载流子迁移率测量方法总结

第一篇：载流子迁移率测量方法总结

载流子迁移率测量方法总结

引言

迁移率是衡量半导体导电性能的重要参数，它决定半导体材料的电导率，影响器件的工作速度。已有很多文章对载流子迁移率的重要性进行研究，但对其测量方法却少有提到。本文对载流子测量方法进行了小结。

迁移率μ的相关概念

在半导体材料中，由某种原因产生的载流子处于无规则的热运动，当外加电压时，导体内部的载流子受到电场力作用，做定向运动形成电流，即漂移电流，定向运动的速度成为漂移速度，方向由载流子类型决定。在电场下，载流子的平均漂移速度v与电场强度E成正比为：

式中μ为载流子的漂移迁移率，简称迁移率，表示单位电场下载流子的平均漂移速度，单位是m2／V·s或cm2／V·s。

迁移率是反映半导体中载流子导电能力的重要参数，同样的掺杂浓度，载流子的迁移率越大，半导体材料的导电率越高。迁移率的大小不仅关系着导电能力的强弱，而且还直接决定着载流子运动的快慢。它对半导体器件的工作速度有直接的影响。

在恒定电场的作用下，载流子的平均漂移速度只能取一定的数值，这意味着半导体中的载流子并不是不受任何阻力，不断被加速的。事实上，载流子在其热运动的过 程中，不断地与晶格、杂质、缺陷等发生碰撞，无规则的改变其运动方向，即发生了散射。无机晶体不是理想晶体，而有机半导体本质上既是非晶态，所以存在着晶 格散射、电离杂质散射等，因此载流子迁移率只能有一定的数值。

测量方法

(1)渡越时间(TOP)法

渡越时间(TOP)法适用于具有较好的光生载流子功能的材料的载流子迁移率的测量，可以测量有机材料的低迁移率。

在样品上加适当直流电压，选侧适当脉冲宽度的脉冲光，通过透明电极激励样品产生薄层的电子一空穴对。空穴被拉到负电极方向，作薄层运动。设薄层状况不变，则运动速度为μE。如假定样品中只有有限的陷阱，且陷阱密度均匀，则电量损失与载流子寿命τ有关，此时下电极上将因载流子运动形成感应电流，且随时间增 加。在t时刻有：

若式中L为样品厚度电场足够强，t≤τ，且渡越时间t0<τ。则

在t0时刻，电压将产生明显变化，由实验可测得，又有

式中L、V和t0皆为实验可测量的物理量，因此μ值可求。

(2)霍尔效应法

霍尔效应法主要适用于较大的无机半导体载流子迁移率的测量。

将一块通有电流I的半导体薄片置于磁感应强度为B的磁场中，则在垂直于电流和磁场的薄片两端产生一个正比于电流和磁感应强度的电势U，这称为霍尔效应。由于空穴、电子电荷符号相反，霍尔效应可直接区分载流子的导电类型，测量到的电场可以表示为

式中R为霍尔系数，由霍尔效应可以计算得出电流密度、电场垂直漂移速度分量等，以求的R，进而确定μ。

(3)电压衰减法

通过监控电晕充电试样的表面电压衰减来测量载流子的迁移率。充电试样存积的电荷从顶面向接地的底电极泄漏，最初向下流动的电荷具有良好的前沿，可以确定通过厚度为L的样品的时间，进而可确定材料的μ值。

(4)辐射诱发导电率(SIC)法

辐射诱发导电率(SIC)法适合于导电机理为空间电荷限制导电性材料。

在此方法中，研究样品上面一半经受连续的电子束激发辐照，产生稳态SIC，下面一半材料起着注入接触作用。然后再把此空间电荷限制电流(SCLC)流向下方电极。根据理论分析SCLC电导电流与迁移率的关系为

J=pμε1ε0V2/εDd3(7)测量电子束电流、辐照能量和施加电压函数的信号电流，即可推算出μ值。

(5)表面波传输法

将被测量的半导体薄膜放在有压电晶体产生的场表面波场范围内，则与场表面波相联系的电场耦合到半导体薄膜中并且驱动载流子沿着声表面波传输方向移动，设置在样品上两个分开的电极检测到声一电流或电压，表达式为 Iae=μP／Lv．(8)式中P为声功率，L为待测样品两极间距离，v为表面声波速。有此式便可推出μ值。

(6)外加电场极性反转法

在极性完全封闭时加外电场，离子将在电极附近聚集呈薄板状，引起空间电荷效应。当将外电场极性反转时，载流子将以板状向另一电极迁移。由于加在载流子薄层 前、后沿的电场影响，因而在极性反转后t时间时，电流达到最大值。t相当于载流子薄层在样品中行走的时间，结合样品的厚度、电场等情况，即可确定μ值。

(7)电流一电压特性法

本方法主要适用于工作于常温下的MOSFET反型层载流子迁移率的测量。

对于一般的MOSFET工作于高温时，漏源电流Ids等于沟道电流Ich与泄漏电流Ir两者之和，但当其工作于常温时，泄漏电流Ir急剧减小，近似为零，使得漏源电流Ids即为沟道电流Ich。因此，对于一般的MOSFET反型层载流子迁移率，可以根据测量线性区I—V特性求的。

总结

综上所述，本文共指出了七中载流子迁移率的测量方法，除此之外，还可采用漂移实验、分析离子扩散、分析热释电流极化电荷瞬态响应等方法进行载流子迁移率的测量。

第二篇：温度和风速测量方法总结

第一章 风速测量

1.1风速测量

风是空气流动时产生的一种自然现象。空气流动有上下流动和左右流动，上下流动为垂直运动，也叫对流；左右流动为水平运动，也就是风。风是一个矢量，用风向和风速表示。地面风指离地平面10─12米高的风。风向指风吹来的方向，一般用16个方位或360°表示。以360°表示时，由北起按顺时针方向度量。风速指单位时间内空气的水平位移，常以米/秒、公里/小时、海里/小时表示。

1.2 风杯风速计

风杯风速计是最常见的一种风速计。转杯式风速计最早由英国鲁宾孙发明，当时是四杯，后来改用三杯。它由3个互成120°固定在支架上的抛物锥空杯组成感应部分，空杯的凹面都顺向一个方向。整个感应部分安装在一根垂直旋转轴上，在风力的作用下，风杯绕轴以正比于风速的转速旋转。转速可以用电触点、测速发电机或光电计数器等记录。

图1.1 风杯风速计

1.3 叶轮风速仪

风速计的叶轮式探头的工作原理是基于把转动转换成电信号，先经过一个临近感应开头，对叶轮的转动进行“计数” 并产生一个脉冲系列，再经检测仪转换处理，即可得到转速值。

法国KIKO叶轮风速仪工作原理如图1.2所示。叶轮的轴杆启动内含八个电磁极的原型磁铁，置于磁铁旁的双霍尔传感器感测到侧场中电磁极的转变信号。传感器的信号转换为电子频率且和风速成正比，并感测旋转方向。

图1.2 KIMO原理

1.4 热线风速计

一根被电流加热的金属丝，流动的空气使它散热，利用散热速率和风速的平方根成线性关系，再通过电子线路线性化（以便于刻度和读数），即可制成热线风速计。

金属丝通常用铂、铑、钨等熔点高、延展性好的金属制成。常用的丝直径为5μm，长为2 mm；最小的探头直径仅1μm，长为0.2 mm。根据不同的用途，热线探头还做成双丝、三丝、斜丝及V形、X形等。为了增加强度，有时用金属膜代替金属丝，通常在一热绝缘的基体上喷镀一层薄金属膜，称为热膜探头。热线探头在使用前必须进行校准。静态校准是在专门的标准风洞里进行的，测量流速与输出电压之间的关系并画成标准曲线；动态校准是在已知的脉动流场中进行的，或在风速仪加热电路中加上一脉动电信号，校验热线风速仪的频率响应，若频率响应不佳可用相应的补偿线路加以改善。

0至100m/s的流速测量范围可以分为三个区段：低速：0至5m/s；中速：5至40m/s；高速：40至100m/s。热线风速计用于0至5m/s的精确测量，使用温度约为±70℃。

当在湍流中使用热线风速计时，来自各个方向的气流同时冲击热元件，从而会影响到测量结果的准确性。在湍流中测量时，热敏式风速仪流速传感器的示值往往高于转轮式风速计。因此，风速仪测量过程应尽量在通道的直线部分进行。直线部分的起点应至少在测量点前10×D（D=管道直径，单位为CM）外；终点至少在测量点后4×D处。流体截面应不得有遮挡（棱角，重悬，物等）。

图1.3 热线风速计

1.4.1 恒流式热线风速计

通过热线的电流保持不变，温度变化时，热线电阻改变，因而两端电压变化，由此测量流速。利用风速探头进行测量。风速探头为一敏感部件。当有一恒定电流通过其加热线圈时，探头内的温度升高并于静止空气中达到一定值。此时，其内测量元件热电偶产生相应的热电势，并被传送到测量指示系统，此热电势与电路中产生的基准反电势相互抵消，使输出信号为零，风速仪指针也能相应指于零点或显示零值。若风速探头端部的热敏感部件暴露于外部空气流中时，由于进行热交换，此时将引起热电偶热电势变化，并与基准反电势比较后产生微弱差值信号，此信号被测量仪表系统放大并推动电表指针变化从而指示当前风速或经过单片机处理后通过显示屏显示当前风速数值。1.4.2 恒温式热线风速计

风速仪热线的温度保持不变，给风速敏感元件电流可调，在不同风速下使处于不同热平衡状态的风速敏感元件的工作温度基本维持不便，即阻值基本恒定，该敏感元件所消耗的功率为风速的函数。

恒温风速仪则是利用反馈电路使风速敏感元件的温度和电阻保持恒定。当风速变化时热敏感元件温度发生变化，电阻也随之变化，从而造成热敏感元件两端电压发生变化，此时反馈电路发挥作用，使流过热敏感元件的电流发生相应的变化，而使系统恢复平衡。上述过程是瞬时发生的，所以速度的增加就好像是电桥输出电压的增加，而速度的降低也等于是电桥输出电压的降。

1.4.3 注意事项

除保持日常数据的准确性外，日常维护使用中还要注意以下几点：

1.禁止在可燃性气体环境中使用风速计。

2.禁止将风速计探头置于可燃性气体中。否则，可能导致火灾甚至爆炸。

3.请依据使用说明书的要求正确使用风速计。使用不当，可能导致触电、火灾和传感器的损坏。

4.在使用中，如遇风速计散发出异常气味、声音或冒烟，或有液体流入风速计内部，请立即关机取出电池。否则，将有被电击、火灾和损坏风速计的危险。

5.不要将探头和风速计本体暴露在雨中。否则，可能有电击、火灾和伤及人身的危险。

6.不要触摸探头内部传感器部位。

7.风速计长期不使用时，请取出内部的电池。否则，将电池可能漏液，导致风速计损坏。

8.不要将风速计放置在高温、高湿、多尘和阳光直射的地方。否则，将导致内部器件的损坏或风速仪性能变坏。

9.不要用挥发性液体来擦拭风速计。否则，可能导致风速仪壳体变形变色。风速计表面有污渍时，可用柔软的织物和中性洗涤剂来擦拭

10.不要摔落或重压风速计。否则，将导致风速计的故障或损坏。

11.不要在风速计带电的情况下触摸探头的传感器部位。否则，将影响测量结果或导致风速计内部电路的损坏。

1.5 超声波风速仪

超声风速风向仪的工作原理是利用超声波时差法来实现风速的测量。通过正、逆压电效应实现高频声能和电能之间的相互转换，从而实现超声波的发射和接收。由于它很好地克服了机械式风速风向仪固有的缺陷，因而能全天候地、长久地正常工作，越来越广泛地得到使用．它将是机械式风速仪的强有力替代品。

图1.4 超声波风速仪

1.5.1 应用领域

超声波风速计的应用便利、精确，在很多领域都能灵活运用，广泛应用于城市环境监测、风力发电、气象监测、桥梁隧道、航海船舶、航空机场、各类风扇制造业、需要抽风排气系统的行业等。

1.6 皮托管风速仪

皮托管是测量气流总压和静压以确定气流速度的一种管状装置。由法国H.皮托发明而得名。严格地说，皮托管仅测量气流总压，又名总压管；同时测量总压、静压的才称风速管，但习惯上多把风速管称作皮托管。皮托管的构造如图，头部为半球形，后为一双层套管。测速时头部对准来流，头部中心处小孔（总压孔）感受来流总压p0，经内管传送至压力计。头部后约3～8D处的外套管壁上均匀地开有一排孔（静压孔），感受来流静压p，经外套管也传至压力计。对于不可压缩流动，根据伯努利方程和能量方程可求出气流马赫数，进而再求速度。总压孔有一定面积，它所感受的是驻点附近的平均压强，略低于总压，静压孔感受的静压也有一定误差，其他如制造、安装也会有误差，故测算流速时应加一个修正系数ζ。ζ值一般在0.98～1.05范围内，在已知速度之气流中校正或经标准皮托管校正而确定。皮托管结构简单，使用方便，用途很广。如飞机头部或机翼前缘常装设皮托管，测量相对空气的飞行速度，又称空速管。

图1.5 皮托管结构图

1.7 分析与小结 1.7.1 热线风速计

该方式是测试处于通电状态下传感器因风而冷却时产生的电阻变化，由此测试风速。不能得出风向的信息。除携带容易方便外，其成本性能比高，作为风速计的标准产品广泛地被采用，且长期安定性、以及在温度补偿方面都具有优势。

 适用范围：0.05～50m/s

 显示分辨率：0.01m/s

1.7.2 超声波风速仪

该方式是测试传送一定距离的超音波时间，因风的影响而使到达时间延迟，由此测试风速。该方法传感器部较大，在测试部周围，有可能发生紊流，使流动不规则，并且测量环境需要比较安静的场所，用途受到限定。

 适用范围：0～10m/s

 显示分辨率：0.01m/s

1.7.3 叶轮风速仪

该方式是应用风车的原理，通过测试叶轮的转数，测试风速。原理比较简单，价格便宜，但测试精度较低，所以不适合微风速的测试和细小风速变化的测试。 适用范围：1～50m/s

 显示分辨率：0.1m/s

1.7.4 皮托管风速仪

在流动面的正面有与之形成直角方向的小孔，内部藏有从各自孔里分别提取压力的细管。通过测试其压力差（前者为全压、后者为静压），就可知道风速。其原理比较简单，价格便宜，但与流动面必须设置成直角，否则不能进行正确的测试。不适合一般用。 适用范围：5～100m/s

 显示分辨率：0.01m/s

第二章 温度测量

2.1温度测量方法

温度是表征物体冷热程度的物理量, 是国际单位制中七个基本物理量之一, 它与人类生活、工农业生产和科学研究有着密切关系。随着科学技术水平的不断提高, 温度测量技术也得到了不断的发展。

2.2 温度测量的分类

温度测量的分类可以通过其与被测量的物体是否接触分为接触式和非接触式。

2.2.1 接触式测量

接触式测量仪表比较简单、可靠，测量精度高。但是因为测温元件与被测介质需要进行充分的热交换，所以其需要一定的时间才能达到热平衡。接触式测量仪存在测温延迟现象，同时受耐高温和耐低温材料的限制，不能应用于这些极端的温度测量。非接触式仪表测温仪是通过热辐射的原理来测量温度的，测温元件不需要与被测介质接触，测温范围广，不受测温上限的限制，也不会破坏被测物体的温度场，反应速度一般也比较快；但受到物体发射率、测量距离、烟尘和水汽等外界因素的影响，其测量误差较大。

2.2.2 接触式测量方法

（1）膨胀式温度测量 原理：利用物质的热胀冷缩原理即根据物体体积或几何形变与温度的关系进行温度测量。热胀冷缩式温度计包括玻璃液体温度计、双金属膨胀式温度计和压力式温度计等。

优点：结构简单, 价格低廉, 可直接读数,使用方便,非电量测量方式, 适用于防爆场合。

缺点：准确度比较低, 不易实现自动化, 而且容易损坏。

（2）电量式测温方法 利用材料的电势、电阻或其它电性能与温度的单值关系进行温度测量，包括热电偶温度测量、热电阻和热敏电阻温度测量、集成芯片温度测量等。

①热电偶的原理是两种不同材料的金属焊接在一起,当参考端和测量端有温差时, 就会产生热电势, 根据该热电势与温度的单值关系就可以测量温度。热电偶具有结构简单, 响应快, 适宜远距离测量和自动控制的特点, 应用比较广泛。

②热电阻是根据材料的电阻和温度的关系来进行测量的, 输出信号大, 准确度比较高, 稳定性好, 但元件结构一般比较大, 动态响应较差, 不适宜测量体积狭小和温度瞬变区域。

③热敏电阻是一种电阻值随温度呈指数变化的半导体热敏感元件, 具有灵敏度高、价格便宜的特点, 但其电阻值和温度的关系线性度差,且稳定性和互换性也不好。

④石英温度传感器是以石英晶体的固有频率随温度而变化的特性来测量温度的。石英晶体温度传感器稳定性很好, 可用于高精度和高分辨力的测量场合。随着电子技术的发展, 可以将感温元件和相关电子线路集成在一个小芯片上, 构成一个小型化、一体化及多功能化的专用集成电路芯片, 输出信号可以是电压、频率, 或者是总线数字信号, 使用非常方便,适用于便携式设备。（3）接触式光电、热色测温方法

原理：接触式光电测温方法主要是指通过接触被测对象,将温度变化引起的热辐射或其他光电信号引出, 通过光电转换器件检测该信号, 从而获得测温结果的方法。

优点：这种方法不像电量式测量方法容易受到电磁的干扰,可以在电磁环境下进行温度测量;可以避免像非接触式辐射温度计那样容易受到被测对象表面发射率和中间介质的影响。

缺点：会干扰被测对象的温度, 带来接触式测温方法引起的一些误差。

2.2.3 非接触式测温方法原理及特点

（1）辐射式测温方法

原理：是以热辐射定律为基础，它可分为全辐射高温计、亮度式高温计和比色式高温计。全辐射高温计结构相对简单, 但受被测对象发射率和中间介质影响比较大,测温偏差较大, 不适合用于测量低发射率目标。亮度温度计灵敏度比较高, 受被测对象发射率和中间介质影响相对较小, 测量的亮度温度与真实温度偏差较小, 但也不适用于测量低发射率物体的温度, 并且测量时要避开中间介质的吸收带。比色测温法测量结果最接近真实温度, 并且适用于低发射率物体的温度测量, 但结构比较复杂, 价格较贵。优点: ①可以采用伪彩色直观显示物体表面的温度场;②温度分辨力高, 能准确区分的温度差甚至达0.01℃以下。（2）光谱测温方法

光谱测温方法主要适用于高温火焰和气流温度的测量。当单色光线照射透明物体时, 会发生光的散射现象, 散射光包括弹性散射和非弹性散射, 弹性散射中的瑞利散射和非弹性散射的拉曼散射的光强都与介质的温度有关。（3）声波、微波测温方法

声学测温是基于声波在介质中的传播速度与介质温度有关的原理实现的, 因此只要测得声速, 就可以推算出温度。可以通过直接测量声波在被测介质中的传播速度, 也可以测量放在被测介质中细线的声波传播速度来得到温度。这种方法可以用于测量高温气体或液体的温度, 在高温时会有更高的灵敏度。

微波衰减法可以用来测量火焰温度, 其原理是当入射微波通过火焰时, 与火焰中的等离子体相互作用,使出射的微波强度减弱, 通过测量入射微波的衰减程度可以确定火焰气体的温度。

第三章 重点总结

3.1 数采仪原理

数采仪，全称为数据采集传输仪，主要应用于环境在线监测系统现场端。数采仪主要实现采集、存储各种类型监测仪器仪表的数据、并能完成与上位机数据传输功能的数据终端单元，具备单独的数据处理功能。

数据采集传输仪是现场仪表与上位机系统的连接仪器。数据采集传输仪通过数字通道、模拟通道、开关量通道采集监测仪表的监测数据、状态等信息，然后通过传输网络将数据、状态传输至上位机；上位机通过传输网络发送控制命令，数据采集传输仪根据命令控制监测仪表工作。在整个环境在线监测系统中，上位机是在线监测系统软件平台的统称，下位机则是现场仪器仪表的统称，包括仪表供应商提供的具有计算处理能力的工业控制计算机。

3.1.1 现用数采仪

⑴安捷伦34970A 安捷伦Agilent34970A是一种高性能、低价位的数据采集和开关主机，十分适于数据记录、数据采集和一般的开关与控制应用。它是一种半机架宽的主机，内部有61/2位（22比特）的数字电压表，其背面有3个插槽，可以接受开关与控制的模块某块组合。

Agilent 34970A包括了台式数字多用表（DMM）的功能特性，34970A具有61/2位的分辨率（22比特）、0.004%的基本直流电压精度和极低的读数噪声,加上高达250通道/s扫描速率，可以得到为完成工作任务所需要的速度和精度.强有力的适应能力Agilent 34970A的独特设计允许逐通道进行配置,以求达到最大的灵活性及快速方便设置内部的自动量程转换。DMM有11种不同的直接测量功能，而不需要昂贵的外部信号调整。内部的温度转换程序可以C、F或（Kelvin）显示未处理过的热偶、RTD或热敏电阻的输入。利用定度可将线性传感器的输出直接转换到工程单位，甚至可以设置高/低超出容限的情况。

⑵ 横河MW100 MW100是可扩展的、高性能数据采集/数据记录平台，适用于恶劣测量环境下的PC控制/单机运行。高速、多通道测量，实验室和生产现场的理想选择。高耐压：600VAC rms 150/60Hz连续。高抗扰度：4通道隔离A/D电路。多周期(测量和记录周期可不同)。从小规模到多通道的灵活结构。

3.2 热电偶

两种不同成份的导体（称为热电偶丝材或热电极）两端接合成回路，当接合点的温度不同时，在回路中就会产生电动势，这种现象称为热电效应，而这种电动势称为热电势。热电偶就是利用这种原理进行温度测量的，其中，直接用作测量介质温度的一端叫做工作端（也称为测量端），另一端叫做冷端（也称为补偿端）；冷端与显示仪表或配套仪表连接，显示仪表会指出热电偶所产生的热电势。

热电偶实际上是一种能量转换器，它将热能转换为电能，用所产生的热电势测量温度，对于热电偶的热电势，应注意如下几个问题：

1.热电偶的热电势是热电偶工作端的两端温度函数的差，而不是热电偶冷端与工作端，两端温度差的函数；

2.热电偶所产生的热电势的大小，当热电偶的材料是均匀时，与热电偶的长度和直径无关，只与热电偶材料的成份和两端的温差有关；

3.当热电偶的两个热电偶丝材料成份确定后，热电偶热电势的大小，只与热电偶的温度差有关；若热电偶冷端的温度保持一定，这进热电偶的热电势仅是工作端温度的单值函数。将两种不同材料的导体或半导体A和B焊接起来，构成一个闭合回路，如图所示。当导体A和B的两个执着点1和2之间存在温差时，两者之间便产生电动势，因而在回路中形成一个大小的电流,这种现象称为热电效应。热电偶就是利用这一效应来工作的。

3.2.1 补偿导线

在一定温度范围内，具有与其匹配的热电动势标称值相同的一对带绝缘包覆的导线叫补偿导线。用它们连接热电偶与测量装置，以补偿热电偶连接处的温度变化所产生的误差。

补偿导线特点：

① 热电特性稳定，电绝缘性能好，使用寿命长。② 柔软，弯曲性能能好，使用方便。

③ 包覆层材料稳定可靠，具有一定的耐温性和耐寒性能。3.2.2 热电偶分度标准

热电偶的分度号有主要有S、R、B、N、K、E、J、T等几种。其中S、R、B属于贵金属热电偶，N、K、E、J、T属于廉金属热电偶。

S分度号的特点是抗氧化性能强，宜在氧化性、惰性气氛中连续使用，长期使用温度1400℃,短期1600℃。在所有热电偶中，S分度号的精确度等级最高，通常用作标准热电偶；R分度号与S分度号相比除热电动势大15%左右，其它性能几乎完全相同；

B分度号在室温下热电动势极小，故在测量时一般不用补偿导线。它的长期使用温度为1600℃，短期1800℃。可在氧化性或中性气氛中使用，也可在真空条件下短期使用。

N分度号的特点是1300℃下高温抗氧化能力强，热电动势的长期稳定性及短期热循环的复现性好，耐核辐照及耐低温性能也好，可以部分代替S分度号热电偶；

K分度号的特点是抗氧化性能强，宜在氧化性、惰性气氛中连续使用，长期使用温度1000℃,短期1200℃。在所有热电偶中使用最广泛；

E分度号的特点是在常用热电偶中，其热电动势最大，即灵敏度最高。宜在氧化性、惰性气氛中连续使用，使用温度0-800℃；

J分度号的特点是既可用于氧化性气氛(使用温度上限750℃)，也可用于还原性气氛(使用温度上限950℃)，并且耐H2及CO气体腐蚀，多用于炼油及化工；

T分度号的特点是在所有廉金属热电偶中精确度等级最高，通常用来测量300℃以下的温度

3.3 热线风速仪探头

热线风速计分旁热式和直热式两种，见图。旁热式的热线一般为锰铜丝，其电阻温度系数近于零，它的表面另置有测温元件。直热式的热线多为铂丝，在测量风速的同时可以直接测定热线本身的温度。

图3.1 热线风速探头

由风速探头的结构特点，0963-00型测温元件与发热部分所处平面必须垂直于流体方向才能保证测出同一时刻的温度变化，所以为指向型探头。0964-01/02型探头由于结构特点，无需调整方向便可测量所处流体的风速。

第三篇：道路测量方法

一.控制测量

1.平面控制系统的建立

1)开工前，对业主或设计部门提供的施工区平面控制起始坐标点（应不少于二个点）采用全站仪按多边形导线网或四等导线测量的技术要求和精度指标进行联测复核（此项测量工作进行时，最好与专业监理工程师联合测量以避免增加不必要的外业工作量）。若发现标志不足、不稳妥、被移位或精度不符合要求时，将进行补测、加固、移设或重新测校，并通知监理单位和建设单位。联测点复核完成并经内业平差计算，测量精度指标达到相应的技术要求后，按工程监理部规定报表格式填写联测复检成果报告，报送工程监理部专业测量监理工程师和项目总监签认，否则不得进行后序测量工作。

2)起始平面控制坐标网点经联测复核合格并经工程监理部签认后即可进行平面控制坐标点加密测量。

a.加密控制网的布设形式及布点埋石：鉴于该工程的特点，其加密平面控制网的布设在道路中线。

b.平面控制点加密导线测量采用全站仪，按《工程测量规范》GB50026-2007规范中精密导线测量的技术要求和精度指标进行。c.平面控制加密导线点外业测量完成，并经内业计算满足技术要求后，应填写测量成果报验单，连同加密导线计算表一同报送工程监理部专业监理工程师签证，如监理工程师提出疑议和要求对加密导线进行复核，应密切配合，并提供所需测量设备和相关测量人员。d.经工程监理签认的测量成果即可作为测量放线的依据，否则应进行补测或重测，并重新进行报验。

e.在工程施工中，应定期对所布设的加密控制网进行复测，以防止因施工而引起控制点的位移变形而影响施工放线的质量及精度，复测结果应形成文字资料，报送工程监理部。2.高程控制系统的建立

1)对业主或设计部门提供水准基点（不应少于2个点）进行水准联测复核，测量水准基点时采用S1型精密水准仪配水准尺，按三等水准测量的技术要求进行，复核测量结果报送监理部签认（此项工作在外业作业时，亦应请专业监理工程师到场监督）。2)水准点加密测量水准路线的确定按点埋石：在标段施工区间范围内，沿线路两侧的稳定位臵埋水准点标志桩并与业主或设计部门提供的水准基点形成符合或闭合水准路线，相邻两加密水准点间距离控制在80～120m，以确保在进行施工测量高程放样时能引测高程。二.施工图审核

工程开工施工放线之前，项目部专业测量工程师应对整个工程施工图中给出所有测量放线起始数据进行认真的复核计算，并以表格或附图的形式形成书面资料，对经过复核计算

与施工图不符的测量放样数据，连同原图纸给定的数据以及其所在的施工图的位臵记录一起报送工程监理部，以便及时与设计部门联系处理，这些数据只有在原设计部门有明确答复和确认后才可作为测量放线的依据。

三.道路工程测量方法

1.工艺流程

2.操作方法 1)测量桩位交接

a.测量桩位交接工作一般由建设单位组织，设计或勘测单位向施工单位测量工程师交桩。交桩要有桩位平面布臵图。桩位交接后办理交接手续。

b.交接桩数量应根据工程的大小确定。如果与另外施工段连接，应在连接处向界外多交至少一个坐标点和水准点。

c.接桩时应察看点位是否松动或被移动，若已松动或被移动，应及时向勘测单位提出补桩的申请。

d.施工单位应逐一记录现场点位，并做好桩位标记录，桩标不突出的应用钢尺拴桩，做好标记，便于寻找复测。

e.接桩后应及时进行标桩保护，采取混凝土加固、砌保护井和钉设标志牌等措施，容易被车撞轧的控制点应钉设防护栏杆。2)桩位复测

a.接桩后依据设计图纸和交桩资料进行内业校核，检查成果表中的各项计算是否正确。

b.桩位的坐标复测宜采用附合导线法进行，高程复测宜采用附合水准测法。c.复测中发现问题应及时与交桩单位联系解决。复测合格后及时向监理工程师或建设单位提交复测报告，以使复测成果得到确认后使用。3)布设施工控

制网

a.在桩位交接工作结束后，按照要求的精度等级进行施工控制网的布设。平面控制网的布设宜采用沿线路方向的除合导线；高程控制宜采用附合水准线路或三角高程测量。

b.外业观测应选在能见度高、无风的清晨或傍晚进行，以减小大气折光及气压、温度的变化对观测的影响。

c.水准测量可采用一组往返或两组单程进行，往返测或两组单程测高差不符值在限差以内时采用平均值。

d.内业计算必须使用监理工程师认可的表式。计算步骤应清晰、有条理，成果合格后必须报监理工程师确认。e.控制桩必须采取拴桩等有效保护措施。4)现况调查及原地貌测量

a.在施工前，应先放出路基征地线（红线），并调查与记录征地线范围内需拆迁或改移的建（构）筑物、树木、文物古迹、各类地下管线等。若征地线范围不能满足施工需要，应及时以书面形式报告监理及建设单位。

b.在现况调查结束后，应计算每一桩号中心坐标与对应的路基宽度，放出路基中线与边线。为保证填方段路基边坡的压实度，在每侧路基设计边线外加宽500mm作为填筑边线。如遇到路基范围内有不适宜材料需挖除、换填，必须在开挖之前与换填之前测量其范围及深度，并经监理工程师确认。c.路基清表前，均应按纵向50m测设一断面，横断方向6~10点测量原地面高程。若地形复杂，可以按纵向10~20m测设一断面，所有点位及高程数据应记录在册。在清表后，恢复所有点位并测量此时地面高程作为清表后的地面高程。5)路基施工测量 a.线路中边桩测量放样

直线上中桩测设的间距不应大于50m，平曲线上宜为5~10m。i.路基施工前，应根据恢复的路线中桩、施工工艺和有关规定钉出路基用地界桩和路堤坡脚、路堑堑顶等的具体位臵桩。在距路中心一定安全距离处设立控制桩，其间隔不宜大于20m。桩上标明极号与路中心填挖高，用（+）表示填方，用

（一）表示挖方。ii.路基施工期间每月复测一次水准点。

iii.机械施工中，应在边桩处设立明显的填挖标志，宜在不大于50m的段落内，距中心桩一定距离处埋设能控制标高的控制桩，进行施工控制。发现桩被碰

倒或丢失时应及时补上。

iv.施工过程中应保护所以标志，特别是一些原控制点。

v.根据工作需要，可测设线路起终点桩、百米桩、竖曲线的变化情况加桩。b.填方路段

填方段路基每填一层恢复一次中线、边线并进行高程测设。在距路床顶0.7m内，应按设计纵、横断面数据控制；达到路床设计高程后应准确放样路基中心线及两侧边线，并将路基顶设计高程准确测设到中心及两侧桩位上，按设计中线、宽度、坡度、高程控制并自检，自检合格并报监理工程师确认后，方可进行下道工序施工

i.清表后，根据坐标法和填挖宽度计算法，放样出路基填方的坡脚线，直线段每20米一个桩，曲线段视曲线半径分别为10米和5米一个桩，并注明填方高度。

ii.施工过程中，每填筑一层，根据坐标法和填方宽度计算法，放样出路基填方的实际需要宽度，并在桩上标明填方深度。

iii.每填筑到一定的高度，根据坐标法和填挖宽度计算法，放样出路基填方的实际需要宽度，根据此宽度再修整坡面。c.挖方路段

路基挖方段应按设计高程及边坡坡度计算并放出上口开槽线；每挖深一步恢复一次中线、边线并进行高程测设；高程点应布设在两侧护壁处或其他稳定可靠的部位。挖至路床顶1m左右时，高程点应与附后的高级水准点联测。清表后，根据坐标法和挖方宽度计算法，放出路基挖方的开口线。d.路面基层施工测量

i.路面基层施工测量重点在控制各层厚度与宽度。平面测设时，应定出该层的中心与边线桩位。边线桩位放样时应比该层设计宽度大100mm，以保证压实后该层的设计宽度。

ii.高程测设时，应将设计高程按一定下反数测设到中线与边线高程控制桩上；在使用摊铺机作业时，此时高程控制桩应采用可调式托盘；且桩位间距不应大于10m。在摊铺机行进中，应有专人看管托盘，若发现托盘移动或钢丝绳从托盘掉下时，应立即重测该处高程。iii.当分段施工时，平面及高程放样应进入相邻施工段50~100m，以保证分段衔接处线型的平顺美观。

iv.在交叉口或其他不规则地段，高程放样应根据设计提供的方格网进行。e.路面面层施工测量

i.路面下面层施工测量：在使用摊铺机进行路面下面层施工测量时，其施工测量方法同路面基层。只是应在摊铺压实后及时复测，以保证摊铺厚度。必要时，应适当调整压实系数。

ii.路面中、上面层施工测量：当摊铺机采用下面层同样的方法作业时，其施工测量方法路面基层。若采用浮动基准梁作业时，在摊铺机起步阶段应测量熨平板的平整度及高度；进入正常摊铺后，应在摊铺压实后及时复测高程，以保证摊铺厚度。

iii.在交叉口或其他不规则地段，高程放样应根据设计提供的方格网进行。f.路缘石、边坡施工测量

路缘石放样时，直线上桩位测设的间距不应大于10m，平曲线上宜为5m；当公路曲线半径和缓和曲线长度小于30m或采用回头曲线时，桩位间距不应大于3m。高程控制桩的间距与上述一致。

四.排水工程测量方法 1.施工前测量准备 1)熟悉图纸和现场情况

施工前，要认真研究图纸，了解设计意图及工程进度安排。到现场找到各交点桩、转点桩、里程桩及水准点位臵。2)校核中线并测设施工控制桩

中线测量时所钉各桩，在施工过程中会丢失或被破坏一部分。为保证中线位臵准确可靠，应根据设计及测量数据进行复核，并补齐已丢失的桩。在施工时由于中线上各桩要被挖掉，为便于恢复中线和其他附属构筑物的位臵，应在不受施工干扰、引测方便和易于保存桩位处设臵施工控制桩。施工控制桩分中线控制桩和附属构筑物的位臵控制桩两种.3)加密控制点

为便于施工过程中引测高程，应根据原有水准点，在沿线附近每隔150m增设一个临时水准点。4)槽口放线

槽口放线就是按设计要求的埋深和土质情况、管径大小等计算出开槽宽度，并在地面上定出槽边线位臵，划出白灰线，以便开挖施工。2.市政排水工程施工测量 1)设臵坡度板及测设中线钉

市政排水工程施工中的测量工作主要是控制市政排水工程中线设计位臵和管底设计高程。为此，需设臵坡度板。坡度板跨槽设臵，间隔一般为10-20m，编以板号。根据中线控制桩，用经纬仪把市政排水工程中心线投测到坡度板上，用小钉作标记，称作中线钉，以控制市政排水工程中心的平面位臵。2)测设坡度钉

为了控制沟槽的开挖深度和市政排水工程的设计高程，还需要在坡度板上测设设计坡度。为此，在坡度横板上设一坡度立板，一侧对齐中线，在竖面上测设一条高程线，其高程与管底设计高程相差一整分米数，称为下反数。在该高程线上横向钉一小钉，称为坡度钉，以控制沟底挖土深度和管子的埋设深度。五.竣工测量

竣工测量由建设单位委托有相应资质的专业单位进行。其内容包括：中心线、高程、横断面图示、附属结构和地下管线的实际位臵与高程。1.质量标准

1)导线测量的主要技术要求应符合表3.0.1的规定。

注：N为测站数。

2)水准测量的主要技术要求应符合表3.0.2的规定。

六.测量注意事项 1.平面控制测量

1)测量过程中，要做到小心、仔细、认真，做到测量前要先计算，测量过程中要复算，测量完之后，做好复核工作。

2)在选择测站基点时，要选用已经批复的加密点。仪器要调平并对准导线点位，后视点的棱镜杆气泡要居中，监测点的棱镜杆要立直，误差控制在±5mmm范围内。

2.高程控制测量

1)水准测量，仪器要经常检校，读数时要仔细，测量采用闭合线路或者附和线路，以减小测量误差或出现测量错误。

2)水准后视点选用已批复的可以使用的加密水准点。测量完之后，先复核，后要与现场仪器测量点位相比较，核对是否有出入。3.仪器管理

施测人员进入施工场地必须戴好安全帽。技术室要按贯标程序文件要求建立测量仪器台账。

测量队仪器由专人负责保管，保证仪器的完好性，始终处于正常使用状态，并定期进行保养。

测量仪器应经过有关部门鉴定，具有检验合格证，鉴定周期满后，要技术送检校验。

测量所使用的仪器精度要满足设计及规范要求。在基坑边投放基础轴线时，确保架设的全站仪稳定性。操作仪器时，同一垂直面上其他工作要注意尽量避开。施测人员在施工中应坚守岗位，雨天或强烈阳光下应打伞。仪器架设好，须有专人看护。

施工过程中，要注意旁边的模板或钢管堆，以免仪器碰撞或倾倒。所用线坠不能臵于不稳定处，以防受碰被晃掉落伤人。测量人员持证上岗，严格遵守仪器测量操做规程作业。使用钢尺测距须使尺带平坦，不能扭转折压，测量后应即卷起。钢尺使用后表面有污垢技术擦净，长期储存时尺带涂防锈漆。

七.道路测量示意图

第四篇：血糖仪测量方法（模版）

血糖仪测量方法 血糖仪包括：血糖仪、采血笔、血糖试纸

一般糖尿病人查血糖：一查空腹血糖，二查饭后两小时的血糖。空腹血糖正常范围是

3.9-6.1mmol/L(70-110mg/dL)，高于7.0mmol/L(126mg/dL)诊断为糖尿病。那么空腹糖尿病的诊断标准是 7.0 mmol 或者是 126 毫克这个标准，你可以看出正常值和糖尿病的空腹诊断是有差距的。有的人既不是正常的，也没到糖尿病。我们管这种症状叫做空腹血糖增高（受损）。另外，饭后血糖也是很重要的，正常餐后两小时血糖范围是

3.9-7.8mmol/L(70-140mg/dL)。餐后血糖 的诊断标准是 11.1 mmol 或 200 毫克以上。那么 140 和 200 之间也有一个差距。如果血糖在这个阶段，我们管它叫做餐后血糖增高。不是糖尿病，也不是正常人。不是糖尿病的人血糖增高是很危险的，很容易得糖尿病。血糖仪使用时采血的正确方法：

测量前的准备工作：（1）先将试纸盒中的记忆码插入仪器中与试纸瓶上的编码核对，要求数值一致（2）将要采血的部位进行全面消毒

采血方法：选择手指上无名指指尖两侧皮肤较薄处采血，因为手指两侧血管丰富，而神经末梢分布较少。在这个部位采血不仅不痛而且出血充分，不会因为出血量不足而影响结果。采血前可将手臂下垂10～15秒，使指尖充血，待扎针后，轻轻推压手指两侧血管至指前端三分之一处，让血慢慢溢出即可。成功采血后，用消毒棉球将采血部位按住，以免少许血液溢出。

血糖仪使用时采血的注意事项

（1）告知顾客血糖试纸、和测试针都是一次性的不能反复使用的。（2）试纸应放在干燥、通风的位置，开盖后，最好在三个月内用完，以免影响测量结果的准确性（3）采血时，不要慌张，动作要准、要快。

测后结果疑问分析：当然，测量中的一些错误方法也会人为地影响结果的准确性，比较常见的有三种： 1．有些患者在测血糖时，因为扎得不深而出血量少，于是就用力去挤，结果把组织液也挤了出来，影响了测量的准确度。另外，手指要有一定的温度，如果温度很低，血管易收缩，造成出血量太少，结果也会不准确。2．建议患者用酒精消毒。如果用碘酒，会导致测试结果出现偏差。用酒精消毒时，也要等酒精完全挥发之后再测试，否则酒精稀释了血液，结果也会不准。3．要注意试纸的失效期。有些试纸是裸装在一个整盒里，取出一张试纸后要马上将盒子盖紧，保持试纸的干燥，防止其发生氧化反应。4。不论是家用的血糖仪还是医院的测血糖仪器，测出的数值不会每次都一样，应该说误差值在±10％以内的血糖仪就是非常好的，一般要求误差值不超过±20％。在这个问题上没有绝对正确，只有相对正确。

第五篇：隧道测量方法

隧道测量方法

隧道工程测量，多半时间是在隧道里工作，但是隧道里的工作环境一般都比较恶劣，比如：光线比较暗、空气质量差、路面不平且有明沟和暗沟以及有时还会出现和别的工作之间的平行、交叉作业，这都给测量工作的进展和精度带来了一定的影响和挑战，所以在隧道里面工作我们必须熟练掌握隧道测量的方法和技巧，能够及时准确的完成每一次测量工作。

每次进洞之前要备好以下测量工具：测量仪器（主要包括红外线激光全站仪、配套脚架、单棱镜及配套简易脚架）、强光探照灯及其他辅助测量工具，其中强光探照灯是必不可少的辅助工具，杜伯华工程是中国水电总公司总承包的工程，我们使用的是TOPCON GTS-601LP、SOKKIA SET230RG全站仪，其中SOKKIA SET230RG全站仪是测程能达500米红外线激光全站仪，这样可样方便在洞中找出放样点。(二)隧道测量的程序及运用

因为隧道测量是三维的测量工作，仅仅用普通的全站仪里面的程序不能很好的进行测量工作，所以我们需要配合科学计算器，现在一般运用较多的有CASIO4500、CASIO4800、CASIO4850等型号的编程计算器。

现在的隧洞一般多为直线型和弧线型，在隧道测量测量工作中我们要根据现场的要求来进行编程。

直线段马蹄形隧洞的应用程序： 文件名:MTX1

Fix3：Lab0：｛NEZ｝ ：｛XY｝ Pol（N-X，E-Y）： S=L-I*Cos(J-A)Q=I*Sin(J+180-A)O=Z+(L-S)*i

Z≥O→C=√((Z-O)+Q)

≠→W=√((AbsQ+R)+(O-Z))

Goto 0

程序使用说明：

1、Fix指定小数点后取值位数；

2、NEZ起始点的坐标，XY待测任一点的坐标（变量）；

3、Pol直角坐标向极坐标变换；

4、S测点的桩号，L起始点的桩号，J方位角，A为测点与起始点的连线与轴线的夹角

I是测点到起始点的距离、Q是测点到垂直于圆心半径的距离，Z、O分别为已知点和半圆圆心点的高程，i洞子的坡度；

5、C、W分别为上半圆和下部圆弧的半径。

注：在测量过程中本程序的使用点为C、W的数值变化，因为设计时上下部的半径都是一个固定的常数，所以在测量过程中通过对上下圆弧线上的点进行测量，然后把测量的点位数据输入计算器中，通过程序的计算得出C、W的值，再和已知半径向比较，如果和已知半径的数值相同，说明测点为圆弧上的点，就可以在掌子面上做油漆标记了，一般每隔50cm左右做一个点，这样下来这个断面放线就算完成了。

圆弧段马蹄形断面隧洞的应用程序 文件名:LX1

Fix3：Lab0：｛NE｝ ：｛XYZ｝

Pol（N-X，E-Y）：

S=L+3.14*R*(J-A)/180

2222Q=I-R

O=E1+M1+(S-L)*i Z≥O→P=√((Z-O)+Q)≠→W=√((AbsQ+M2)+(O-Z))

Goto 0 程序使用说明：

1、Fix指定小数点后取值位数；

2、NEZ起始点的坐标，XY待测任一点的坐标（变量）；

3、Pol直角坐标向极坐标变换；M1起始桩号处的底板到半圆圆心的距离

4、S测点的桩号，L起始点的桩号，J方位角，A为测点与起始点的连线与轴线的夹角（在使用时注意把角弧度Rad作为缺省单位，在计算器角度测量单位选单中切换即可），I是测点到圆弧圆心的距离、Q是测点到垂直于圆弧半径的距离，Z为马蹄形断面上任一点的高程、O为上半圆圆心点的高程，E1为起始桩号处的底板高程(定值)，M1起始桩号处的底板到半圆圆心的距离(定值)，i洞子的坡度, M2为下部圆弧的圆心到上部圆心的距离(定值).5、C、W分别为上半圆和下部圆弧的半径。

6、在使用本程序的时候，注意几个转折的地方，一是使用本程序前一定要把角弧度Rad作为缺省单位；二是测点时注意图形的转折点,这样打出来的洞形才会更加标准.坐标反算： L1 NE:Fixm:｛XY｝ L2 Pol（N-X，E-Y）L3 W＜O W=W+360

L4 IntW+0.01Int(60Frac W)+0.006 Frac(60Frac W)说明：

1、本程序用于计算直角坐标值已知的两点间的边长和坐标方位角。

2、起算点和目标点的坐标分别为（N，E）、（X，Y）。

3、起算点改变时应重新调用程序以改变N，E的值。

4、边长值和方位角分别自动存放在“V”和“W”中。

“W”的单位为：度“ °”。

边角后方交会

L1 NEXY：Lbl5: ｛ABC｝ L2 Pol（N-X，E-Y）

L3 Q=90(1-K)+K Sin-1(S Sin P/V)L4 T=W+180-P-Q

L5 Rec(S,T):X=N+V Y=E+W L6

Goto 5 说明：

1、测边的已知点作为P1（N，E），未测边的点作为P2（X，Y）。

2、K=-1。

3、P是以测边方向为起始方向，顺时针观测另一个已知点方向的右角。

4、理想图形要求实测的S边相对于已知边P1P2越短越好，角P越接近180°越好。

(三)、测量人员的安排及测量过程

2在隧道测量工作中，测量人员的安排是有一定规定的，因为没一个人都有一定的作用，一般内放样人员需要4人，带班一人，辅助3人，每人的具体分工为：一人观测、一人纪录、一人扶棱镜、一人做点。

仪器架设在待测断面前，不宜距离掌子面太近，也不宜太远，太近了由于刚爆破不久，岩石还不太稳定，影响人员和仪器的安全，太远不利于无棱镜观测；由于仪器受洞内的温度、湿度以及机械的干扰很大，所以测量过程中要不断的查看仪器的气泡是否居中，及时调整，以免影响测量精度。在观测时一般用后方交会的方法来进行施工放线比较简单省时，我们在此工程中基本都是这样进行的。

五、开挖断面超欠挖的测量、内业成图及方量计算

(一)外业测图

此工程业主要求施工单位每5米测一个断面，用以检查超欠挖的状况，我们采用的方法是在洞轴线上的大致位置架设全站仪，仪器整平后,调用SOKKIA SET230RG全站仪内存里的后方交会测量程序,以已知的两个控制点为后视点,很容易就能测出仪器架设处的坐标,把所测的坐标记下或存入全站仪中,然后利用所测的坐标进行测站设置:然后配合CASIO4800计算器内编制的隧洞测量程序,把距仪器前后10-30米范围内每5米一个断面的桩号测出来,并标在洞子两侧,接下来就可以测断面了,测断面的时候一定要有一个测量人员在所测断面处进行指挥,不要让激光偏离断面太远,记录人员要记好每个断面的起止点号,此项工作如果大家能配合紧密的话,一般每个断面只需1-3分钟就能测完,所测的坐标数据能够自动存储在全站仪内存中.(二)内业处理数据

外业结束后,通过全站仪的内存数据传输到计算机上后为GIS格式,传输完毕后,打开数据文件,把所有数据复制到记事本文件中,然后保存, GIS格式就转化为DAT格式的数据文件了,然后把数据文件打印出来,并在相应的点号范围内标出每个断面的桩号.(三)计算数据

接下来的工作就要进行数据的计算和整理了,绘图数据包括偏中距离和断面上每点的高程,高程已测出, 偏中距离可以利用计算器内编制的隧洞测量程序算出,此程序设置的偏左距离为负数,偏右距离为正数,整理完这些数据后,把偏中和高程数据整理好,并在每个点的数据前面加上”@”,在高程后面加上”;”,保存.(四)绘制断面图,计算方量

下面的工作就是绘制断面了,绘制开挖断面之前,先在CAD中绘制出每一个断面的设计开挖的标准断面和底板高程,然后再利用已算好的断面数据和CAD绘制多段线命令来绘制实际开挖断面,每绘好一个,把它复制到相同桩号的标准断面中,比较两者的区别,再用创建块命令对超欠挖部分创建块,再用查询命令查处超欠挖块的面积,输入EXCEL表格中,利用平均断面法算出相邻两断面的平均面积， 相邻两断面的平均面积乘以断面间距即为两断面间的超欠挖体积,再进行求和,就能算出超欠挖的方量.