史上最全的半导体材料工艺设备汇总

第一篇：史上最全的半导体材料工艺设备汇总

小编为您解读半导体生产过程中的主要设备概况。

1、单晶炉

设备名称：单晶炉。

设备功能：熔融半导体材料，拉单晶，为后续半导体器件制造，提供单晶体的半导体晶坯。主要企业（品牌）：

国际：德国PVA TePla AG公司、日本Ferrotec公司、美国QUANTUM DESIGN公司、德国Gero公司、美国KAYEX公司。

国内：北京京运通、七星华创、北京京仪世纪、河北晶龙阳光、西安理工晶科、常州华盛天龙、上海汉虹、西安华德、中国电子科技集团第四十八所、上海申和热磁、上虞晶盛、晋江耐特克、宁夏晶阳、常州江南、合肥科晶材料技术有限公司、沈阳科仪公司。

2、气相外延炉

设备名称：气相外延炉。

设备功能：为气相外延生长提供特定的工艺环境，实现在单晶上，生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体，为单晶沉底实现功能化做基础准备。气相外延即化学气相沉积的一种特殊工艺，其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续，而且与衬底的晶向保持对应的关系。主要企业（品牌）：

国际：美国CVD Equipment公司、美国GT公司、法国Soitec公司、法国AS公司、美国ProtoFlex公司、美国科特·莱思科（Kurt J.Lesker）公司、美国Applied Materials公司。

国内：中国电子科技集团第四十八所、青岛赛瑞达、合肥科晶材料技术有限公司、北京金盛微纳、济南力冠电子科技有限公司。

3、分子束外延系统（MBE，Molecular Beam Epitaxy System）

设备名称：分子束外延系统。

设备功能：分子束外延系统，提供在沉底表面按特定生长薄膜的工艺设备；分子束外延工艺，是一种制备单晶薄膜的技术，它是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜。主要企业（品牌）：

国际：法国Riber公司、美国Veeco公司、芬兰DCA Instruments公司、美国SVTAssociates公司、美国NBM公司、德国Omicron公司、德国MBE-Komponenten公司、英国Oxford Applied Research（OAR）公司。国内：沈阳中科仪器、北京汇德信科技有限公司、绍兴匡泰仪器设备有限公司、沈阳科友真空技术有限公司。

4、氧化炉（VDF）

设备名称：氧化炉。

设备功能：为半导体材料进行氧化处理，提供要求的氧化氛围，实现半导体预期设计的氧化处理过程，是半导体加工过程的不可缺少的一个环节。主要企业（品牌）：

国际：英国Thermco公司、德国Centrothermthermal solutions GmbH Co.KG公司。

国内：北京七星华创、青岛福润德、中国电子科技集团第四十八所、青岛旭光仪表设备有限公司、中国电子科技集团第四十五所。

5、低压化学气相淀积系统（LPCVD，Low Pressure Chemical Vapor Deposition System）

设备名称：低压化学气相淀积系统

设备功能：把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入LPCVD设备的反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜。主要企业（品牌）：

国际：日本日立国际电气公司、国内：上海驰舰半导体科技有限公司、中国电子科技集团第四十八所、中国电子科技集团第四十五所、北京仪器厂、上海机械厂。

6、等离子体增强化学气相淀积系统（PECVD，Plasma Enhanced CVD）

设备名称：等离子体增强化学气相淀积系统

设备功能：在沉积室利用辉光放电，使其电离后在衬底上进行化学反应，沉积半导体薄膜材料。主要企业（品牌）：

国际：美国Proto Flex公司、日本Tokki公司、日本岛津公司、美国泛林半导体（Lam Research）公司、荷兰ASM国际公司。

国内：中国电子科技集团第四十五所、北京仪器厂、上海机械厂。

7、磁控溅射台（MagnetronSputter Apparatus）

设备名称：磁控溅射台。

设备功能：通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场，和靶表面上形成的正交电磁场，把二次电子束缚在靶表面特定区域，实现高离子密度和高能量的电离，把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。

主要企业（品牌）：

国际：美国PVD公司、美国Vaportech公司、美国AMAT公司、荷兰Hauzer公司、英国Teer公司、瑞士Platit公司、瑞士Balzers公司、德国Cemecon公司。

国内：北京仪器厂、沈阳中科仪器、成都南光实业股份有限公司、中国电子科技集团第四十八所、科睿设备有限公司、上海机械厂。

8、化学机械抛光机（CMP，Chemical Mechanical Planarization）

设备名称：化学机械抛光机

设备功能：通过机械研磨和化学液体溶解“腐蚀”的综合作用，对被研磨体（半导体）进行研磨抛光。主要企业（品牌）：

国际：美国Applied Materials公司、美国诺发系统公司、美国Rtec公司、。国内：兰州兰新高科技产业股份有限公司、爱立特微电子。

9、光刻机（Stepper，Scanner）

设备名称：光刻机。

设备功能：在半导体基材上（硅片）表面匀胶，将掩模版上的图形转移光刻胶上，把器件或电路结构临时“复制”到硅片上。主要企业（品牌）： 国际：荷兰阿斯麦（ASML）公司、美国泛林半导体公司、日本尼康公司、日本Canon公司、美国ABM公司、德国德国SUSS公司、美国MYCRO公司。

国内：中国电子科技集团第四十八所、中国电子科技集团第四十五所、上海机械厂、成都南光实业股份有限公司。

10、反应离子刻蚀系统（RIE，Reactive Ion Etch System）

设备名称：反应离子刻蚀系统。

设备功能：。平板电极间施加高频电压，产生数百微米厚的离子层，放入式样，离子高速撞击式样，实现化学反应刻蚀和物理撞击，实现半导体的加工成型。主要企业（品牌）：

国际：日本Evatech公司、美国NANOMASTER公司、新加坡REC公司、韩国JuSung公司、韩国TES公司。国内：北京仪器厂、北京七星华创电子有限公司、成都南光实业股份有限公司、中国电子科技集团第四十八所。

11、ICP等离子体刻蚀系统（ICP, Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching System）

设备名称：ICP等离子体刻蚀系统。

设备功能：一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中，在外部能量作用下（如射频、微波等）形成等离子体，一方面等离子体中的活性基团与待刻蚀表面材料发生化学反应，生成可挥发产物；另一方面等离子体中的离子在偏压的作用下被引导和加速，实现对待刻蚀表面进行定向的腐蚀和加速腐蚀。主要企业（品牌）：

国际：英国牛津仪器公司、美国Torr公司、美国Gatan公司、英国Quorum公司、美国利曼公司、美国Pelco公司。

国内：北京仪器厂、北京七星华创电子有限公司、中国电子科技集团第四十八所、戈德尔等离子科技（香港）控股有限公司、中国科学院微电子研究所、北方微电子、北京东方中科集成科技股份有限公司、北京创世威纳科技。

12、离子注入机（IBI，Ion Beam Implanting）

设备名称：离子注入机。

设备功能：对半导体表面附近区域进行掺杂。主要企业（品牌）：

国际：美国维利安半导体设备公司、美国CHA公司、美国AMAT公司、Varian半导体制造设备公司（被AMAT收购）。

国内：北京仪器厂、中国电子科技集团第四十八所、成都南光实业股份有限公司、沈阳方基轻工机械有限公司、上海硅拓微电子有限公司。

13、探针测试台（VPT，Wafer prober Test）

设备名称：探针测试台。

设备功能：通过探针与半导体器件的pad接触，进行电学测试，检测半导体的性能指标是否符合设计性能要求。

主要企业（品牌）：

国际：德国Ingun公司、美国QA公司、美国MicroXact公司、韩国Ecopia公司、韩国Leeno公司。国内：中国电子科技集团第四十五所、北京七星华创电子有限公司、瑞柯仪器、华荣集团、深圳市森美协尔科技。

14、晶片减薄机（Back-sideGrinding）

设备名称：晶片减薄机。

设备功能：通过抛磨，把晶片厚度减薄。主要企业（品牌）：

国际：日本DISCO公司、德国G&N公司、日本OKAMOTO公司、以色列Camtek公司。

国内：兰州兰新高科技产业股份有限公司、深圳方达研磨设备制造有限公司、深圳市金实力精密研磨机器制造有限公司、炜安达研磨设备有限公司、深圳市华年风科技有限公司。

15、晶圆划片机（DS，Die Sawwing）

设备名称：晶圆划片机。

设备功能：把晶圆，切割成小片的Die。主要企业（品牌）：

国际：德国OEG公司、日本DISCO公司。

国内：中国电子科技集团第四十五所、北京科创源光电技术有限公司、沈阳仪器仪表工艺研究所、西北机器有限公司（原国营西北机械厂709厂）、汇盛电子电子机械设备公司、兰州兰新高科技产业股份有限公司、大族激光、深圳市红宝石激光设备有限公司、武汉三工、珠海莱联光电、珠海粤茂科技。

16、引线键合机（Wire Bonder）

设备名称：引线键合机。

设备功能：把半导体芯片上的Pad与管脚上的Pad，用导电金属线（金丝）链接起来。主要企业（品牌）：

国际：美国奥泰公司、德国TPT公司、奥地利奥地利FK公司、马来西亚友尼森（UNISEM）公司。

国内：中国电子科技集团第四十五所、北京创世杰科技发展有限公司、宇芯（成都）集成电路封装测试有限公司（马来西亚友尼森投资）、深圳市开玖自动化设备有限公司。

第二篇：工艺设备管理制度

工艺设备管理制度

工艺设备管理制度1

第一章总则

第一条为确保油田公司生产区域内工艺和设备变符合hse管理要求,根据中国石油天然气集团公司《工艺和设备变更管理规范》q/sy1237-20xx的要求,特制定本办法。

第二条本管理办法适用于油田公司各单位生产运行、检维修、开停工、技改技措等过程中发生的工艺和设备变更管理。新、改、扩建项目实施过程中的变更管理参照本管理办法执行。

第二章职责

第三条安全环保处组织制定、管理和维护本办法。

第四条各单位组织推行、实施办法。根据本办法制定、管理和维护本单位的工艺和设备变更管理,相关职能部门具体负责本程序的执行,并提供咨询、支持、监督、培训、审核,对变更管理办法提出改进建议。

第五条员工接受工艺和设备变更管理培训,参加工艺和设备变更实施活动,执行变更管理程序,并提出改进建议。

第三章变更类型

第六条同类替换:符合原设计规格的更换。

第七条微小变更:指用现有设计书中的备选工艺与设备或在设计允许的范围内进行变更,影响较小或没有影响,不造成任何工艺参数、设计参数等的改变,但又不是同类替换的变更,即“在现有设计范围内的改变”。

第八条工艺设备变更:指涉及工艺技术、工艺流程、设备设施、工艺参数等超出现有设计范围的改变(如压力等级改变、压力报警值改变等)。

第九条变更应按其内容和影响进行分类,并实施分类管理,工艺设备变更和微小变更的管理执行变更管理流程参见附录a。同类替换不执行变更管理流程,同类替换范例见附录b。

第四章变更内容

第十条本管理办法所涉及的工艺和设备变更,主要包括以下内容:

(一)生产能力改变；

(二)物料改变(包括成分和比例的改变)

(三)工艺参数改变；

(四)工艺、设备设计依据改变；

(五)工艺过程控制系统、控制指标改变；

(六)应用软件改变；

(七)设备、设施负荷改变；

(八)设备和工具改变；

(九)安全报警设定值改变；

(十)仪表仪器控制系统改变；

(十一)安全装置及安全附件改变；

(十二)非正常(或临时性的)维修；

(十三)操作规程改变；

(十四)设备、原材料供货商改变；

(十五)装置布局改变；

(十六)产品质量改变；

(十七)设计和安装过程改变；

(十八)其他改变。

第五章变更申请

第十一条根据需要判断更换类型、影响因素和影响范围等方面,提出变更申请,按变更类型做好实施变更前的准备工作,提出变更申请。微小变更申请审批表参见附录c,工艺设备变更申请审批表参见附录d。

第十二条变更申请审批内容:

(一)变更目的；

(二)变更涉及的相关技术资料；

(三)变更内容；

(四)健康安全环境影响(确认是否需要工艺危害分析,如需要,应提交符合工艺危害分析管理要求且经批准的工艺危害分析报告)；

(五)涉及操作规程修改的,审批时应提交修改后的操作规程；

(六)对人员培训和沟通的要求；

(七)变更的`限制条件(如时间期限、空间大小和物料数量)等；

(八)强制性批准和授权要求。

第十三条申请变更前应进行工艺设备变更过程的风险评估。对存在的安全健康和环境风险和影响,申请变更时应制定合理可控的风险消减方案。

第十四条应考虑健康安全环境影响,确认是否进行工艺危害分析,对需要做工艺危害分析的,在申请变更时应提交符合工艺危害分析管理要求且经过批准的工艺危害分析报告。

第十五条根据变更类型,必要时对变更进行技术可行性分析。

第六章变更审批和许可

第十六条工艺和设备变更实施分级管理,各单位根据变更影响范围的大小及所需调配资源的多少,决定变更审批权限。在满足所有相关工艺安全管理要求的情况下,批准人或授权批准人方能批准。

第十七条各单位在依据本办法制定工艺和设备变更管理程序时,基于本单位生产条件和实际需求而不能完全按照设计标准执行时,应上报公司主管部门,在得到公司许可后按要求执行。

第十八条许可的内容应书面记载,每次许可的时间不能超过一年,期满后如果没有继续办理许可,则应按照管理办法要求执行。

第七章变更实施

第十九条变更应严格按照变更审批确定的内容和范围实施,并对变更过程实施跟踪。

第二十条变更实施若涉及作业许可,应办理作业许可证,具体执行《长庆油田分公司作业许可管理办法》。

第二十一条变更实施若涉及启动前安全检查,具体执行《长庆油田分公司启动前安全检查管理办法》。

第二十二条按照工艺、安全信息管理的相关要求执行变更操作,确保变更涉及的所有工艺、安全相关资料以及操作规程都得到审查、审批、修改和更新。

第八章变更结束

第二十三条变更结束后,应对变更是否符合规定内容、是否达到预期目的进行验证,提交工艺设备变更结项报告。

第二十四条变更实施完成后,应完成以下工作:

(一)所有与变更相关的工艺技术信息应得到更新；

(二)标明了需要实施变更时间段的变更,变更期满后应恢复到变更前的状态；

(三)变更实施后的连续试验记录；

(四)分析和确认变更结果。

第九章变更培训

第二十五条完成变更的工艺、设备在运行前,应对变更影响或涉及到的人员进行培训或沟通。

第二十六条必要时制定培训计划,确定培训内容,培训内容主要包括变更目的、作用、程序、变更中可能的风险和影响,以及同类事故案例。

第二十七条接受培训的人员包括:负责变更区域内工艺和设备日常运行的工作人员；负责变更区域内工艺和设备的维护、检查、维修人员；变更区域相邻流程的工作人员；实施变更人员；承包商临时或短期到变更区域内进行测试或试验人员；其他相关人员。

第十章文件归档

第二十八条变更过程中涉及到的典型的工作文件、记录包括变更管理程序、变更申请审批表、风险评估记录、变更登记表以及工艺设备变更结项报告等,在变更结束后应由工艺和设备变更主管部门整理归档。

第十一章附则

第二十九条本办法由安全环保处负责解释。

第三十条本办法自印发之日起施行。

工艺设备管理制度2

1目的

本标准规定了工艺设备投运前安全审查(pssr)(工艺安全管理的重要要素之一)的实施、职责和管理要求。审查目的是在工艺设备投运之前确定和提出所有影响工艺设备安全运行的因素,并确保:

a)工艺设备按照设计的要求建设安装；

b)所有保证工艺设备安全运行的程序准备就绪；

c)操作与维护工艺设备的人员得到足够的培训；

d)必要的工艺设备安全信息得到更新；

e)所有工艺安全分析提出的改进建议得到落实和合理的解决。

2范围

本标准适用于:

a)新、改、扩建的工艺设施设备；

b)重大工艺设备变更项目；

c)工艺设备的停产检修。

3定义

3.1重大工艺变更项目

对工艺设备同时进行多项硬件上的变更、更新与装配,引起工艺安全信息变化的项目。重大工艺变更项目往往是需要部分或全部停产才能进行的项目或固定资产投资项目。

3.2投运前解决项目(即:必改项)

在做投运前安全审查时发现的,可能在工艺设备投运过程中或之后引起严重危害、影响操作和维护安全,风险级别属ⅰ级和ⅱ级(参见工艺安全分析管理标准),且必须在投运之前解决的缺陷。

3.3投运后解决项目(即:遗留项)

在做投运前安全审查时发现的,不影响工艺设备投运安全,风险级别属iii级和iv级并已经采取监控措施,可以在投运后解决的缺陷。

3.4区域负责人

区域负责人是指由油田公司或各单位指定,对要投运工艺设备的生产安全负责的管理人员。如,作业区经理、事业部生产经理等。

4职责

4.1区域负责人

1)组建投运前安全审查小组；

2)组织制定投运前安全审查清单；

3)落实投运前安全审查所需要的专业人员和资源；

4)保证所有员工接受关于投运前安全审查标准的培训；

5)主持投运前安全审查预审和审议会议；

6)审查所有必改项的解决方案；

7)在完成所有必改项后批准工艺设备的投运；

8)跟踪落实所有遗留项的完成。

4.2投运前安全审查小组组长

1)组织投运前安全审查的具体实施,对审查质量负责；

2)安排投运前安全审查小组成员的任务与进度；

3)监督检查所有必改项的整改实施；

4)完成投运前安全审查所需要的文件记录。

4.3工艺安全管理协调员

根据项目实施的管理权限由事业部或油田公司指定该项目的工艺安全协调员。工艺安全管理协调员应具备以下条件:

1)通过工艺安全与风险管理培训；

2)通过工艺安全分析方法培训；

3)熟悉工艺安全分析方法；

4)通过工艺设备投运前安全审查培训者培训。

工艺安全管理协调员的职责:

1)协调与指导生产单位制定投运前安全审查清单；

2)组织进行投运前安全审查实施方法的培训；

3)保证投运前安全审查的`执行过程符合油田公司相关规定；

4) 整理投运前安全审查的有关文件并归档。

5管理要求

5.1符合本标准适用范围的所有项目必须进行投运前安全审查。

5.2投运前安全审查小组的成立

投运前安全审查小组组长应当分配各个组员在实施投运前安全审查过程中所负责的专项审查内容和职责。投运前安全审查小组至少应当由以下专业人员组成:

1)工艺技术；

2)设备管理；

3) hse管理；

4)工艺设备操作；

5)工艺设备维修；

6)电气仪表(必要时)。

如果本区域技术力量不能满足专项审查的需求,由区域负责人向上级主管部门申请专业人员支持。

5.3投运前安全审查小组应结合工艺设备的特点和工艺安全管理协调员一起制定一个综合的投运前安全审查清单(可在附录的安全审查清单的基础上增加内容)。审查清单至少应包括:

1)需要完成的工艺安全信息的更新项目；

2)确认工艺设备的建设与安装是否符合设计要求；

3)确认所有保证工艺设备投运与操作安全的程序已经准备就绪,并分发给相关人员,包括投运方案、操作、维修程序及安全规章；

4)确认已经对员工进行了投运方案、操作、维修程序及安全规章的培训；

5)确认必要的设备测试与检查项目、检查程序以及检查的频次符合要求；

6)确认所有其它必要的辅助系统已经就绪；

7)确认应急预案的符合性、针对性和有效性。

5.4投运前安全审查的计划

区域负责人和投运前安全审查小组应召集所有组员举行一个预审会议。预审会议内容包括:

1)安全审查组长应当向投运前安全审查小组介绍整个项目的概况；

2)审查并根据工艺设备的特点适当调整投运前安全审查清单的内容；

3)安全审查组长将任务分配给组员；

4)制定一个实施投运前安全审查的进度计划；

5)确定与工程设计、施工等相关方的协调机制。

5.5投运前安全审查的实施

投运前安全审查小组成员应当根据在预审会上确定的投运前安全审查清单对工艺设备进行逐项审查评估。

1)评估应包括必要的文件审查和现场检查；

2)应当将发现的缺陷形成书面的记录和综合报告；

3)为确保投运前安全审查的质量,应当根据项目的施工进度在完成80%设备安装之前就开始准备,确定审查清单,依据审查清单定期进行逐项检查,发现问题及时提交有关部门解决,不能等到施工结束才开始实施投运前安全审查。

5.6审议会议

完成投运前安全审查清单的所有项目后,投运前安全审查小组与区域负责人一起审查投运前安全审查的结果。会议上应将提出的缺陷全部列出,逐一进行工艺安全分析,并根据风险级别将其分类为:

a)投运前解决项目(必改项)

b)投运后解决项目(遗留项)

5.7跟踪落实

5.7.1所有必改项必须落实整改负责人或负责单位,并制定实施整改的进度,确定完成整改期限。审议会议应当定期进行(一般每周一次),对必改项进行跟踪,直至所有必改项得到落实。

5.7.2所有必改项完成之后,区域负责人应与审查小组一起审查各项的整改结果,必须得到区域负责人对必改项整改结果的认可,方可由区域负责人批准工艺设备的投运。

5.7.3所有遗留项必须落实解决方案和监控措施,并落实负责人(或单位)和完成期限。所有遗留项整改完成后应进行验收,并将完成日期补登到安全审查清单和综合审核报告上。

5.8可根据项目实施进度分阶段、分专项或多次实施投运前安全审查,但在正式投运前,需再次召开审议会议,将历次投运前安全审查的结果进行整理、回顾和再次确认,由投运前安全审查小组填写投运前安全审查综合报告(格式见附录c),经区域负责人审查确认所有必改项已经整改、所有遗留项已经落实监控措施和整改计划后,方可批准实施投运。

5.9属于本区域自行组织的项目,在区域负责人批准投运前安全审查综合报告后即可投运。属于上级单位组织的项目,区域负责人批准的投运前安全审查综合报告作为投产、项目验收的必须和首要条件。

5.10文件整理

5.10.1所有必改项,如果涉及变更,必须将相关的图纸、设计文件、材料表等进行更新存档。

5.10.2所有遗留项整改完成后,整改负责人书面通知区域负责人,书面通知应与投运前安全审查清单、综合报告及有关此项目的工艺风险分析归档在一起,以备后查。

5.10.3所有投运前安全审查的文件,包括审查清单、综合报告以及遗留项的解决方案和跟踪落实计划应归档。

6审核

每次投运前安全审查后应由工艺安全管理协调员对其完整性与内容进行审核评估。

附录a:投运前安全审查清单范例(适用停产维修且没有变更的投运)

附录b:投运前安全审查清单范例(适用新改扩建和重大变更项目的投运)

附录c:投运前安全审查综合报告

工艺设备管理制度3

1.本制度涵盖生产过程工艺操作规程建立、工艺操作设施条件、工艺操作行为、设备选购、使用安全管理等内容。

2.本制度分别由公司技术管理部(以下简称技术部)、设备管理部(以下简称设备部)落实。

技术部承担工艺过程的职能,设备部承担设备购置、使用过程的职能。

3.工艺操作安全管理制度

3.1运行

3.1.1必须编制产品的工艺规程和岗位安全操作规程,严格按照安全规程操作。

3.1.2改变或修订工艺指标和工艺条件,必须由技术管理部门以书面形式下达技术通知书,操作者必须遵守工艺纪律,不得擅自改变工艺指标和工艺条件。

3.l.3操作工必须严格执行原化工部颁发的《操作工六严格》规定,不得擅自离开自己的岗位。

3.l.4安全和联锁不得随意拆弃和解除,声、光、报警等信号不能随意切断。

3.l.5在现场检查时,不准踩踏管道、阀门、电线、电缆架及各种仪表管线等设施,去危险部位检查,必须有人监护。

3.1.6严格安全纪律,禁止无关人员进入操作岗位和动用生产设备、设施和工具。

3.1.7正确判断和处理异常情况,紧急情况下可以先处理后报告(包括停止一切检修作业,通知无关人员撤离现场等)。

3.1.8在工艺过程或机电设备处在异常状态时,不准随意进行交接班。

3.2开车3.1检查并确认水、电、汽(气)、冷,必须符合开车要求,各种原材料、辅助材料的供应必须齐全、合格;

投料前必须进行分析验证。

3.2检查阀门状态及盲板抽加情况,保证装置流程通畅,各种机电设备及电气仪表均应处在完好状态。

3.3保温、保压及清洗置换的设备要符合开车要求,必要时应重新置换,清洗和分析,使之合格。

3.4安全、消防设施完好,通讯联络通畅,危险性较大的生产装置开车,应通知消防及医疗卫生部门的人员到场。

3.5必要时停止一切检修作业,无关人员不准进入现场。

3.6各种条件具备后开车,开车过程中要加强有关岗位之间的联络,严格按开车方案中的步骤进行,严格遵守升降温,升降压和加减负荷的幅度(速率)要求。

3.7开车过程中要严密注意工艺的变化和设备运行情况,加强与有关部门的联系,发现异常现象应及时处理,情况紧急时应中止开车,严禁强行开车。

3.3停车

3.3.1重点岗位停车,必须编制停车方案,正常停车必须按停车方案中的`步骤进行。

用于紧急处理的自动停车的联锁装置,不应用于正常停车,加强与有关岗位和部门的联系。

3.3.2系统降压、降温必须按要求的幅度(速率)并按先高压后低压的顺序进行。

凡需保压、保温的设备(容器)等,停车后要按时记录压力、温度的变化。

3.3.3大型转动设备的停车,必须先停主机,后停辅机。

3.3.4设备(容器)卸压时,要注意易燃、易爆、易中毒等化学危险物品的排放和散发,防止造成事故。

3.3.5冬季停车后,要采取防冻保温措施,注意低位、死角吸水、蒸汽、管线、阀门、疏水器和保温器件的情况、防止冻坏。

3.4紧急处理

3.4.1发现或发生紧急情况,必须先尽最大努力作出妥善处理,同时向有关方面报告,必要时,先处理后报告。

3.4.2工艺和机电设备等发生异常情况时,应迅速采取措施,并通知有关岗位协调处理,必要时,按步骤紧急停车。

3.4.3发生停电、停水、停气(汽)时,必须采取措施,防止系统超温、超压、跑料及机电设备的损坏。

3.4.4发生爆炸、着火、大量泄漏等事故时,应首先切断气(物料)源,同时通知相关岗位并向上级报告。

4设备安全管理制度

4.1公司设备部为设备管理机构,负责设备的选型、指导安装、调试、制定设备操作、养护规程;

修订设备操作和养护规程;

判定设备报废、更新、大修;

监督检查设备的运行过程;

建立健全设备档案,完善设备全过程监控。

4.2公司鼓励车间及相关部门对生产设备安全性进行革新改造,更新替换更安全、更可靠的设备,从而到达节能降耗、优化环境、提高生产效益的目的。

4.3各生产岗位配电柜、箱都必须做到无积尘,闸刀、开关护罩、保险丝完好,无裸露破损电缆;

各种机电设备避雷、防潮设施完好,接地、防静电设施完好。

4.4设备及其必须安全、完好、整洁、标牌明示。

设备上无油污积存,切实做好防锈、防腐处理,保护设备本色;

移动设备(如电焊机、机泵、砂轮机等)防护部件必须完好。

4.5设备操作人员应熟悉设备操作安全规程,做到“四懂”、即懂结构、懂原理、懂性能、懂用途;

“四会”、即会使用、会维护保养、会排除故障、会检查;

特殊工种需由国家质监部门、安监部门颁发的操作合格证,持证上岗。

4.6设备部每月对各生产车间设备进行一次全面评定,根据日查、周查记录评定出设备完好率、泄漏率、出力率,并结合以上情况评定设备管理工作的好或差。

4.7各车间装置设备管理(兼职)人员,针对本车间的设备养护进行巡回检查,确保设备无超温、超压、泄漏、振动等异常情况。

5.在落实工艺、设备安全管理制度中,还必须遵守《安全生产法》、《化工企业安全管理制度》等法律法规提出的要求。

工艺设备管理制度4

1.目的

为加强对人员、管理、工艺、技术、设备设施、场所等永久性或暂时性的变化及时进行控制，规范相关的程序和对变更过程及变更所产生的风险进行分析和控制，防止因为变更因素发生事故，制定本制度。

2.适用范围

适用于对本公司各种变更的适时性动态管理。

3.职责与分工

3.1主管部门：公司行政部。适时地组织各相关部门对公司内发生的各项变更进行评价和采取针对性的措施。

3.2相关部门：各部门应按照公司管理要求对各项变更采取动态管理。

4.内容与要求

4.1本制度的变更是指管理变更、人员变更、工艺变更、设备设施变更、场所变更；变更管理是指对人员、工作过程、工作程序、技术、设施等永久性或暂时性的变化进行有计划的控制。

4.1.1管理变更：政策法规和标准的变更，公司机构和人员的变更、管理体系的变更等。

4.1.2人员变更：新入公司职工、内部岗位调动、离岗复岗、临时来公司的人员等。

4.1.3工艺变更：因新、改、扩建项目引起的技术变更，原料及介质变更，工艺流程及操作条件等变更，工艺设备的改进，操作规程的变更等。

4.1.4设备设施变更：因更换与原设备不同的设备和配件，设备材料代用，临时性的电气设备变更等。

4.1.5场所变更指工作场所、环境发生变化。

4.2管理变更时，由办公室组织相关部门在全公司范围内培训、学习。

4.3人员变更管理

4.3.1公司新进员工和调换岗位的员工，按照公司《安全教育培训制度》中有关内容进行三级教育。

4.3.2外来施工队伍按照《相关方安全管理制度》中有关内容执行。

4.3.3进入企业参观、学习的人员，由接待部门负责对其进行安全注意事项教育，并指派专人负责带队。

4.4工艺变更管理

4.4.1工艺变更由技术质量部门负责制定所需的新规程、制度，并对使用部门、人员进行工艺变更培训教育。教育内容包括变更的'内容、使用注意事项、新的规程、制度等，使操作人员掌握变更后的安全操作技能。

4.5设备设施变更管理

4.5.1设备设施变更由变更部门负责制定新的技术操作规程、制度等，并对使用人员进行变更培训教育。教育内容包括变更的内容、使用注意事项、新的规程制度等，使操作人员掌握安全操作的技能。

4.5.2在报废、拆除生产设施时，按照公司《生产设备设施安全管理制度》中有关内容执行。

4.6场所变更时由所属部门主要负责人对员工进行变更交底和安全注意事项。

工艺设备管理制度5

目的:

公用工程是保障安全生产的主要辅助工程,公用工程的安全直接影响到车间生产安全,为了使公司安全生产的顺利进行,节约水电,节约能源,制定本制度。

范围:

2.1公用工程包括公司的电气、蒸汽、循环水、冷冻盐水、消防系统等。

2.2本制度适用于公司所有部门。

安全职责:

3.1动力车间负责电气、蒸汽、循环水、冷冻盐水的`安全供给,保证相关系统运行正常。

3.2安全部总负责消防系统的正常工作。

3.3各部门车间负责本部门辖区内的消防系统的正常运行。

制度内容:

4.1电气安全管理

4.1.1动力车间电工负责公司高低压配电室安全管理(日常维护、检修、巡检等)。

4.1.2动力车间电工负责公司应急发电机的应急发电工作。

4.2.3生产部负责将用电高峰安排到夜间峰谷期间使用,节约能源。

4.1.4其他电气的安全管理遵循公司《电气安全管理制度》(本制度第二十一章)。

4.2蒸汽安全管理

4.2.1动力车间负责蒸汽分汽包的日常维护和检修,要对蒸汽主管道进行定期检查。

4.2.2各车间负责本部门内部蒸汽管道的日常维护和检查,并在满足生产条件下节约用汽。

4.2.3使用蒸汽的设备属于压力设备的必须办理压力容器登记证,并定期进行检测。

4.3循环水安全管理

4.3.1动力车间负责循环水泵和循环水凉水塔的日常维护和检修,对循环水主管道进行定期检查。

4.3.2各车间负责本部门内部循环水管道的日常维护和检查,并在满足生产条件下节约用水。

4.3.3使用循环水的设备属于压力设备的必须办理压力容器登记证,并定期进行检测。

4.3.4动力车间负责循环水温度满足生产工艺使用。

4.3.5生产部负责车间与动力部门之间的协调工作。

4.4冷冻盐水安全管理

4.4.1动力车间负责冰机及盐水循环泵的日常维护和检修,对循冷盐水主管道进行定期检查。

4.4.2各车间负责本部门内部循冷盐水管道的日常维护和检查,并在满足生产条件下节约用水。

4.4.3使用循环水的设备属于压力设备的必须办理压力容器登记证,并定期进行检测。

4.4.4动力车间负责冷冻盐水温度满足生产工艺使用。负责定期补充氟利昂。并定期检测盐水浓度不得低于1.15。

4.4.5生产部负责车间与动力部门之间的协调工作。

4.5消防系统安全管理

4.5.1相关部门遵循公司安全管理规章制度第八章《消防安全管理制度》。

第三篇：水工艺设备论文

浅谈农村环境问题及整治措施

摘要：本文介绍了农村面临的主要环境问题，提出生活垃圾、固体废物等的无害化处理措施，以改善农村生态环境质量，提高人民生活水平，促进可持续发展。

关键词：生活污水；固体废物；地表漫流；高温堆肥；

Rural environmental problems and treatment measures

Abstract: This paper introduces the main environmental problems facing the rural areas, the harmless treatment measures of solid waste, solid waste, in order to improve the quality of the rural ecological environment, improve people's living standards, promote sustainable development.Keywords :garbage；Solid waste；situation

近几年随着农村城镇化进程的加快，畜禽养殖业规模的不断扩大，农药化肥的大量使用，加之粗放型的社会管理模式，导致农村生态环境遭到严重破坏，农村部分饮用水源已达不到自然净化能力，湖泊、江河水体富营养化加剧，农村环境综合整治已经被提到日程上来。据卫生部2008年调查，农村每天每人生活垃圾量为0.86公斤，全国农村一年的生活垃圾量接近3亿吨，其中三分之一约1亿吨的垃圾属于随意堆放。

1、农村坏境现状

我国农村大部分村落农民环保意识不强，在发展建设过程中未设有污水、雨水排放系统。生活垃圾没有任何收集措施，绝大部分直接丢弃在路边或倒入河流。做饭、取暖仍采用传统的直接燃烧木材的放式以及农药化肥的无节制使用等造成了现代农村在水、气、土方面的立体式污染。

2、农村环境整治措施的发展方向

逐步建立起针对农村环境问题的法力法规，加大管理力度和宣传力度。建立舆论监督和环境监督体系，落实财政扶持资金。优先整治农村固体废弃物、畜禽粪便等污染较大较明显的污染途径。加大科研力度，发明一些适宜农村环境污水、废物等的处理装置、系统。

3、整治技术的措施

3.1 农村生活污水的处理措施

农村污水的主要特点为分散难收集，污水浓度低、生化性好，从资源利用角度看，农村污水属于可加以利用的污水，因为其氮磷元素含量高，是农业另一种形式的肥料，因此在农村污水处理要充分考虑这一水质特点进行处理。目前，农村生活污水一般处理方法有生化法及生态处理法两大类。目前国内代表工艺主要有：传统活性污泥处理技术、氧化沟处理技术、生物接触氧化处理技术、SBR 技术以及 CASS 处理技术等。生态处理法代表工艺有：快速渗滤法（RI）、慢速渗滤法（SR）、地表漫流法（OF）、湿地法（WL）、地下渗滤法（UG）等，还有较先进的人工土壤快速渗滤法、潜流型人工湿地处理法等。但农村污水

处理技术的选择要充分考虑到农村地区财力状况薄弱、农民实际承受能力较低的普遍情况，处理工艺的选择应着重该考虑选用成熟可靠，又适合农村特点的污水处理适用技术。因此治理农村污水可从方向可从以下角度出发：①治理区域范围内村庄布局分散、人口规模较小、地形条件复杂、污水不易集中收集的村庄，宜采用无动力的庭院式小型湿地、污水净化池和小型净化槽等分散处理技术。分散收集、分散处理、就近排放 ”的原则，采用雨污分流后，通过四格净化池对单户生活污水进行处理，有效处理生活污水，具有投资省、运行费用低、易于推广特点。②村庄布局相对密集、人口规模较大、经济条件好、村镇企业或旅游业发达的村庄，宜采用活性污泥法、生物膜法（有动力或微动力）等集中处理技术。③距离市政污水管网较近、符合高程等接入要求的村庄污水可采用城乡统一处理技术模式。

各种土壤处理系统经济比较[1]

由上表可知，地表漫流系统是在经济上可取的一种农村生活污水处理放式，同时地表漫流系统具有对污水中的各类污染物如BOD、SS、N、P、金属、病原微生物以及痕量有机物的去除效果良好，它对预处理要求较低，不受地下水埋深影响的优点。

3.1.1地表漫流系统性能及工艺

地表漫流是将污水有控制地投配到覆盖牧草、坡度和缓、土地渗透性能低的坡面上，污水以薄层的方式沿坡面缓慢流动，在地表流动过程中得以净化。在处理过程中，只有少部分的水量因蒸发和入渗地下而损失掉，大部分径流水汇入集

[2]水沟，典型的漫流处理系统场地和水流途径如图1。

地表漫流处理系统以处理污水为主，兼有生长有经济价值的草类功能的污水处理利用系统。植物为微生物提供借以生命活动的中间媒介，植物的根毛可以释放氧气，在根部形成好氧区，有利于硝化反应的进行，枯枝败叶中可利用的碳源为反硝化提供了条件[3]，并减缓了污水沿地表流动的速度，保护地表面不受水流冲刷，同时有利于水中的悬浮物沉淀下来。植物的枝叶为水面遮挡阳光的照射，避免因藻类大量生长而影响处理效果。污水地表漫流系统对污水中的各类污染物如BOD、SS、N、P、金属、病原微生物以及痕量有机物均有良好的去除效果。国内外地表漫流系统的运行结果表明，系统对重金属镉、铬、铜、锌等的去除率在80％左右；对细菌总数的去除率在90％以上：对粪大肠茵的去除率高达99．99％；对污水的有机物去除率大多也在90％以上，分别由n×10～n×102降至n～n×10μɡ／L[4]。

3.1.2地表漫流系统净化污水的机理

地表漫流系统对污水的净化机理是利用“土壤．植物．水”体系对污染物的巨大容纳、缓冲和降解能力，其中士表和土壤颗粒上的生物膜对污染物有吸附、降解和再生作用，植物的根系，植株和倒伏残败的生物体对水流起了均布和阻截的作用；在这个系统中，阳光既可以提高体系的活力，又可以杀灭活的病原体及促进污染物的分解。大气给了微生物良好的呼吸条件，这样地表漫流系统构成了

一个“活”的生物过滤器，是‘个高效低能耗的污水处理系统。

3.2农村生活垃圾

3.2.1生活垃圾是指在日常生活中或者为日常生活提供服务的活动中产生的固体废物以及法律、行政法规规定视为生活垃圾的固体废物。生活垃圾危害环境有：（1）侵占地表

垃圾挤占了宝贵的土地资源和生存空间，严重影响了居民生产和生活。这不仅影响了自然环境的美观，更破坏了大自然生态平衡。（2）污染环境

固体废物含有各种有害物质，处理不当可直接污染土壤、空气和水源，并最终对各种生物包括人类自身造成危害。（3）传播疾病

垃圾含有大量微生物，是病菌、病毒、害虫等的滋生地和繁殖地，严重地危害人身健康。

（4）污染土壤和水体

垃圾渗出液改变土壤成分和结构，有毒垃圾会通过食物链影响人体健康。垃圾破坏了土壤的结构和理化性质，使土壤保肥、保水能力大大下降。垃圾中含有病原微生物、有机污染物和有毒的重金属等，在雨水的作用下，它们被带入水体，会造成地表水或地下水的严重污染，影响水生生物的生存和水资源的利用。（5）污染大气

细小固体废物会随风飞扬，加重大气污染。在大量垃圾露天堆放的场区臭气熏天，老鼠成灾，蚊蝇孳生，有大量氨、硫化物等有害气体向大气释放，仅有机挥发性气体就多达 100 多种，其中含有许多致癌致畸物。目前生活垃圾处理主要采用的技术方法有：填埋、焚烧和堆肥等。长期以来，中国垃圾的处理处置方式主要以填埋为主，堆肥、焚烧为辅。当前生物反应器技术已成为生活垃圾处理技术的热点，浙江大学邱才娣在生物反应器厌氧发酵的基础上，通过曝气的方式分析了农村生活垃圾资源化处理技术[5]，中国农业大学王艳通过倒仓破碎的方式来缩短垃圾发酵周期，以提高北京市南宫堆肥厂的垃圾处理能力[6]。发达国家生活垃圾的收运和处理体系已经进入了比较高级的发展阶段，生活垃圾管理的目标，已不仅仅局限于集中收集、集中处理、减少环境污染，而正进入分类收集、材料回用、分类处理、资源化利用以及源头减量阶段[7]。

3.2.2高温堆肥的定义

高温堆肥是在特定控制条件下，利用微生物对垃圾中的有机物进行生物化学分解，使其变成一种具有良好稳定性的腐殖土状物质的过程。有机垃圾是堆肥微生物赖以生存、繁殖的物质条件，根据高温堆肥过程中微生物对氧气的不同需求，高温堆肥分为好氧高温堆肥和厌氧高温堆肥2种工艺。其中好氧堆肥过程中微生物活动产生并释放的热量大，使堆体温度高且持续时间长，有利于垃圾的无害化。由于好氧高温堆肥工艺具有分解物质彻底、发酵周期短、产生恶臭少、污染小、宜于机械化作业等特点，因此我国目前建成投产的堆肥厂全部采用好氧高温堆肥(以下简称高温堆肥)方式。

农村固体废物基本物理组成[8]

3.2.3 高温堆肥装置简介

堆肥装置[9]由堆肥反应仓、抽风机、冷凝塔和生物滤池4部分组成。堆肥仓设置了4个小仓，一个小堆肥仓的规格为长1．45m，宽0．9m，高1．2m，可容纳1．56m3垃圾，整个装置为全密封式。在堆肥仓内先驯化再进入稳定化阶段，以12 d为一个高温发酵周期，12 d后从堆肥仓中铲出，装入编织袋内进入袋式发酵阶段，直至堆肥完全腐熟。采用的方式为：高温发酵12 d一袋式发酵24 d，至堆肥腐熟，时间为36 d，形成堆肥产品。仓内高温发酵期间测定堆体温度、观察和记录冷凝塔冷却水量和垃圾减容率[10]。

堆肥装置示意图

3.2.4高温堆肥的应用前景

我国是农业大国，堆肥化处理成为我国资源化处理利用有机固体废弃物的有效途径之一，堆肥技术是利用微生物的作用，将不稳定的有机质转变为较稳定的有机质，使废弃物中发挥性物质含量降低，臭味明显减小，物理性状明显改善。高温堆肥还可杀死堆料中的病原菌、虫卵和草籽，堆肥产品亦可作为土壤改良剂和植物营养源。因此，大力发展高温堆肥工艺，符合我国农村环境整治现状，有利于社会主义新农村建设。

3.3结语

在当代农村，对布局分散、经济欠发达、交通不便的村庄，应优先推行垃圾分类，并在优先推广垃圾分类基础上，选取有机垃圾与秸杆、稻草等农业废物混合堆肥等，使其资源化利用技术，无法资源化利用的垃圾就在村内设立个收集点，定期运到附近城镇垃圾处理设施进行处理。对村庄布局相对密集、人口规模较大、经济条件好、村镇企业或旅游业发达的村庄可采用集中式填埋或+焚烧处理。在整治农村环境问题过程中，应发挥各种媒体的作用，采取多种形式广泛宣传加强农村环境保护、开展农村环境整治示范工作的重要意义、进展成效和典型经验，开展科普教育和培训，提高农民群众的环保意识。

[参考文献]：

[1] 1Li，X．F．，Jiang,C．C．Constructed wetland systems for water pollutioncontrol in north China, Water Science and Technology，1995，32(3)：349-356.[2] 孙敏;阮晓红;曾扬

地表漫流系统处理污染河水工程设计探讨[J]-中国给排水 2006（04）

[3] 杨敦，周琪 人工湿地脱氩技术的机理及应用[J]—中国给水排水，2003,19(1):23—24 [4] 国家环境保护局科技标准司．城市污水土地处理技术指南M．北京：中国环境科学出版社．1997：148～150．

[5] 王艳;沈春红;李国学 倒仓破碎对缩短发酵周期后生活垃圾堆肥腐熟度的影响[J]环境卫生工程 2009，17(6)：47—49

[7]邱才娣;何若;陈松妹.一种新型的农村生活垃圾资源化工艺技术研究[J]哈尔滨工业大学学报 2009，41(11):288—292.[10] 陈同斌，黄启飞，高定，等．城市污泥堆肥温度动态变化过程及层次效应[J]．生态学报，2002，22(5)：737—741．

第四篇：工艺设备技术员岗位职责

工艺设备技术员岗位职责

1．负责协助生产站长组织全站生产运行；

2.负责贯彻执行工艺设备运行、维护、保养技术标准、规程和规范，解决存在的问题；

3．负责组织实施上级下达的生产任务，达到上级规定的各项要求； 4．负责组织各种工艺流程的切换，审核流程切换操作票； 5．负责检查站内设备的运行动态，掌握日常生产情况； 6．负责建立健全站场设备管理的各项技术资料，记录台帐和有关报表，并做好收集、整理和定期归档工作；

7．负责设备检修方案的制定、审查，上报维检修计划，做好现场技术指导，解决各种问题；

8．对输气运行参数进行分析，发现运行参数不合理时，及时查找分析原因并向上级主管领导提出处理建议； 9．负责制定能源节约措施并组织实施；

10．负责组织员工的技术培训，不断提高员工技术素质； 11．配合站长开展技术革新、合理化建议活动。

第五篇：水工艺设备材料简介

水工艺设备作业

随着水处理技术工艺的不断改进和提高，以及水工业设施建设中成套专用设备和检测、控制仪器仪表头子比例的逐渐提高，水工艺工程不断向设备化、产业化和市场化方向发展。因此，迫切需要开设一门适应改趋势的高等教育课程。水工艺设备基础主要介绍与水工艺设备的制造、设计、工艺特点、适用条件等有关基础知识。通过该课程教学，引导学生系统了解和掌握常用水工艺设备的基本原理、典型构造、工艺特点和分类及其适用条件，具备基本水工艺设备的开发、研制能力，并提出工艺、材料、结构等方面的改进意见，同时能够根据工程及工艺要求选择适宜的设备器材。

其主要包括基础知识和水工艺设备两部分内容。基础知识部分有常用材料及性能、材料设备的防护与保温、水工艺设备理论基础；水工艺设备部分有：设备分类、容器设备、搅拌设备、换热设备、分离设备、污泥处置设备和投药设备。通过上述内容教学，使学生重点掌握与水工艺设备设计、制造有关的材料学、机械制造与传动、结构力学、传热学等方面的基本知识，系统把握水工艺设备的基本原理、典型构造、工艺特点与分类及其适用条件，具备按工艺条件选取水工艺设备的基本能力，并能够为新型水工艺设备的开发、研制或改进提出合理建议，培养良好的理论基础和实践能力，为将来就业作足准备

实例一：电吸附水处理技术电吸附水处理技术的特性

1、运行能耗低，水利用率高

EST技术的能耗很低，其主要的能量消耗在于使离子发生迁移，而在电极上并没有明显的化学反应发生，如有必要还可以将所用的能量回收一部分过来，即将吸附饱和的模块上储存的电能再加到另一再生好的模块上，也即所谓的“秋千式”供电方式。这与其它除盐技术相比可以大大地节约能源。一个实验模块以50t/h流量、85％除盐率处理TDS为1000mg/L的原水时，能耗仅约为60W。其根本原因在于EST技术净化/淡化水的原理是有区别性地将水中离子提取分离出来，而不是把水分子从待处理的原水中分离出来。2 水利用率高

EST技术可以大大提高水的利用率，一般情况下水的利用率可以达到75％以上；如采用适当的工艺组合，甚至可达90％以上。3 无二次污染

EST技术不需任何化学药剂来进行水的处理，从而避免了二次污染问题。EST系统所排放的浓水系来自于原水，系统本身不产生新的排放物。与离子交换技术相比，省去了浓酸、浓碱的运输、贮存、操作上的麻烦，而且不向外界排放酸碱中和液。4 操作及维护简便

由于EST系统不采用膜类元件，因此对原水预处理的要求不高，而且即使在预处理上出一些问题也不会对系统造成不可修复的损坏。铁、锰、余氯、有机物、钙、镁、pH值等对系统几乎没有什么影响。在停机期间也无需对核心部件作特别保养。系统采用计算机控制，自动化程度高，对操作者的技术要求较低。从理论上讲，EST模块可以长期服役，预期寿命至少在20a以上。

EST技术及系统不仅可以被应用在饮用水的处理上，还可以在电子电力、化工制药、轻纺造纸等工业的工艺用水及锅炉补给水处理以及环保废水、污水处理等领域得到应用。苦咸水淡化乃至海水淡化将是EST技术的一个更加诱人的应用领域。

实例二：复合厌氧生物反应器HAF

厌氧生物滤池是一个内部填充有供微生物附着的填料的厌氧反应器。填料浸没在水中，微生物附着在填料上。废水从下部进入反应器，通过固定填料床，在厌氧微生物的作用下，废水中的有机物被厌氧分解。

厌氧生物滤池具有较大的抗冲击负荷能力，一般以为在相同的温度条件下，厌氧生物滤池的负荷可高出厌氧接触等其他工艺2-3倍，同时会有较高的COD去除率。

HAF复合厌氧反应器，在反应器内部填充新型生物填料，依靠填料使反应器内保有大量附着的生物膜以及截留大量的活性污泥，污泥浓度可到10~20gVSS/L，SRT可达100天以上，同时反应器内的各种不同的微生物自然分层固定，有利于各类微生物得到最佳的生态环境和平衡，实现更高的生物活性。该装置简单，不需要搅拌和回流污泥（必要时可出水回流）,因而管理方便，能耗小；对废水浓度、温度及水量变化适应性强，尤其适于处理各种浓度的废水。

由于采用了新型的生物填料，填料之间的空隙率比较大，在根本上解决了传统AF反应器堵塞的问题，且供微生物栖息的空间大，处理效果好，COD的去除率可达到80%以上。

HAF高效厌氧反应器具有如下特点：

（1）COD去除率达80%以上；

（2）快速启动，2周后COD去除率可达到60%以上，且无需接种厌氧污泥；

（3）常温下运行，抗冲击负荷能力强；

（4）不用调整PH值，节省药剂费；

（5）可间歇运行；

（6）抗堵塞能力强；

（7）无需专人管理。

实例三：超滤+反渗透+CEDI处理系统

超滤作为预处理装置，超滤是一种先进的膜分离技术。利用超滤膜能有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物，适用于以分离、浓缩、净化为目的的各种生产工艺中。广泛地用于轻纺、化工、医药、食品、环保电子等行业。

超滤成为一种可靠的反渗透预处理方法。反渗透+CEDI出水水质可到18M，满足各行业用水。

反渗透：运用特制的高压水泵，将原水加至6—20公斤压力，使原水在压力的作用下渗透过孔径只有0.0001微米的反渗透膜。化学离子和细菌、真菌、病毒体不能通过，随废水排出，只允许体积小于0.0001微米的水分子和通过。

CEDI系统：（Electrodeionization）又称连续电除盐技术，它科学地将电渗析技术和离子交换技术融为一体，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生，因此EDI制水过程不需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超纯水。