安全承諾書

姓名：

所屬公司名稱：填表日期： 請依據內容進行勾選以利建檔備查，謝謝！

1.承攬商入廠時是否有觀看〝杜邦新竹廠〞的安全規定宣導影片.2.承攬商入廠時是否依據公司規定進行登記、停車.3.是否清楚車輛速度限制為20公里，停車時請將車頭朝外進行停放.4.是否清楚廠區劃分三個區域：生產區域、無塵室區域及豁免區域.5.是否清楚人員上下樓梯時應使用扶手之規定.6.是否清楚廠內嚴格禁止跑步.7.是否清楚生產區嚴禁酗酒，酒精性飲料、嚼檳榔都是被禁止的，飲食需在豁免區域。

8.是否清楚廠區全面禁止吸煙，吸煙時請至廠外.特定區域

9.承攬商進入廠時進行工程施工、設備維護、動火與保養作業時，應事先申請工作許可並取得核准同意.10承攬商欲進入廠區時是否清楚需專人陪同，入廠時若遇任何緊急疏散通知時，應配合進行人員的疏散.11.是否清楚車輛上下貨時應熄火並使用輪檔，人員方可進行上下貨作業.12.是否清楚承攬商進入作業區域時，應使用並穿著適當的個人防護裝備.13.是否清楚進入生產區域時禁止攜帶與使用行動電話、呼叫器及照相機，若需使用照相機

時，應獲得該區域主管同意.14.是否清楚入廠時若發生任何緊急事件皆須向陪同人員告知，並依據廠內規定通報與處理.15.是否清楚人員入廠時，如需使用電氣設備，都須經過檢查和維護工程師同意後方可使用，其只針對承包廠商進廠作業使用之機器(電焊機、切斷機、電鑽‧‧‧)。□是 □否 □是 □否 □是 □否□是 □否 □是 □否 □是 □否 □是 □否 □是 □否 □是 □否 □是 □否 □是 □否 □是 □否 □是 □否 □是 □否□是 □否

運輸安全承諾書

請依據內容瀏覽並簽名，謝謝！

1.承攬商入廠時應依據公司規定進行登記、停車。

2.車輛速度限制為20公里，停車時請將車頭朝外進行停放。

3.廠區嚴禁酗酒，酒精性飲料、嚼檳榔都是被禁止的。

4.廠區全面禁止吸煙，吸煙時請至廠外指定區域。

5.車輛上下貨時應熄火並使用輪檔，人員方可進行上下貨作業。

6.入廠時若發生任何緊急事件皆須向陪同人員告知，並依據廠內規定通報與處理。

姓名：

所屬公司名稱：

填表日期：年月日

第四篇：搬厂注意事项注意事项

搬厂注意事项

离开搬厂旧址应做到：

◇检查搬运物品是否与你的物品清单一致。必要时需拍相片。

◇确认物品清单是双方签字确认的，并做拷贝。

◇把随身带走的贵重物品装好。

◇在发车之前检查所有物品是否装完。

◇在你签署检查货运单之前，要将所有项目仔细检查，并做拷贝。

◇记录货车司机名字、电话，并指明新厂具体位置和行车路线。

迁入新厂地址该做到：

◇仔细核对货物件数，确保实物与货运单（装箱单）信息一致，否则应货运单上备注并由双方签字确认。◇检查每个纸板箱的状态，列出所有丢失或损坏的货物，并做拍照留存。

◇仔细核对每箱编号并有序卸车。

◇对照货物清单明细检查物品，并对损失做详细纪录。

搬运注意事项：

◇一定要了解物品属性以做重点保护。

◇易碎的物品或贵重的物品要做防护工作。

◇电器设备必务轻拿轻放。

◇沉重或体积庞大的物品，如柜子、钢琴等应该有多名工人搬运，并有人在旁组织。

◇易碎或怕压的物品应放在最上边，最后装车，最先卸货。

◇较散的物流应打包搬运

◇搬运时经常会出现意外的人身伤害，因此应时刻保持警惕。

◇搬运时穿着要以安全方便为准则，最好穿长衣长裤，以免划伤，严禁穿拖鞋、凉鞋搬运，涉及高空作业时必须戴安全帽。

◇搬运时必务注意锋利的物品，如玻璃、铁器等。

◇搬运大件物品及高空吊装时，必力疏散人群，确保作业范围安全。

◇现场应配备必要的外用药以防万一。

第五篇：半导体工艺工程师见习期小结

见习期小结

2011年03月，我有幸进入无锡华润上华科技有限公司。作为华润集团旗下的华润微电子有限公司的分公司之一，我们公司是8寸半导体芯片生产企业，年产2万片芯片。作为一名扩散部炉管科的工艺工程师，我们的职责就是解决在线异常问题，培训一线员工正确操作，提高产品的质量、稳定性和良率，改进工艺，降低生产成本，提高设备使用率，提高产能。一眨眼，一年的见习期转瞬即逝。在这近一年里我深刻体会到了作为一名工艺工程师的艰辛和快乐，以下是我见习期工作小结。

一、保持良好的心态、努力提高自身各方面能力。

每个企业都有自己的企业文化，为了让我们尽快融入华润这个大家庭，华润集团组织新员工参加未来之星训练营，使我们了解企业的发展历史，企业的宗旨和目标；组织军训，锻炼我们的纪律性和韧性；邀请成功人士和学者现身说法，使我们保持良好的心态，规划自己的未来，寻找成功的方法，克服不良的习惯，教会我们合理分配时间和安排工作。训练营的所见所闻，改变了我，使我在日常的工作中受益匪浅。在工作中，我时刻提醒自己要保持良好的心态，不抱怨，积极主动的去解决问题；虚心学习，勤做笔记，经常总结，不断提高自身各方面的能力。

二、虚心学习，进益求精

工作中，各个师傅倾囊相授，把自己几十年的经验悉心传授，教我要胆大心细，精益求精。为防止出差错，我做过的事情，自己会检查，师傅们也都会再检查一遍，即使他们自己做的事，他们也会让其他人帮忙检查，切实落实了自检和互检制度。别的部门出现的错误，我们也会检查我们是否有相似的问题，然后制定措施进行整改。例如之前有个部门因为之前设置的报警限值在修改工艺菜单后失效，导致公司损失很大。我们领导就组织大家检查每个工艺的菜单，根据实际

情况重新设定每个工艺的报警限值，这个工作一下持续了将近半个月。正是因为大家的精益求精，我们部门年终获得公司的质量明星奖。在大家的影响下，我也养成了自查和互查的习惯，工作中精益求精，我相信这个习惯会使我受益终生。

二、舍得吃苦，努力才会有收获

我们公司是24h不间断生产，生产不停，我们工艺工程师也得24h值班，因此要值夜班。刚开始跟着师傅上夜班，有点不适应，后来在同事的帮助下，我很快就适应了上夜班。刚来时感觉什么都不会，就当师傅的跟班。生产线上生产任务重，每个人的工作量都比较大，在净化间里，师傅走的很快，我几乎是一路小跑，就这样还跟丢了好几次。刚开始师傅让学习的东西，我都不知道为什么要学习，到后来我会主动去寻找相关的资料去学习，我知道我已经认清自己的工作了。在这一年里，我从最初的跟班开始，到现在能够独挡一面，离不开各位师傅的悉心教导，也离不开领导的关怀和指点。我自身各方面都还有很大的不足，需要改进和学习的地方还很多，我现在需要做的就是多做事，不论大事小事，每多做一件事情必然会多学到一些知识，必然会积累经验。只有付出，才会有收获，只有学习才会进步。

三、放低姿态，协调好各方面的关系。

生产线上的每个工作都是必不可少的，都会受前段工序的影响，也会影响下端工序的进度。在半导体芯片生产企业，由于产品种类很多，每批产品的工序都不一样，因此接触的部门也不一样。我们需要和公司各个部门打交道。只有沟通良好，才能保证工作的顺利进行。刚开始我觉得工作各有分工，大家各尽其责。但工作中，我发现，即使是同一件事，不同的人协调，效果就不一样。有的人说话很有执行力，有的人说话别人却当耳旁风。我发现你想让别人尽快完成你吩咐的事情，你就要有权威或彼此关系融洽。因此在工作上，我就放低姿态，虚心向大家学习，偶尔请大家喝饮料或聊聊天，尽量协调好各方

面的关系。

四、奋发图强，努力提高自我。

在过去的一年中，在领导的关怀和同事们的支持与帮助下，经过不断努力，我现在能够独挡一面，但是仍存在着一些不足，在今后的工作中，自己要加强学习、克服缺点，力争使自己的专业技术水平能够不断提高。同时我清楚地认识到，为适应新的发展形势，我还要不断地加强理论学习，尤其是新技术、新理论的学习，勤奋工作，在实际工作中锻炼和成长，不断积累工作经验，提高业务能力和工作水平，为公司的发展做出自己新的、更大的贡献。

六、致谢。

我能适应当前的工作，并能取得不断的进步，是和各位领导和各位师傅无私的帮助和关怀分不开的，在此表示感谢。感谢各位领导，辅导我做好工作规划；感谢各位师傅，教会我各种工作方法和解决工作中的各种难题。