EDX分析流程

2022-03-29 17:20:00下载本文作者:会员上传
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开始

仪器启动

参照第2.1项

标准样品的定量分析

参照第5.3项

误差(标准值-测量值)在允许范围内?★

No

Yes

使用标准化样品进行强度标准化

参照第5.4项

再定量分析标准化样品

参照第5.3项

误差(标准值-测量值)在允许范围内?★

No

Yes

重新制作检量线曲线

参照第3项、或者第4项

重新登记标准化样品及其强度

参照第5.1项、第5.2项

未知样品为PVC?◆

Yes

No

用PVC检量线方法测定

用PE检量线方法测定

未知样品进行定量分析

参照第2.3项

测量值在允许范围外●

Yes

No

未知样品再进行定量分析

参照第2.3项

测量值在允许范围外●

Yes           No

将未知样品进行定性(FP)定量分析

参照第6.3项

仪器停止

参照第2.2项

结束

图1.1 操作顺序

1.设备启动

1.1 仪器主机及数据处理系统的启动

▼启动仪器的右侧面板下部的仪器主机电源后,启动数据处理系统。

★仪器主机及数据处理系统的启动顺序不要颠倒,如果颠倒会出现仪器主机和数据处理系统连接故障。

仪器主机的电源开关

图.1.1

1.2 『仪器监视画面。

▼『EDX内部情况监视』画面

①「仪器监视」

以图形显示仪器内部的情况。

▼『仪器监视』画面

②「显示变更」

以数据化的画面显示仪器内部的情况。

★图1.3右侧的小图是「仪器监视」的「显示变更」图。

图1.2

1.3 仪器主机的初始化。

▼启动『EDX主菜单』画面

①打开「维护」窗口

▼『维护』画面

②「仪器初始化」

执行仪器初始化。

★在执行仪器初始化的期间,仪器的内部会出现轻微的声音。

『仪器监视』画面

图1.3

1.4

启动X射线发生器。

▼『维护』画面

①「仪器启动/停止」

点击它,打开画面。

▼『仪器启动/停止』画面

「启动」执行框

②「予約」:「No」

③「检出器高压」:「ON」

④「X射线」:「15」kV、「100」mA

⑤「启动执行」

仪器的射线管和检出器启动。

▼『仪器启动/停止』画面由灰暗变成明亮后,点击右上角。

⑥「×」

『仪器启动/停止』窗口关闭。

★图1.8是仪器的正面图,X-RAY灯亮。仪器的左面四个灯全部亮。

图1.4

1.5 注入液氮(EDX-700HS/800HS机种)。

▼打开仪器的上盖,从注入口注入液氮。

▼容量3L,1日消耗1L,可连续使用3天。

★EDX-900HS不使用液氮。

液氮注入口

图1.5

1.6 大约30分钟待机。

▼仪器主机、X射线管的稳定,检测器的冷却等等需要大约30分钟。

▼大约30分钟后,『仪器监视』画面中

①「检测器温度」:「OK」

分析前一定要确认这项。

▼「NG」表示温度未达到,「OK」表示温度已经达到。

图1.6

1.7 仪器的能量、半峰宽校正(1/3)。

▼用随机带的A750(AL合金)进行能量、半峰宽校正。

图1.7

1.8 仪器的能量、半峰宽校正(2/3)。

▼将校正试样A750(AL合金)放在分析孔上。

校正用试样

「X-RAY」

表示灯

图1.8

1.9 仪器的能量、半峰宽校正(3/3)。

▼『维护』画面中

①「仪器校正」

点击它,打开它。

▼『仪器校正』画面中

②「能量、半峰宽校正」:「YES」

③「强度校正」:NO」

④「开始」

执行校正。

▼试样室的盖门自动关闭,校正开始。

▼大约15分钟后,试样室的盖门自动打开,校正结束。

⑤「关闭」

退出此画面。

▼『维护画面右上

⑥「×」

点击它,此画面关闭。

★取出校正试样,全部的准备工作完毕。

④v

图1.9

2 仪器停止

2.1 X射线停止的步骤。

▼『EDX主菜单』窗口中

①「维护」

打开它。

▼『维护』窗口中

②『仪器启动/停止』

打开它。

▼『仪器启动/停止』画面中

「停止」对话框

③「X射线」:「X射线更改为OFF」

④「检测器高压」:「OFF」

⑤「停止执行」

执行X射线的停止。

▼『仪器启动/停止』画面由灰暗变成明亮后,⑥「×」

点击它,关闭此画面。

图2.1

2.2 大约20分钟的待机

▼X射线管的冷却需要大约10分钟。

2.3 仪器主机,数据处理系统的关闭

▼关闭仪器的右侧面板下部的电源开关后,关闭数据处理系统。

仪器主机的电源开关

图2.3

3 试样测定

3.1试样测定位置。

▼试样分析室如图,其内有一个直径为12mm的分析测量孔。

测定位置

图3.1

3.2 測定位置に試料を固定する。

▼測定位置を塞ぐ様に、試料を置いて下さい。不安定なら、試料を粘着テープで固定して下さい。

▼試料室には、試料と固定用器具以外は置かないで下さい。

▼样品不能外延到样品仓的外面。

分析试样

图3.2

2.3.3

CCD对样品的确认。

▼固定好样品后,用CCD进行样品位置的确认。

▼CCD窗口可以观察样品的安放位置。

图.3.3

2.3.4 微小的样品放在样品盒内分析。

▼由于测定孔是固定的,所以对于微小的样品要使用样品盒。样品盒见图。

▼迈拉膜、固定环、样品盒主体组成样品盒。其中迈拉膜要使用岛津公司5μm或6μm的。

样品盒组件

图3.4

2.3.5 软件终止分析。

▼在『分析』画面、①「STOP」

点击它。

▼分析终止,样品仓盖自动生起。

图.3.5

2.3.6 在仪器本体上终止分析。

▼在仪器本体前操作面板最右面红色的按键

①「STOP」

按压此键,分析终止,样品仓盖自动生起。

图.3.6

4 标准样品的保管及使用

2.4.1 标准样品的保管及使用。

▼标准样品是保管在树脂盒内。标准样品的两个分析面都用保护膜粘贴。

▼应在避免高温,潮湿的环境下保管。

▼标准样品在测量和保管及取用时不要污染测量面。

▼Cd、Pb用PVC、Cd、Pb用PEの4種類が市販されています。さらにHg、Cr用もあります。

★PVC:ポリ塩化ビニル、PE:ポリエチレン

图4.1

5 未知試料の取り扱い

2.5.1 厚板样品的测量。

▼最理想的样品是直径15mm,厚3mm平滑的样品。

图5.1

2.5.2 薄板は重ねる。

▼直径15mm以上、平滑、厚度2mm以下的样品称为薄板样品。

▼少なくとも厚さ1mm以上、できれば3mm以上に重ねて下さい。粘着テープで固定しても問題ありません。

图5.2

2.5.3 線材は縦方向に並べる。

▼線材は芯線を抜いて、粘着テープで固定します。

▼装置に対し、縦方向になる様、測定面に固定して下さい(影を作らない様にするためです)。

图5.3

2.5.4 小颗粒样品可以装在样品盒内测量。

▼在样品盒内装入厚达5mm以上的样品及可测量。

图5.4

2.5.5 1個、或いは数個のペレット、チップ

は測定位置の中央に置く。

▼測定位置の中央に試料が来る様に、CCDカメラで位置を確認して下さい。

★強度を稼ぐのが目的です。

图5.5

2.5.6 フィルム、紙、スポンジなどは糸や粘

着テープで束ねる。

▼強く圧縮し、束ねて下さい。少なくとも1mm以上、できれば3mm以上にします。

图5.6

2.5.7 複合材は分解し、材料ごとに分析す

る。

▼そのまま分析すると、外側の材料の成分は高め、内側の成分は低めに表示されます。

图.5.7

2.5.8 粉末は試料容器に入れる。

▼深さ5mm以上、入れて下さい。

▼粉末がこぼれない様に蓋をして、試料名も記入します(測定面を間違えない様にするためです)。

★真空雰囲気下で測定する場合、容器内部の空気抜きのため、針で蓋に小さな穴を開けて下さい。

图5.8

2.5.9 液体も試料容器に入れる。

▼深さ5mm以上、入れて下さい。

▼液体がこぼれない様に蓋をして、試料名も記入します(測定面を間違えない様にするためです)。

★液体を真空雰囲気下で測定しない様、測定時は液体試料アダプタ(Al製)を併せてご使用下さい。

★アダプタを測定面に固定すると、装置の「LIQUID

MODE」が点灯します。

图.5.9(1/3)

液体試料アダプタ

图.5.9(2/3)

「LIQUID

MODE」

表示灯

液体試料

图.5.9(3/3)

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