集成电路典型工艺流程

第一篇：集成电路典型工艺流程

集成电路典型工艺流程

（1）晶圆

晶圆（Wafer）的生产由二氧化硅开始，经电弧炉提炼还原成冶炼级的硅，再经盐酸氯化，产生三氯化硅，经蒸馏纯化后，通过慢速分解过程，制成棒状或粒状的“多晶硅”。一般晶圆制造厂，将多晶硅熔化后，再利用“籽晶”慢慢拉出单晶硅棒。经研磨、拋光、切片后，即成为集成电路芯片生产的原料—晶圆片。

（2）光刻

光刻是在光刻胶上经过曝光和显影的工序，把掩模版上的图形转换到光刻胶下面的薄膜层或硅晶上。光刻主要包含了匀胶、烘烤、光罩对准、曝光和显影等工序。由于光学上的需要，这段工序的照明采用偏黄色的可见光，因此俗称此区域为黄光区。

（3）干法刻蚀

在半导体工艺中，刻蚀被用来将某种材质自晶圆表面上除去。干法刻蚀是目前最常用的刻蚀方式，以气体作为主要的刻蚀媒介，并凭借等离子体能量来驱动反应。

（4）化学气相淀积（Chemical Vapor Deposition，CVD）

化学气相淀积是制造微电子器件时用来淀积出某种薄膜（film）的技术，所淀积出的薄膜可能是介电材料（绝缘体，dielectrics）、导体或半导体。

（5）物理气相淀积（Physical Vapor Deposition，PVD）

物理气相淀积主要包括蒸发和溅射。如其名称所示，物理气相淀积主要是一种物理变化的工艺而非化学工艺。这种技术一般使用氩气等惰性气体，凭借在高真空中將氩离子加速以撞击靶材后，可将靶材原子一个个溅射出来，并使被溅射出来的材质（通常为铝、钛或其合金）淀积在晶圆表面。反应室內部的高温与高真空环境，可使这些金属原子结成晶粒，再通过光刻与刻蚀，来得到所要的导电电路。

（6）氧化

利用热氧化法生长一层二氧化硅薄膜，目的是为了降低后续淀积氮化硅薄膜时产生的应力（stress），氮化硅具有很强的应力，会影响晶圆表面的结构，因此在这一层氮化硅及硅晶圆之间，生长一层二氧化硅薄膜来减缓氮化硅与规晶圆间的应力。

（7）离子注入

离子注入工艺可将掺杂物质以离子形式注入半导体元件的特定区域上，以获得精确的电特性。這些离子必须先被加速至具有足够能量与速度，以穿透薄膜，到达预定的注入深度。离子注入工艺可对注入区內的掺杂浓度加以精密控制。基本上，此掺杂浓度由离子束电流与扫描率来控制，而离子注入的深度则由离子束能量之大小来决定。

（8）化学机械抛光（Chemical Mechanical PolishingCMP）

化学机械抛光兼其有抛光性物质的机械式研磨与酸碱溶液的化学式研磨两种作用，可以使晶圆表面达到全面性的平坦化，以利后续薄膜淀积工序的进行。

第二篇：污水处理典型工艺流程

来源：中国污水处理工程网

氧化沟工艺：

中水回用处理典型工艺流程：

来源：中国污水处理工程网

垃圾渗滤液典型工艺流程：

城市污水回用处理工艺：

来源：中国污水处理工程网

钢铁乳化液处理典型工艺流程：

第三篇：卷烟厂典型工艺流程和配置

卷烟厂典型工艺流程和配置

制丝线

制丝线一般包括：叶片线、白肋烟处理线、梗线、切丝 线、烘丝线、切梗丝线、梗丝膨胀线、掺配加香线、储丝 柜等几个工艺段。

制丝线设备主要种类包括：筒类、皮带输送机、震动输送

机、储柜、定量喂料系统等。

其一般运行原理是：使用储仓来缓冲、储备物料；通过提升机提取物料，其速度受定量管内物料高度的控制；而定量管能够使物料流成为较规则的形状，以提高皮带秤的测量精度；最后，电子皮带秤通过物料流量或皮带速度来控制物料的计量。

叶片线：叶片线由开包机、切片机、松散筒、异物剔除 机、润叶筒等部件组成，经叶片线处理后的物料变得柔 软、湿润，可大大提高物料的可加工性。

白肋烟处理线：主要设备由白肋烟储柜、加料机、烘培 机、电子皮带秤、加料筒组成。经白肋烟处理线处理后的白肋烟会被送入储柜进行混合、浸润、储存，然后与烤烟 叶片掺配、储存后进行切丝处理。

梗处理线：梗处理线由翻箱喂料机、提升喂料机、异物剔

除机、加湿筒(润梗筒)、储梗柜等组成。

切丝/切梗丝线：切丝/切梗丝线由切丝机、仓储喂料机、定量管、电子皮带秤、压梗机、切梗丝机等组成。

烘丝线/梗丝膨化塔：通过HT(HEATED TUNNEL)—加热通道、烘丝机/梗丝膨化塔等部件，使烟丝膨胀而变得柔 韧而有弹性。

配比加香线：通过冷却风机、储柜、翻箱喂料机、提升喂

料机、配比皮带秤、加香机和储丝柜等部件，将叶丝、膨胀 后的梗丝、薄片丝、膨胀后的叶丝及卷包车间回收的烟丝 按设定的比例掺配、加香。

二氧化碳膨胀烟丝线

烟草膨胀技术的研究始于60年代末，70年代开始应用于生产，在国际卷烟工业获得广泛应用。二氧化碳(CO2)烟丝膨胀技术是美国菲利浦·莫里斯(PM)烟草公司与阿尔考(AIRC0)公司于70年代联合研制的，目前应用最为普遍的CO2膨胀烟丝技术有BOC和BAT两种模式。

我国自1988年开始引进此项技术，1991年首先在上海、宁

波两家烟厂投入使用，随后广

一、张家口、武汉、深圳、蚌 埠五家烟厂引进，现在全国有30多条生产线，BOC和BAT 模式的均有。秦皇岛烟机厂引进并消化了两种技术，其中 BOC占2／3，BAT占1／3。

诰硌膛浞街胁粲门蛘脱趟浚坏梢约跎傺趟坑昧浚?时由于烟丝细胞组织“蓬松”而使燃烧性能得到改善，并 能减少卷烟烟气中焦油等有害成分。

CO2烟丝膨胀工艺流程：叶片烟经过开箱与计量、切片、松 散回潮、配叶贮叶、切丝、增温增湿和贮丝后被定

量送入 浸渍器中，利用液态CO2浸渍烟丝 ；将含有干冰的烟丝从 罐中卸出松散，并流量均匀地送入以过热蒸汽为干燥介质 的高温气流输送膨胀系统，烟丝内的CO2快速汽化和升华, 烟丝内的水分也被汽化和升华，烟丝细胞得到膨胀。膨胀后的烟丝经切向分离器与工艺气体分离，冷却至常温后, 通过回潮使其含水率达到工艺要求。

CO2膨胀烟丝线包括四大部分：烟丝制备段，冷端设备, 热端设备和回潮段。其中浸渍装置、升华装置和回潮机是 CO2膨胀烟丝的主机部分。

烟丝制备段：主要设备包括仓式喂料机、皮带秤、双速输 送皮带(布料带)、往复输送机。

·仓式喂料机与皮带秤组成恒流量控制系统，以提高布料 的均匀性

·双速输送皮带：由变频器控制，以低速度布料、高速度 供料

·往复输送机：通过接收供料信号往复输送物料

冷端设备：冷端设备主要包括浸渍器(液压站系统)、工艺 罐、工艺泵、高压回收罐、低压回收罐、高压压缩机、低 压压缩机、回收制冷机组、补偿泵、贮罐(传输泵)、停机 制冷机组。冷端设备所处理的介质主要为低温、高压的二氧化碳液体和气体。

·浸渍器单元：主要包括浸渍器和安全装置，浸渍器是整条线的核心设备之一，它的主要作用是完成CO2对烟丝的浸渍

工艺罐：用于储存和向浸渍器提供工艺用CO2液体和气体

高压回收罐：用于在浸渍过程中，对浸渍器吹除和一次 增压，回收浸渍器内高压的CO2气体和由低压回收罐经 低压压缩机压缩后的CO2气体

低压回收罐：回收浸渍器内高压回收后剩余的低压CO2,再经低压压缩机升压送入高压回收罐

低压压缩机：用于对低压回收罐内CO2气体进行压缩并 送入高压回收罐

高压压缩机：用于对高压回收罐内CO2气体进行压缩并 送入工艺罐，循环使用

制冷机组：用于对进入冷凝器的经高压压缩机压缩的CO2 气体进行冷却，使之成为CO2液体，被冷凝CO2液体 根据工艺控制需要，定时排入工艺罐

工艺泵：将工艺罐内的CO2液体迅速泵入浸渍器

储罐单元：用于贮存和供给工艺所必需的液态CO2，贮 罐的CO2液体由槽车提供

热端设备：热端设备包括传输槽、开松器、振动柜、计量 带、进料空气锁、升华器(工艺风机、废气风机)、切向分 离器、出料空气锁、燃烧炉(加热器、预热器)、冷却振动 输送机、冷却皮带输送机。热端设备工作温度较高，一般 均在300℃以上。

传输槽：用于接送从浸渍器卸下的-78℃的干冰烟丝，烟 丝经浸渍后通过传输槽进入开松器

开

松器：用于将传输槽落下的干冰烟丝打散，再落入振动柜

振动柜：接收来

自开松器的干冰烟丝，贮存并通过振动 体将烟丝通过限量管均匀送入计量带

计量带：由机架、输送槽体、传动装置和出料斗等组成，在输送皮带的上方设有光电管来检测物料的情况

进料空气锁：主要由箱体、转子、传动装置三部分组成, 其作用是当干冰烟丝通过时，能阻止空气通过，以免过 量空气进入升华器

升华器：由工艺风机、废气风机、升华管路、主工艺气 体管路、冷风旁路、废气管路、蒸汽系统等部分组成, 是CO2膨胀烟丝生产线热端的关键设备，主要完成对干 冰烟丝的升华，促使烟丝膨胀，并使工艺气体不断进入 燃烧炉再行加热循环使用

·切向分离器：用于将膨胀的烟丝与工艺气体分离

·出料空气锁：用于切向分离器分离出来的膨胀烟丝输出，并阻止空气不进入升华装置

·冷却振动输送机：接收出料空气锁落下的膨胀烟丝，散 热降温并均匀输送

·燃烧炉：为升华器中的高温工艺气体提供热量，并焚烧 生产线中的废气

·回潮段：用于对膨胀后的烟丝进行回潮降温处理，主要包 括：皮带秤、水分仪、回潮筒等设备。

·皮带秤：用于烟丝流量的测量，作为回潮筒加水、加香 的基础数据

·水分仪：用于烟丝水分的测量，其测得的数据作为反馈 信号，用来控制回潮筒加水量

·回潮筒：内装有喷淋装置，有些二氧化碳膨胀线在该筒 还装有加香加料装置，水分5%~10%左右的膨胀烟丝经

过充分回潮，含水率达13%±0.5%，即为成品膨胀烟丝

卷烟生产的物流系统

卷烟生产的物流主要包括：原料物流、辅料物流、成品物 流三部分。

原料物流系统

完成将卷烟生产使用的原料(把烟、片烟、烟梗)从进入工 厂到运送至制丝线生产现场的全过程的系统。包括原料供 应、原料储存、配方库、原料供给、剩料回收等几个过程。

·原料供应：将不同类型、不同品种的原料从运送的卡车卸下，并运送到原料储存仓库

·原料储存：包括登记原料信息并生成识别标签、原料运输与码放、储存、出库等工序

·配方库：配方库计算机管理系统接到排产单，根据排产

顺序，分别调用相应品牌产品的原料配方

·原料供给：当制丝线准备好后，发出供料申请信号，激光导引车则将原料从配方库送到相应地点等待加工

·剩料回收：有些原料在一个批次中无法使用整包，将剩余原料送回配方库暂存

辅料物流

辅料物流是将购进的卷烟辅料进行拆分后按比例重新打 包、储存、配送到各个机台的系统。该系统包括辅料供应、辅

料拆分与重新打包、辅料储存、辅料配送等几部分。

·辅料供应：将外购的辅料送至辅料拆分现场

·辅料拆分与重新打包：根据不同辅料的消耗量和包装规 格，拆分大包与重新包装

·辅料储存：将按生产需要，重新按比例组合好的辅料放入 高架仓库内储存

·辅料配送：根据 “辅料供给”请求信号配送辅料

成品物流

成品物流系统是将卷接包车间生产的箱装的成品烟进行分 捡、码垛、储存、配送的系统。该系统包括成品分捡、烟 箱码垛、托盘运输、成品储存、配送等几部分。

·成品分捡：通过对烟箱条形码扫描，将不同品牌规格的 成品烟分拣到不同的出口

·烟箱码垛：在烟箱输送轨道出口配有自动码垛机将烟箱 按设定数量码放在标准托盘上

·托盘运输：码放好成品烟箱的托盘，由激光导引小车运 送到成品烟仓库

·成品储存：对装有成品烟的托盘进行登记，生成识别标签并指定其存放位置

·成品配送：根据订单上需要的品牌，提取并修改托盘的识别标签，同时将烟箱通过轨道输送到装车地点

卷接包生产设备

卷烟厂的卷接包车间的设备分为：卷接机组、烟支输送与缓存设备、包装机组、烟丝回收设备、嘴棒输送设备等。

卷接机组：将成品烟丝送入卷烟机，并用盘纸将烟丝卷成烟条，再用水松纸将分切成要求长度的烟条和嘴棒接装成成品烟支的设备。卷接机组包括送丝、卷烟、接装等几部分。

烟支输送与缓存设备：是将卷接机组生产的烟支输送至包装机组、或暂时储存、或装盘储存的设备。整个系统包括 通道、装盘机、卸盘机、缓存设备等。

现代的卷接机组生产能力越来越大，1600支/分钟的设备已在一些烟厂使用，烟支缓存装置通过大容量的在线缓存 技术，保证了生产的连续性，是连接卷接机组和包装机组的桥梁。

包装机组：将烟支装入小盒，将小盒装入条盒，并在小盒、条盒外分别包上透明包装纸的设备。包装机组包括下 烟器、小盒包装机、小盒储存输送设备、条盒包装机等几部分。

·下烟器：将烟支梳理整齐，按顺序送入小盒包装机

·小盒包装机：该设备是包装机组最为复杂、工序最多、精度要求最高的部分。主要完成取定量烟支、缺支断支检测、空头监测、铝箔纸包装、硬盒/软盒包装、粘贴口花(软盒)、小透明纸包装工序的设备

·小盒储存

输送设备：是小盒包装机与条盒包装机之间的 连接部分，也是包装机组的缓冲装置

·条盒包装机：完成对每10小包进行一条包的包装，条盒外透明纸的包装过 程

烟丝回收设备：回收不合格烟支内烟丝的设备。基本工序包括烟支梳理(将烟支沿传输带纵向排放)，沿支剖切(沿烟 支轴向剖开盘纸)，筛分(将烟丝与其它杂物分离)，装箱(将回收的烟丝与其它杂物分别装箱)。回收的烟丝可送至 制丝线掺配段掺兑到低档烟丝内重新利用。

嘴棒输送设备：

·嘴棒输送设备:将嘴棒送入管道，并用风力把嘴棒快速送至卷烟机的设备

·嘴棒发射装置－将嘴棒依次送入嘴棒输送管道的设备,可向一台或多台卷烟机供应相同的嘴棒

·嘴棒接收装置－嘴棒接收装置与卷烟机相连，用于接收从嘴棒发射装置发 送来的嘴棒.

第四篇：药品生产典型工艺流程框图

常见药品生产典型工艺流程框图

药品生产对环境的洁净等级要求与药品的品种、剂型和生产特点有关。常见药品生产的典型工艺流程及环境区域划分如图1-1至图1-9。

粗品或浓缩液活性炭溶剂过 滤结 晶分 离干 燥过 筛混 合包 装入 库贮 存30万级区包装桶清 洁内包装材料清 理

图1-1 非无菌原料药精制、干燥、包装工艺流程框图及环境区域划分

抗生素浓缩液粗品活性炭溶剂玻璃瓶或铝瓶瓶塞纯水注射用水过 滤无菌过滤结 晶分 离喷雾干燥干 燥过 筛混 合装 瓶贴 签装 箱入 库粗 洗清 洗精 洗干燥灭菌冷 却过 滤过 滤10万级区1万级区纸箱标签100级区

图1-2 无菌原料药精制、干燥、包装工艺流程框图及环境区域划分

原辅料粉 碎粗 筛精 筛配 料30万级区崩解剂润湿剂其他包装容器润滑剂崩解剂湿 法干 燥包衣液粗 洗精 洗干 燥配 制包 衣整 粒总 混压 片冲模制 粒干 法直接法玻璃瓶消 毒冷 却分 装冷 却干 燥消 毒包 装入 库包装材料内包装材料

图1-3 片剂生产工艺流程框图及环境区域划分

原辅料粉 碎粗 筛精 筛配 料30万级区填充物制备如粉末,颗粒,小丸等空心胶囊消 毒装 囊内包装材料消 毒包 装外包装材料外包装入 库

图1-4 硬胶囊剂生产工艺流程框图及环境区域划分

原辅料填充泵楔形注入器注入胶 带旋转模润滑油胶浆涂 胶模 压胶 带旋转模胶皮回收废油液切 离胶囊清洗定 型干 燥10万级区质 检包 装入 库图1-5 压制法软胶囊剂生产工艺流程框图及环境区域划分

饮用水安瓿原辅料离子交换切 割过 滤粗 洗配 制粗 滤纯化水蒸 馏过 滤精 洗干燥灭菌冷 却精 滤注射用水灌 装封 口灭菌、检漏印 字纸箱10万级区包装1万级区入 库

图1-6 可灭菌小容量注射剂生产工艺流程框图及环境区域划分

纸盒

饮用水胶塞隔离膜输液瓶原辅料离子交换酸碱处理粗 洗乙醇浸泡瓶外清洗清洁剂清洗称 量浓 配过 滤稀 配粗 滤精 滤纯水化煮 沸过 滤蒸 馏清 洗清 洗清 洗粗 洗清 洗注射用水精 洗过 滤精 洗精 洗灌 装放 膜上 塞翻 塞30万级区1万级区10万级区铝盖100级区扎 口纸箱标签灭菌灯 检加 盖入 库包 装贴 签

图1-7 可灭菌大容量注射剂生产工艺流程框图及环境区域划分 冻干用原料分装用原料玻璃瓶胶塞擦洗消毒配 料擦洗消毒洗 瓶酸碱处理饮用水洗纯化水洗干燥灭菌无菌过滤灌 装冻 干加 塞轧 盖检 查冷 却分 装轧 盖注射用水洗硅 化干燥灭菌灭 菌铝盖10万级区1万级区100级区纸箱目 检封 蜡白蜡纸盖入 库装 箱装 盒贴 签标签

图1-8 注射用无菌分装产品生产工艺流程框图及环境区域划分 胶塞非无菌原料药西林瓶酸碱处理饮用水洗纯化水洗注射用水洗溶解配制灭菌过滤洗 瓶干燥灭菌冷 却A法 B法定量灌装硅 化胶塞塞半干燥灭菌冷冻干燥冷 却胶塞全压塞铝盖轧 盖托盘注入冷冻干燥粉碎过筛分装到容器密 封10万级区生物洁净室A：管制抗生素玻璃瓶冻结法B：托盘冻结法检 查包 装入 库包装材料

图1-9 注射用冷冻干燥制品生产工艺流程框图及环境区域划分

第五篇：MBR处理粪便污水的典型工艺流程

MBR处理粪便污水的典型工艺流程有5种。他们分别为高效生物反硝化-超滤，高负荷反硝化-超滤，高负荷活性污泥-超滤，活性污泥-超滤以及高效沼气发酵-超滤。

高效生物反硝化-超滤

高效生物反硝化-超滤MBR工艺流程根据小反应池位置不同有两种工艺(参见图1)。粪便的前处理用粗网和细网去除纤维和粗大固体颗粒,生物反硝化单元包括两个反应池,主反应池中用来去除大部分BOD5和N,并加入甲醇加强除氮功能,小反应池利用反硝化菌的内源呼吸进一步去除N。好氧和厌氧段由计算机根据氧化-还原电位(oxidation reduction potential,ORP)、溶解氧(DO)情况调节供氧量,处理水的深度处理包括凝聚超滤、活性炭吸附和消毒。

高负荷反硝化-超滤

高负荷反硝化-超滤MBR工艺流程(参见图2)。入水经粉碎、絮凝-筛网后进入生物反应池,与工艺1、2不同,生物反应池只有一个,采用间歇曝气方式除去总氮,生物处理出水经深度处理后排放。

高负荷活性污泥-超滤

日本静冈的粪便处理厂采用高负荷活性污泥-超滤的MBR 处理粪便和化粪池的污泥,处理量是160m3/d ,污水中含BOD和T-N总量分别是1199kg/d 和356kg/d。其处理工艺较复杂,处理流程参见图3。生物反应分为两个阶段:第一阶段生物反应包括厌氧/好氧两个反应池,污水经格栅前处理,进入第一阶段生物反应器,处理出水经膜过滤,膜过滤液进入第二阶段生物反应器,浓缩液回到第一阶段的厌氧反应器;第二阶段反应池处理第一阶段反应的膜过滤液和厂中的低浓度污水,第二阶段处理出水经包括凝聚超滤、活性炭吸附和消毒的深度处理,系统中产生污泥脱水后焚烧。

活性污泥-超滤

上述3种工艺流程均是日本粪便污水处理厂的工程实例,活性污泥-超滤MBR 是国内河海大学实验规模的工艺流程(如图4 所示),与上述流程相比,较为简单。粪便污水经稀释后储存在调节池中,然后气提至曝气池,再进入浸没式MBR ,粪便污水中有机污染物被微生物降解,处理水由负压抽吸经膜过滤后出水。

高效沼气发酵-超滤

此流程是日本中试规模的试验流程(参见图5),处理量为0.5m3/d ,粪便经筛网过滤处理,一部分进入沼气发酵反应器,另一部分经过膜分离,分离浓缩液进入沼气发酵反应器,透过液与沼气发酵反应器的超滤出水进入UASB 沼气发酵反应器,反应后的混合液进入沉淀池进行泥水分离,澄清水排出系统,该工艺的前半部分可看作是MBR法。

操作参数

处理效果