振动监测报告

振动监测报告

1必要性

目前，振动监测已被广泛应用于冶金、石化、电力、化工、造纸、制药、机械制造等行业，在有大量的电机、泵、风机、压缩机、变速箱等机械设备在连续工作的系统中,通过监测这些旋转机械的振动幅度、频率、方向等物理量的变化,及时掌握设备的工作状态。半导体生产线中生产任务安排紧密，时间就是效益，一些关键设备一旦出现问题，会对整个生产线造成严重扰乱，甚至导致前期半成品报废，产品延期，造成重大损失。由于半导体生产线中设备数量多，种类杂，精度高，市场现有振动监测经验不能直接应用，在我所以及半导体行业内，尚无应用振动监测进行预测性维修的经验，处于技术空白。项目以振动监测为技术手段，通过建立模拟运行系统，积累分析数据，研究半导体生产线设备机械故障的振动特点，以期达到无损监测设备状态，发现设备机械故障隐患，从而在半导体生产线中应用预测性维修，减少故障停机对生产造成影响的目的。

1.1本项目研究的背景

1.1.1本项目的任务来源

近年来，随着国家的发展，我所产值由几亿到几十亿以及将要向百亿突破，科研生产任务也越来越重，各生产线的任务安排也是越来越紧密，设备可以说是生产线上最重要的环节，尤其是一些重点设备，其运行状态的正常与否对产品质量以及生产任务能否按时完成起着决定性的作用，一旦设备故障停机，对生产造成的影响也越来越突出，尤其是重点设备的长时间故障停机，往往会造成重大损失，目前我所生产用设备普遍采用事后维修方式，工作流程如下所示

在这种模式下，随着部门的不同，1—2步所需时间从几分钟到几天不等；第3步所需时间要看维修人员是否全部正在进行维修任务，在设备故障集中爆发的时候，这个时间甚至能达到三天；3—4步平均时间在一天内，80%的都控制在半天内，当然也有部分设备的故障较为复杂，判断故障需要几天甚至十几天的时间，这种情况所占比例不超过5%；4—5步所需时间视情况不同基本在两天内，紧急情况可以在半天内完成；6—7步，一些常规配件或已有成熟渠道的备件经常能在第二天到货，而一些非常规备件尤其是进口备件经常需要一两个月时间，有些个别的定制件甚至需要几个月以上；一旦到第7步，备件到货后，真正修复设备需要的时间往往很短，90%都可以在一天内修复完成。在这其中，1—2步的提交维修申请可以通过增强部门内部沟通减少，但是对一些对设备不够熟悉的操作者来说，可能判断设备异常状态都是有一定难度的，需要寻求部门内对设备更熟悉的人员的帮助，都会经过一定的时间，而且一些较为隐蔽的机械故障，在前期很难发现，不是专业的维修人员不会注意这些情况，等操作者发现时往往故障已经扩大化，造成了故障部件外其他部件的损坏。2—3步在有限的维修人力资源下，只能通过对设备的重要程度，进行有限程度的调控，优化程度有限。3—4步和备件到货后修复的时间基本可控且在整个维修周期内占比最低。在这整个维修周期内，6—7步，属于时间最长，而且我方不可控的阶段，往往设备修复耗时长，影响生产任务的情况，都是由于这一步用时太长的原因。重要的是在这整个维修周期内，设备处于带病运行或故障停机状态，无论是带病运行造成故障扩大还是设备长时间故障停机，都会造成重大损失。

如果，我们可以提前发现设备故障趋势，大致判断故障时间，较为准确的判断故障部件，我们的维修模式就可以进行改变，不再采用事后维修这种模式，改为预测性维修的模式，更加灵活的安排维修任务。如下所示

在这个过程中，免去了事后维修模式的1、2、3的过程，以一过程替代了4、5过程，尽管一过程和4、5过程同样时间不可控，但是，值得注意的是，这个时间段内，设备尚未发生故障，还在正常使用状态，同时用二过程替代了事后维修的7过程，这样可以综合考虑生产任务的安排情况和维修任务的繁忙情况，更合理的、有计划的安排维修时间，尤其是在这整个维修周期内，设备完全处于正常运行状态或大部分时间处于正常使用状态。用一句话概括预测性维修和事后维修的最大区别：预测性维修是把工作做在了设备发生故障之前，因此最大程度的降低了故障停机时间。

正是由于预测性维修的优越性且目前已有大量成功实施的案例，各国生产行业也对预测性维修越来越重视。要想在半导体行业应用预测性维修，振动监测作为预测性维修的重要手段之一，尚无资料显示其有半导体行业中应用的实例，亟需实验数据的积累及分析，这也是本项目的主要任务来源。

1.1.2新形势对振动监测在半导体生产设备中的应用提出了迫切的需求

在我所从事生产用设备的机械故障中，约有2/3的故障是由运动部件动作不畅直接或间接造成的，其中部分严重的情况会造成故障扩大，如电机烧毁、传动轴磨损、丝杠损坏以及导轨损坏等。还有部分电气故障是由于设备运动部件状态不良，振动过大，造成一些传感器移位，从而导致设备异常，甚至造成设备误动作，损毁部件的情况；包括部分线路接触不良也是由于设备的异常振动导致线路松动所致。

如图一所示，为等离子清洗所用真空泵，由于清洗工艺不可避免的造成泵内有粘稠状胶质物积累，该状况无法通过换油改善，胶质物经过长时间累积到一定量后，会造成真空泵负载变大，导致了该泵联轴器超负荷运转损毁，虽然因为其所用电机有过热保护没有烧毁，但长时间在临界状态的运转，也会造成电机寿命缩短，如果提前通过振动监测察觉其振动状态改变，仅需在故障前期进行维护，对泵腔、转子及旋片进行清洗即可。

图二所示为某激光设备工作台Y轴驱动电机，当工作台Y方向不能动作时才发现故障，经判断为电机轴承卡死，由于该设备为进口设备，轴承不易寻找，用时三天才找到备件，若能在其故障前期发现，提前寻找备件，此次维修可以在两小时内完成。

图三所示为某激光打孔设备FP模组，因其噪声过大发现故障，此时故障已接近晚期，然而该模组为定制产品，下单后才开始生产，周期要30天，该设备生产任务安排非常紧密，每停机一天就有几千元损失，在发现故障后一周就已完全不能使用。由于其转速达到5000r/min，一旦靠人耳听发现噪音变大时，已经进入故障爆发阶段，将会迅速失效甚至造成故障扩大，若能在前期通过振动监测发现隐患，可提前订购配件，避免损失。

图一

图二

图三

尤其是精度越高，运动速度越快，转速越高的设备，在故障隐患其越难靠人的直观感觉发现，而这些情况下，故障的突然爆发往往会直接导致设备停机，甚至造成故障扩大。这就迫切的要求我们进行振动监测，以提前发现故障隐患，采取措施，从而避免损失。

1.1.3现有振动监测技术对半导体生产线设备的适用性分析

振动监测这一名词国外早在50多年前就已经提出，但由于当时测试技术和振动监测诊断故障特征知识的不足，所以这项技术在20世纪70年代前都未有明显发展。国内提出振动监测也有30多年的历史。

（1）振动监测就目前来分，可分为在线式和离线式。前者是针对冶金、石化、电力、等行业，设备需要连续工作的系统，在时间要求上相对较为紧迫，一旦延误甚至会发生生产安全事故，需要对设备进行24小时不间断监测，通过对其中旋转机械的振动幅度、频率、方向等物理量的变化，及时掌握设备的工作状态，利用计算机记录设备的运行参数，包括振动加速度、速度、位移等参数，通过和专家预置的信息相对比，一旦超过警戒值自动发出故障警报信息，故又称为自动专家诊断系统。系统的核心是专家经验，但是如何将各行业分散的专家经验进行系统化和条理化，能够统一运用到各行各业不同的设备上，是目前国内外许多专家正在研究的一个技术问题，因此这种诊断系统不能进行无缝移植，不能再不同设备间通用。即使市场上的专业振动监测公司，也是针对特定的设备设计和制造振动监测诊断系统，该系统具有唯一性和不可移植性。

（2）离线式振动监测是在有需要时，由人到设备现场，对设备各部位进行振动监测，可以将振动信号、数据采集后离开现场，进行仔细的分析、讨论或模拟实验，因此称它为振动监测离线诊断。离线监测诊断在故障诊断深入程度上要比在线诊断具体的多，因此难度也较大。

振动监测离线故障诊断技术包括诊断思维方法、振动故障范围及其特征（包括数据处理）和机理。但一般所说的故障诊断技术主要是指故障特征和机理，对于故障诊断思维方式和故障范围的研究，目前还未有特别深入的研究。

（3）半导体行业相对电厂、矿场来说，设备的规模较小，但精度要求高，设备台数多、种类多，需要监测的重点设备随生产任务的变化会随时改变，各生产线区域分开，甚至不在同一厂房。生产任务安排紧密，无法定时停机检修。现有的在线式监测系统，安装调试复杂，一旦应用于一套设备后，如需更换应用设备，要重新安装调试，过程复杂、漫长；另外，对半导体生产来说，在线监测方式存在影响产品稳定性的可能。所以，在半导体生产线更适合离线式、便携式的监测方式，由维修部门和使用部门合作，进行每日、每周点检，持续性采集数据，然后针对不同的设备建立各自的数据库，再分门别类的进行数据分析的方式进行。

综上所述，我们只能借鉴现有的振动监测诊断技术，不能生搬硬套到我们的生产线上运用，还需要自行进行实验研究，累积数据加以分析，以应用到我们生产线的设备上，而随着生产任务越来越重，应用振动监测手段来减少设备停机时间，提高生产效率，也是非常必要的。

1.2国内外现状和发展趋势

上世纪70年代以来，美国的后勤工程（Logistic Engineering）、英国的设备综合管理工程（Tero Technology）及日本的全面生产性维修（Total Productive Maintenance）的创立，标志着维修作为一门独立的学科登上应用工程学的舞台。伴随着维修科学的发展，预测性维修作为一种新兴的维修方式成为行业研究的热点。

预测性维修最早在西方发达工业国家兴起，目前已经是“工业4.0”提出的关键创新点之一，有资料显示，德国工程行业现已普遍接受并理解预测性维护这一重要的行业趋势。已有有部分公司着手深入解决这个问题。

预测性维修发展到现在，基本已经有了成熟的体系，如下所示

据知名物联网研究机构Lot analytics2017年发布的报告指出，2016-2022年期间预测性维修的复合年均增长率（CAGR）为39％；到2022年，年度技术支出将达到10.96亿美元（如图四所示）。

图四

报告数据基于110家从事预测性维修实施的技术公司相关业务的收入所得出，这些公司跨越13个行业和7个技术领域。

图五显示的是前二十名实现预测性维修的公司。

图五

IBM利用数据分析和优化能力，帮助美国的普惠发动机公司实现预测性维修，从而防止由于发动机故障导致的飞机事故。

SAP发力预测性维修市场已然有多年历史，并因此成为与“预测性维修”相关的关键词搜索最多的公司。全球最大的空气压缩系统供应商之一的凯撒空压机，借助SAP 预测性维修及服务解决方案实时监控压缩空气站的情况，并在客户资产出现故障之前主动采取维护措施。

作为工业自动化的专家，西门子将预测维修应用于工厂设置和工业设备的自动化系统中。西门子于2016年10月在德国铁路公司推出了为期12个月的预测性维修试点。西门子与美国致力于数据分析的Azima DLI公司合作，在NASA阿姆斯特朗飞行中心（冷却系统）实施预测性维修。

在我国，也已有大量成功应用预测性维修的案例。如2015年3月，长春第一热电厂锅炉引风机进行了以振动监测为主的故障预测。2015年4月，首钢长治钢铁有限公司轧钢厂的杨诚潜在《山西冶金》发表了《状态检测与故障诊断技术在精轧机设备管理中的应用》一文，其中介绍了两起以振动监测手段发现精轧机齿轮、滚动轴承故障隐患的案例。

我国的预测性维修技术还是处于较落后的阶段，属于个别零散的运用，没有比较标准的，具有较好通用性的成熟系统。尤其是在半导体行业，更是没有实施案例。

预测性维修是一个极为复杂的系统，振动监测及诊断技术是其中最为重要的一环，尤其是对有旋转部件的设备来说，振动监测及诊断技术更是核心部分。半导体生产线的设备99%的都具有旋转部件，想要在半导体生产线实行预测性维修，首先就要进行振动监测及诊断技术的研究。而针对半导体生产线的设备的特点，以振动监测手段来进行预测性维修，即简便有效成本又低。

1.3 存在的问题

目前，存在的主要问题是，国内没有振动监测在半导体生产设备上应用的经验，更没有累积的数据。现有的为一部分通用经验和数据，再就是其他行业部分设备的应用经验和实例。直接移植到半导体生产设备上将会有不适用现象。

1.3.1可能会对设备产生影响

在线式监测系统需要在设备上加装大量传感器，以及加装大量线路，再连接到远程端的在线振动监测控制箱或工控机，如图六所示为钢铁厂精轧机在线监测系统，系统结构复杂，针对设备单一，一旦安装不可移动。半导体生产线设备数量种类众多，重点设备也是种类数量众多，都建立在线式振动监测系统不太现实。另外，虽然半导体生产设备大多规模相对较小，但是精度要求高，动作维度多，复杂程度高，在线监测系统加装的众多传感器和线路难免对其动过造成一定影响。包括过多的线路对设备是否会造成信号干扰也是不可预测。

图六

1.3.2可能会对设备的状态产生误判

现有的离线式振动监测经验多是在电力、矿场、化工等企业的设备上得来。如汉能华科技对风电企业风电机组的离线式振动监测；北京万博振通对山东鲁恒生电气车间0.5MW电机的监测。这些设备有一些共同的特点：体型庞大，功率大，对精度要求低，经振动监测发现不正常时，往往有经验的维修人员凭感觉也能发现振动、噪声的异常，这时故障已经发生，造成了部分部件的损坏，大多数只是用振动监测的方式判断故障发生的大概位置，进行亡羊补牢式的操作。如对某厂循环水泵（图七）进行振动监测发现异常，此时拆解检查后，发现电机轴承外圈跑圈（图八），也就是轴承存在部分失效情况，此时在电机转动时，轴承外圈和轴承安装孔之间已经存在了相对运动，这时其实已经对部件造成了损坏（图九），其实此故障在早期应该只是轴承转动不畅，当轴承本身阻力达到一定程度时，由于一般轴承外圈和轴承孔之间为过渡配合，摩擦力相对较小，此时就会出现轴承外圈跑圈现象，造成故障扩大。

图七

图八

图九

这种大型设备本身正常运转时振动就大，故障前期的振动信号被隐藏在正常震动中，就造成了隐患发现延时的情况，但是如果监测信号放大过渡，又可能会造成误报。与之相比，半导体生产线的设备体型小、功率小、精度高。正常运转时振动很小，即使故障时的振动相对那些大型设备也是很小的，如果套用那些现有的大型设备的振动数据，恐怕会都被认为在正常工作范围内，无法监测出问题，必须对采集的数据进行处理、分析，但是同样的，如果数据处理的不合理，也会出现误报现象。

总之，现有的在线式振动监测及诊断系统和离线式振动监测及诊断技术都是只适用于特定行业的部分设备，对半导体生产设备来说并不适用，直接简单移植套用，不只起不到预测故障发生时间和部位以进行预测性维修的作用，还会造成无法发现隐患或故障误报的情况，对正常的维修工作造成干扰。

1.4项目的作用和意义

本项目拟针对预测性维修中的的核心技术，振动监测及诊断技术在半导体生产设备维护维修中的应用问题进行研究，从而经过数据、经验的积累，在半导体生产线运用此技术，减少意外停机，降低设备故障对生产造成的影响，提高生产效率；同时，通过对故障的预测，在故障前期进行维护维修，防止故障扩大，降低损失。

2研究目标

本项目的研究目标是：紧跟国际前沿技术发展趋势，结合已有的研究成果，设计制作有自主产权的模拟半导体生产设备工作状态的失效模拟系统，研究半导体生产设备机械动作部分故障前的振动变化状态，通过实验和数据的累积，运用现在先进的科技手段和数据分析手段，首先做到在试验系统可以预测故障发生部位和时间，进一步以试验得到的经验和数据，结合实际生产用设备数据的采集工作，在实际生产线的重点设备上进行振动监测，达到预测重点设备故障发生部位和时间的目的，从而可以根据生产安排情况，开展预测性维修，减少设备故障对生产造成的影响；同时避免过度维修造成的浪费。

3.研究内容

通过监测采集数据，对采集到的数据进行分析，根据加速度、速度、位移等数据，进行对比，结合理论研究，对动作部件的工况进行判断，通过研究数据的变化趋势，对部件的状态趋势进行判断，预测故障隐患部位及故障发生大概时间。应用前景

该项目完成后，将可以在半导体生产线中应用振动监测手段，在机械动作的故障前期发现隐患，从而可以根据生产安排，灵活有计划的决定进行维修的时间，减少因临时停机对生产造成的影响，同时可以避免故障扩大，减少损失。若技术成熟，简化操作，可以很大程度上可以实隐患性机械故障的发现不再过于依赖有经验的维修人员，推动预测性维修和全员维修在半导体行业的发展，提高行业的生产效率。可行性分析

作为项目承接单位，计量维修部是由原十九室和计量中心合并组成，十九室一直从事我所科研生产设备的维修工作，有大量的维修经验，有力的技术支持，计量中心有丰富的计量、测试的理论知识和实际经验，又有丰富的做项目的经验，我们组成的计量维修部，一定可以发挥1+1>2的水平。项目团队技术水平较高，熟悉半导体生产线的各种设备，具有丰富的维修经验及设备理论基础，项目负责人具备专业的技术知识和能力，具备完成该项目的研究基础和研究条件。

需重点解决的技术难点，怎么让其具有一定的通用性；如何在复杂的数据中区分出有效数据和干扰数据；如何把数据和部件对应起来。

5.1 具备的研究基础

20世纪70年代以来，电子技术和信号处理技术的迅猛发展，转子-轴承系统动力特性研究的不断深入，有力地促进了大型回转机械状态监测和故障诊断技术的发展，使大型回转机械状态监测和故障诊断技术水平不断提高。无论是用于离线监测和在线监测都有比较成熟的产品供选用，如德国vibro-meter在线振动监测系统，国内的航天智控AIC9900等。

在理论方面：国内有俞培松2007年在《同济大学》发表的硕士学位论文《滚动轴承振动故障诊断技术的研究及其实际应用》；黄伟国2010年在《中国科学技术大学》发表的博士学位论文《基于振动信号特征提取与表达的旋转机械状态监测与故障诊断研究》。

在实际应用方面：陈珊珊、李钢燕、何凤英2006年在《中国设备工程》发表的《振动诊断技术在设备点检定修中的应用》，介绍了振动监测在鞍钢某厂步进式加热炉风机故障诊断中的应用实例，并进一步说明了监测与诊断技术是实现点检定修的基础和重要手段；有杨诚潜2015年在《山西冶金》发表的《状态检测与故障诊断技术在精轧机设备管理中的应用》，介绍了振动监测在精轧机上的应用实例。

振动监测的应用在国内已有大量的论文提供理论支持和成功的实施案例。项目组具有丰富的半导体生产设备维修经验，对设备机械结构有足够的实践基础和理论基础，熟悉各种设备的机械易发故障和部件失效方式。项目组成员均具有大学本科及以上学历，具有学习振动监测理论知识的能力。综上所述，项目组具有完成项目的基础。

5.2 具备的研究条件

我所是国内最主要的半导体器件科研生产单位之一，在前道、后道都有多条生产线，设备数量、种类众多，可以为项目的实施提供丰富的参考样本，并且可以在日常做设备维修工作时，根据实际情况，随时检验研究成果。

现有的分析方法和数据不知道是否适用于半导体生产设备状况，需研究、测试、验证。不同的设备，不同的结构，其振动数据都不一样，如何在大量的数据中分辨出有效数据和无效数据，哪些数据是故障特征的表现，这是一个技术难点。

主要的风险是：虽然具有较好的理论性，但是没有经过专业的技术论证，实施起来可能难度很大，而且每一项可能都需要大量的时间，整体实施下来可能需要的时间可能会超过预期。

采取的措施：在实际操作中优化各方案，随时优化模拟系统结构和加速失效方法，加强学习振动理论和数据分析的方法，同时请各相关专业的学术机构对方案进行可行性论证和向各相关专业的专家请教学习。已实施的应用情况

前期以维修人员经验为主，通过听和触摸判断设备运行中振动状态的改变，对设备动作部件的工作状态进行定性判断，主要实施案例如下：

1)印刷机的吸片风机噪声异常，触摸感觉振动剧烈，明显超过正常运行的振动程度，判断为轴承故障，通过拆解确认，轴承滚珠生锈，转动卡顿，更换轴承后该风机运行状态恢复正常，避免了因轴承卡死造成电机烧毁。

2)退火炉上舟故障，在维修时发现下舟驱动装置噪声异常，振动变大，判断为直线轴承故障，对设备进行拆解检查后发现4个直线轴承均出现不同程度的防尘圈老化有脱落物进入轴承内部，滚动体有锈蚀、磨损现象，其单独在导轨上滑动时就有滚动体失效造成的动作不畅现象，所以造成了运行过程中的异常振动，同时还发现6个驱动轴承有不同程度的磨损，有的已经卡死不能转动，但由于驱动轴承较小，卡死不转不导致设备振动变化幅度较小，通过人的感觉无法提前发现。对损坏的轴承进行更换后，设备振动状态恢复正常。

3)干泵在运行中噪声、振动明显变大，判断其轴承磨损或转子磨损，即将发生故障，及时寻找备用泵，在造成故障停机前对异常干泵进行替换，减少了因故障造成的设备停机时间。

4)加工中心在运行中主轴振动变大，判断为主轴轴承磨损，需进行更换，及时对主轴进行维护，避免了主轴卡死造成更大的损失。

5)印刷机印刷头在X方向运行时噪声、振动明显异常，判断为滑轨滑块磨损，提前订购滑轨滑块，在生产间隙进行更换后恢复正常，避免了因设备故障对生产进度的影响。

6)

溅射台吊架转动噪音、振动变大，用测振仪进行监测，加速度值在0.7~0.8~0.9~1.1m/s，速度为0.1mm/s，位移为0.003~0.004mm，由于该部件运转速度较慢，转速在15r/min，且故障现象较轻，尚能正常使用，认为速度值和位移值只具有一定的参考价值。其在低速运转情况下，加速度值较大，且周期性变化明显，说明在运行过程中具有一定的刚性冲击，位移值和速度值较低，说明冲击过程较短，程度较低。造成这种情况有两种可能，一是轴承有间歇性卡顿，二是腔体内有障碍物对吊架的转动的路径造成了一定的遮挡。进行拆解后，去掉了电机、减速箱和吊架主体，仅对转动机构进行检测，加速度值为0.1~0.3m/s，因此时无法对其进行有效固定，速度值和位移值不具有参考性，周期性变化的加速度值进一步说明了具有间歇性的刚性冲击，此时可以准确判断为轴承具有间歇性的卡顿现象。进行拆解后发现轴承有锈蚀现象，且有大量脱落的锈蚀粉末。

溅射台吊架转动噪音、振动变大，用测振仪进行监测，加速度值在0.7~0.8~0.9~1.1m/s，速度为0.1mm/s，位移为0.003~0.004mm，由于该部件运转速度较慢，转速在15r/min，且故障现象较轻，尚能正常使用，认为速度值和位移值只具有一定的参考价值。其在低速运转情况下，加速度值较大，且周期性变化明显，说明在运行过程中具有一定的刚性冲击，位移值和速度值较低，说明冲击过程较短，程度较低。造成这种情况有两种可能，一是轴承有间歇性卡顿，二是腔体内有障碍物对吊架的转动的路径造成了一定的遮挡。进行拆解后，去掉了电机、减速箱和吊架主体，仅对转动机构进行检测，加速度值为0.1~0.3m/s，因此时无法对其进行有效固定，速度值和位移值不具有参考性，周期性变化的加速度值进一步说明了具有间歇性的刚性冲击，此时可以准确判断为轴承具有间歇性的卡顿现象。进行拆解后发现轴承有锈蚀现象，且有大量脱落的锈蚀粉末。

溅射台吊架转动噪音、振动变大，用测振仪进行监测，加速度值在0.7~0.8~0.9~1.1m/s，速度为0.1mm/s，位移为0.003~0.004mm，由于该部件运转速度较慢，转速在15r/min，且故障现象较轻，尚能正常使用，认为速度值和位移值只具有一定的参考价值。其在低速运转情况下，加速度值较大，且周期性变化明显，说明在运行过程中具有一定的刚性冲击，位移值和速度值较低，说明冲击过程较短，程度较低。造成这种情况有两种可能，一是轴承有间歇性卡顿，二是腔体内有障碍物对吊架的转动的路径造成了一定的遮挡。进行拆解后，去掉了电机、减速箱和吊架主体，仅对转动机构进行检测，加速度值为0.1~0.3m/s，因此时无法对其进行有效固定，速度值和位移值不具有参考性，周期性变化的加速度值进一步说明了具有间歇性的刚性冲击，此时可以准确判断为轴承具有间歇性的卡顿现象。进行拆解后发现轴承有锈蚀现象，且有大量脱落的锈蚀粉末。

对轴承进行更换后，单独对转动部分进行测量，加速度值为0.1m/s，且保持不变，对设备进行恢复安装后，噪声、振动情况恢复正常，同时产品溅射均匀度有所改善。案例分析：由于轴承间歇性的卡顿会造成吊架转速的不均匀，从而影响到产品溅射均匀性，而产品在进行溅射时是在真空密闭环境下，操作者无法有效观察到吊架旋转状态，设备本身只能设定吊架转速，没有对吊架转速的实时监控，所以在进行生产时吊架的旋转情况是不可知的，此次通过对吊架转动过程中的振动监测，发现了隐性故障，改善了产品溅射的均匀性。阶段总结

振动监测在半导体设备维修中具有一定的应用前景，通过依靠维修人员的听和触摸操作进行监测，可以判断振动较为明显的故障，但是针对本身振动较小、隐性的、振动改变轻微的情况，维修人员无法仅靠感官进行判断，需要通过仪器辅助，难点是没有任何经验，外界也没有半导体设备振动监测的经验可借鉴，而且对于高精度的设备，能否真正进行有效的应用不可知，目前也没有在高精度的设备上成功应用的机会和案例。后期计划

在现有的条件下，工作中采集更多的数据，循序渐进，寻找在更高端的 设备上应用的机会，根据设备故障情况，可以先从某一设备的某一运动单元入手。